纳米氮化钨粉体的制备研究

1

作者 刘兵发 谭敦强 周浪 《南昌大学学报（工科版）》 CAS 2006年第3期235-238,共4页

以偏钨酸氨为原料,采用喷雾干燥、焙烧、球磨和纯氨氮化工艺进行了氮化钨粉体制备研究.采用X-射线衍射仪、扫描电镜和激光粒度仪分析了制备过程中各阶段产物的物相、形貌、粒度及团聚形成的二次粒度.结果表明:采用喷雾干燥工艺、焙烧和... 以偏钨酸氨为原料,采用喷雾干燥、焙烧、球磨和纯氨氮化工艺进行了氮化钨粉体制备研究.采用X-射线衍射仪、扫描电镜和激光粒度仪分析了制备过程中各阶段产物的物相、形貌、粒度及团聚形成的二次粒度.结果表明:采用喷雾干燥工艺、焙烧和湿磨工艺可以制备出粒度约为100 nm的WO3粉体,它在团聚后形成的二次颗粒平均粒度为0.64μm;采用纯氨氮化工艺可以在650℃下将这种粉体完全转变为WN,其晶粒尺度为35 nm,在常温下团聚后的二次平均粒度为6.4μm. 展开更多

关键词 氮化钨 催化剂 喷雾干燥 纳米粉体

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黑色氮化钨作为金属性光催化剂实现全分解水

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作者 吴凯 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2017年第11期2117-2118,共2页

光解水技术可以将太阳能转换存储为化学能，被视为解决全球性能源与环境问题的理想方式之一。太阳能转换效率一定程度上取决于光催化材料的吸光范围，然而考虑到最小禁带宽度1．23eV和光解水过程中可能存在的能量损失等因素，单一半导... 光解水技术可以将太阳能转换存储为化学能，被视为解决全球性能源与环境问题的理想方式之一。太阳能转换效率一定程度上取决于光催化材料的吸光范围，然而考虑到最小禁带宽度1．23eV和光解水过程中可能存在的能量损失等因素，单一半导体实现全分解水的吸光范围较难超过700nm。 展开更多

关键词 分解水 光催化剂 金属性 氮化钨 太阳能转换 黑色 光催化材料 环境问题

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高比表面积氮化钨催化剂的合成与表征

3

作者 白鹏 阎子峰 《石油化工》 CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期618-619,共2页

用程序升温反应合成了高比表面的氮化钨催化剂,并考察了氮化钨的合成路径.结果表明,高比表面的氮化钨具有明显的介孔特征,比表面达到45 m2/g.WO3在氮化过程中,要经历W20O58、W20O40等中间过渡态.

关键词 氮化钨 高比表面 介孔

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氮化钨-钨/掺氮有序介孔碳复合材料的制备及其氧还原性能 被引量：1

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作者 郭虎 李玲慧 +7 位作者 王涛 范晓莉 宋力 龚浩 夏伟 姜澄 高斌 何建平 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2018年第11期2032-2040,共9页

采用软模板法制备了氮化钨-钨/掺氮有序介孔碳复合材料(WN-W/NOMC),作为一种高比表面积且价格低廉的阴极氧还原反应催化剂。通过适量添加尿素来改变复合材料中的氮含量,在掺氮量为7%(w/w)时,实验发现材料能够保持完整有序介孔结构,测试... 采用软模板法制备了氮化钨-钨/掺氮有序介孔碳复合材料(WN-W/NOMC),作为一种高比表面积且价格低廉的阴极氧还原反应催化剂。通过适量添加尿素来改变复合材料中的氮含量,在掺氮量为7%(w/w)时,实验发现材料能够保持完整有序介孔结构,测试其比表面积高达835 m^2·g^(-1),透射电子显微镜(TEM)测试结果显示其催化颗粒均匀地分散在氮掺杂有序介孔碳载体上。在O_2饱和的0.1 mol·L^(-1 )KOH溶液中测试了材料的氧还原催化性能(ORR),显示其起始电位为0.87 V(vs RHE),极限电流密度为4.49 mA·cm^(-2),氧还原反应的转移电子数为3.4,接近于20%(w/w)商业Pt/C的3.8,说明该材料表现出近似4电子的氧还原反应途径。研究结果表明,WN-W/NOMC的催化性能虽然稍弱于商业铂碳(0.99 V,5.1 mA·cm^(-2)),但其具有远超铂碳的循环稳定性和耐甲醇毒化能力。 展开更多

关键词 氮化钨 电催化 有序介孔碳 氧还原反应 燃料电池

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氮化银铬和氮化钨铬纳米薄膜在微型钻头上的应用

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作者 姚舜晖 苏演良 +1 位作者 高文显 郑凯文 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期75-78,共4页

为了了解氮化银铬和氮化钨铬纳米复合薄膜涂层应用于微型钻头加工的潜能,采多靶材非平衡磁控溅射方式制备薄膜,分别将钨(W)和银(Ag)掺杂于氮化铬(CrN)中,形成氮化钨铬(Cr-W-N)和氮化银铬(Cr-Ag-N)纳米复合薄膜,研究其基本特性及涂层于... 为了了解氮化银铬和氮化钨铬纳米复合薄膜涂层应用于微型钻头加工的潜能,采多靶材非平衡磁控溅射方式制备薄膜,分别将钨(W)和银(Ag)掺杂于氮化铬(CrN)中,形成氮化钨铬(Cr-W-N)和氮化银铬(Cr-Ag-N)纳米复合薄膜,研究其基本特性及涂层于微型钻头表面加工电路板性能.结果表明,虽掺杂Ag导致硬度降低,仍可改善微型钻头加工性能;掺杂W形成W2N化合物混杂于CrN中,因而整体涂层硬度增加,同时大幅提升微型钻头加工性能.经由本研究,确认氮化银铬和氮化钨铬纳米复合薄膜具备改善微型钻头加工电路板的能力. 展开更多

关键词 无机陶瓷材料 纳米复合薄膜 磁控溅射 高速微钻削 氮化银铬 氮化钨铬

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探究叠氮化钠和三聚氰胺在氮化钨合成中充当氮源时氮活性的强弱

6

作者 宋乐乐 王常春 《大学物理实验》 2021年第6期7-9,共3页

过渡金属氮化物具有许多优良的物理化学性质,但高质量的过渡金属氮化物合成非常困难。在合成过渡金属氮化物时,由于氮源的活性不高,需要高温才能完成。而高温又会促使合成的氮化物分解。如果能够提高氮源的活性,势必会降低合成温度。本... 过渡金属氮化物具有许多优良的物理化学性质,但高质量的过渡金属氮化物合成非常困难。在合成过渡金属氮化物时,由于氮源的活性不高,需要高温才能完成。而高温又会促使合成的氮化物分解。如果能够提高氮源的活性,势必会降低合成温度。本文尝试了利用三聚氰胺和叠氮化钠作为高活性氮源,并且对比了两种材料的活性。通过实验发现,两种材料都是能够用于高温高压设备的高活性氮源。在合成氮化钨时,三聚氰胺的活性要比叠氮化钠的活性要高。 展开更多

关键词 叠氮化钠 三聚氰胺 氮化钨 过渡金属氮化物

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等离子体制备纳米氮化钨薄膜的研究现状

7

作者 何革 《信息记录材料》 2022年第12期1-3,共3页

近年来,纳米材料及等离子体制备技术在国内外受到了越来越高的重视,过渡金属氮化物由于其类似贵金属铂的电子特性,具有优异的电导性、好的抗腐蚀能力、高熔点等特点,用于在各种材料上形成坚硬、耐磨的保护涂层,且被广泛用于电极材料和... 近年来,纳米材料及等离子体制备技术在国内外受到了越来越高的重视,过渡金属氮化物由于其类似贵金属铂的电子特性,具有优异的电导性、好的抗腐蚀能力、高熔点等特点,用于在各种材料上形成坚硬、耐磨的保护涂层,且被广泛用于电极材料和催化剂制备等领域。本文总结国内外目前用等离子体制备纳米结构氮化钨的研究现状并做出展望。 展开更多

关键词 等离子体 纳米 氮化钨

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镍钨系列氮化物催化剂的加氢脱硫催化性能 被引量：7

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作者 周志军 田晓飞 +2 位作者 王萍 李成岳 孙桂大 《石油化工高等学校学报》 CAS 2003年第4期20-23,共4页

利用程序升温还原技术,以γ-Al_2O_3为载体,采用浸渍法和混合法制备了一系列不同金属负载量的氮化镍钨加氢精制催化剂NiWN_x/γ-Al_2O_3,在固定床高压微反装置上进行噻吩加氢脱硫实验,考察其加氢脱硫性能。结果表明,不同的制备方法和金... 利用程序升温还原技术,以γ-Al_2O_3为载体,采用浸渍法和混合法制备了一系列不同金属负载量的氮化镍钨加氢精制催化剂NiWN_x/γ-Al_2O_3,在固定床高压微反装置上进行噻吩加氢脱硫实验,考察其加氢脱硫性能。结果表明,不同的制备方法和金属负载量对催化剂催化性能的影响很大。氮化镍钨催化剂(ω(Ni)=2.8％,ω(W)=28％)在反应中表现出优异的催化性能,浸渍法制备的氮化镍钨催化剂比混合法制备的催化剂活性高,氮化镍钨催化剂和氮化态工业催化剂比硫化态工业催化剂的HDS活性高。 展开更多

关键词 氮化镍钨 加氢脱硫 催化性能 催化剂 石油炼制

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镍-钨氮化物催化剂的实验研究 被引量：7

9

作者 周志军 田晓飞 +2 位作者 王萍 李成岳 孙桂大 《石油学报（石油加工）》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期30-36,共7页

分别以Ni2O3、WO3、Ni(NO3)2·6H2O以及(NH4)2W4O13·18H2O为原料,采用N2 H2为还原气,通过程序升温还原反应的氮化处理技术,合成了单金属、双金属以及负载型(γ Al2O3为载体)双金属氮化物催化剂。用XRD、FT IR、TG DTA等手段表... 分别以Ni2O3、WO3、Ni(NO3)2·6H2O以及(NH4)2W4O13·18H2O为原料,采用N2 H2为还原气,通过程序升温还原反应的氮化处理技术,合成了单金属、双金属以及负载型(γ Al2O3为载体)双金属氮化物催化剂。用XRD、FT IR、TG DTA等手段表征了催化剂;用噻吩加氢脱硫反应评定了催化剂的性能。结果表明,在实验条件下可以生成镍钨氮化物催化剂;由于镍和载体的共同作用,使得催化剂的氮化温度降低了160℃;负载型镍钨氮化物催化剂(w(NiO)=2.8%,w(WO3)=28%)比工业应用的硫化态催化剂G1具有较高的初活性和稳定性。 展开更多

关键词 镍-钨氮化物催化剂 合成 表征 加氢脱硫性能

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氮化镍钨加氢精制催化剂氮化过程的TG-DTA研究 被引量：3

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作者 田晓飞 周志军 孙桂大 《石油化工高等学校学报》 CAS 2004年第2期1-5,共5页

　通过对镍钨单金属氧化物、双金属氧化物、负载型金属氧化物和工业镍钨系列G1催化剂在氢氮混合气中还原氮化和钝化过程的TG-DTA原位实验,分别考察了反应温度、氢氮比、中间产物、助剂等因素对镍钨金属氧化物氮化历程的影响。结果表明,... 　通过对镍钨单金属氧化物、双金属氧化物、负载型金属氧化物和工业镍钨系列G1催化剂在氢氮混合气中还原氮化和钝化过程的TG-DTA原位实验,分别考察了反应温度、氢氮比、中间产物、助剂等因素对镍钨金属氧化物氮化历程的影响。结果表明,WO3可以在氢氮混合气中被还原氮化;氮化反应分两段进行;在氢氮体积比(4～5)∶1,反应温度650℃的条件下,WO3可以被还原为产物W2N;在不同氢氮比的混合气中氮化,WO3会生成不同的中间产物WO2和WOXNY,中间产物WOXNY进一步氮化生成W2N要比WO2容易;助剂Ni的加入使氮化反应温度降低了100℃;载体γ-Al2O3的加入使金属氧化物的氮化过程变为一步氮化还原反应。氮化产物W2N在通常条件下只会与空气中的氧发生表层氧化,而不会发生剧烈的氧化燃烧。因此,对于氮化产物W2N不必进行钝化处理。利用氮化处理技术,可以对现有工业催化剂进行氮化处理。 展开更多

关键词 氮化镍钨 加氢精制催化剂 氮化过程 TG-DTA 双金属氧化物

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二苯并噻吩在不同载体负载的氮化镍钨催化剂上的加氢脱硫性能 被引量：2

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作者 徐景峰 周志军 +1 位作者 王洪学 孙桂大 《石油炼制与化工》 CAS CSCD 北大核心 2004年第11期5-8,共4页

分别采用γ-Al2O3、SiO2、无定型硅铝粉(SiO2-Al2O3)、Y型分子筛(HY)和加入硅和硼的磷铝分子筛(SiBAPO-5)为载体,用浸渍方法制备出不同载体的负载型氮化镍钨催化剂,利用BET、NH3-TPD、XRD等方法对载体和合成的催化剂进行了表征,并利用原... 分别采用γ-Al2O3、SiO2、无定型硅铝粉(SiO2-Al2O3)、Y型分子筛(HY)和加入硅和硼的磷铝分子筛(SiBAPO-5)为载体,用浸渍方法制备出不同载体的负载型氮化镍钨催化剂,利用BET、NH3-TPD、XRD等方法对载体和合成的催化剂进行了表征,并利用原位TG-DTA方法分析了催化剂的氮化合成过程。以二苯并噻吩为模型化合物评价了氮化镍钨催化剂的加氢脱硫性能。结果表明,活性金属组分在载体γ-Al2O3和HY上有较好的分散性,不同载体影响催化剂的加氢脱硫活性,以HY为载体的催化剂加氢脱硫活性最高。 展开更多

关键词 催化剂 载体 Γ-AL2O3 负载型 SiO2 合成过程 磷铝分子筛 氮化镍钨 加氢脱硫 NH3-TPD

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钨氮化物薄膜与GaAs接触热力学稳定性

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作者 毛大立 林栋梁 史常忻 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1994年第1期46-49,共4页

从反应热力学计算的角度，对ＷＮｘ／ＧａＡｓ界面可能存在的界面反应，进行了估计和讨论，结果表明，ＷＮｘ薄膜在ＧａＡｓ衬底上是稳定的，这种热力学稳定性是薄膜和衬底界面接触电学性能稳定性的基本保证，实验现象与此结果相一致。

关键词 钨氮化物 薄膜 GAAS 热力学 砷化镓

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Cu掺杂WN松枝状自支撑纳米阵列的制备及其碱性析氢性能的研究

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作者 李乐乐 申丽莎 +4 位作者 涂志明 卢卓信 谭弘毅 杨轶 闫常峰 《石油化工高等学校学报》 CAS 2024年第4期57-65,共9页

以偏钨酸铵、乙酸铜等为原料,通过控制掺杂比,采用简单的水热法,合成了形貌不同的前驱体,随后结合高温退火法,在碳纸上成功实现了Cu掺杂WN松枝状自支撑纳米阵列(Cu-WN-5:1)的原位生长;利用SEM、TEM、XRD、XPS等测试手段对样品的形貌和... 以偏钨酸铵、乙酸铜等为原料,通过控制掺杂比,采用简单的水热法,合成了形貌不同的前驱体,随后结合高温退火法,在碳纸上成功实现了Cu掺杂WN松枝状自支撑纳米阵列(Cu-WN-5:1)的原位生长;利用SEM、TEM、XRD、XPS等测试手段对样品的形貌和结构进行表征分析,进而利用电化学测试方法评估了催化剂的析氢性能。结果表明,W和Cu的掺杂比(n(W)/n(Cu))对催化剂的析氢性能具有重大影响;当n(W)/n(Cu)为5:1时,催化剂具有最优的析氢活性;Cu元素的成功掺杂改变了WN的电子结构,增加了其活性位点的数量,加速催化过程中的电荷转移速率,从而提升了材料的HER活性;Cu-WN-5:1在KOH浓度为1.0 mol/L、电流密度为10 mA/cm^(2)时所需的过电位为195 mV,Tafel斜率为192 mV/dec,说明Cu-WN-5:1具有较快的电化学析氢反应动力学速率;该材料在KOH浓度为1.0 mol/L的条件下持续反应36 h,表现出优异的长期稳定性。 展开更多

关键词 氮化钨 过渡金属掺杂 碱性析氢 电催化 阵列结构

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氮等离子体处理的抑制用于改善钨填充（英文）

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作者 张念华 万先进 +11 位作者 李远 许爱春 潘杰 左明光 胡凯 詹侃 宋锐 毛格 彭浩 李晓静 闫薇薇 曾传滨 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第11期925-932,938,共9页

在体钨生长过程中使用原位氮等离子体处理成功实现了无孔洞钨填充。通过氮等离子体处理,钨转化成了氮化钨,其作为抑制剂引起结构顶部钨薄膜的生长延迟。因此,消除了结构顶部薄膜封口,并且实现了无孔洞的钨薄膜生长。使用扫描电子显微镜(... 在体钨生长过程中使用原位氮等离子体处理成功实现了无孔洞钨填充。通过氮等离子体处理,钨转化成了氮化钨,其作为抑制剂引起结构顶部钨薄膜的生长延迟。因此,消除了结构顶部薄膜封口,并且实现了无孔洞的钨薄膜生长。使用扫描电子显微镜(SEM)表征钨薄膜的填充能力。结果表明:开口有弓状形貌的结构,使用传统化学气相沉积(CVD)方式生长钨薄膜非常容易导致孔洞;而利用氮等离子体处理能够获得没有孔洞的钨填充。引入扫描透射电子显微镜(STEM)解释氮等离子体处理的机理,同时对体钨生长延迟时间与氮等离子体处理的时间、氮气体积流量、乙硼烷通气时间、体钨生长温度的关系进行了研究。 展开更多

关键词 钨填充 孔洞 氮等离子体处理 氮化钨薄膜 延迟时间 乙硼烷(B2H6)

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双金属氮化物Co3W3N/CNTs纳米复合材料的制备及其室温常压氮还原性能 被引量：2

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作者 姜澄 郭虎 +7 位作者 李玲慧 王涛 范晓莉 宋力 龚浩 夏伟 高斌 何建平 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2020年第3期467-474,共8页

采用水热法并经氨气保护热处理制备了双过渡金属氮化物Co3W3N/CNTs复合材料,得到了价格低廉且拥有良好氮电化学还原性能(NRR)的催化剂。通过调节已经预氧化的CNTs与过渡金属氮化物前驱体CoWO4的比例以及氨气热处理温度,实现了Co3W3N在C... 采用水热法并经氨气保护热处理制备了双过渡金属氮化物Co3W3N/CNTs复合材料,得到了价格低廉且拥有良好氮电化学还原性能(NRR)的催化剂。通过调节已经预氧化的CNTs与过渡金属氮化物前驱体CoWO4的比例以及氨气热处理温度,实现了Co3W3N在CNTs表面的均匀负载。扫描电子显微镜(SEM)及透射电子显微镜(TEM)测试结果显示该电化学活性纳米微粒均匀地分散于CNTs表面,表明经预氧化的CNTs由于表面富集了较多的活性基团,有利于双过渡金属氮化物的分散生长。热处理后CNTs表面的Co3W3N微粒尺寸约为20 nm,相较于无载体的Co3W3N尺寸(100 nm)有明显减小。室温条件下,在N2饱和的0.01 mol·L^-1 H2SO4溶液中测试了该纳米复合材料在不同过电位下的NRR,该材料在-0.3 V(vs RHE)时的产氨率及法拉第效率分别可达12.73μg·h^-1·cm-2和13.59%,对比同样条件下,纯相Co3W3N的产氨率及法拉第效率仅为1.08μg·h^-1·cm^-2和1.76%。结果表明,通过水热反应和氨气保护热处理的Co3W3N/CNTs纳米复合材料具有良好的NRR性能。 展开更多

关键词 氮还原反应 钴钨氮化物 电催化 常温常压

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W_2N/TiO_2-Al_2O_3催化剂的制备表征及噻吩HDS活性 被引量：3

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作者 张强 李保山 +1 位作者 孙桂大 周志军 《石油化工高等学校学报》 CAS 2007年第2期18-22,共5页

以钛酸四丁酯及γ-Al2O3为原料，采用溶胶凝胶法制备了不同TiO2质量分数的TiO2-Al2O3复合载体。复合载体经负载偏钨酸铵后在500C下焙烧5h可得到催化剂前躯体WO3／TiO2-Al2O3利用程序升温还原技术，在氮气、氢气（体积比1：（4～5））的... 以钛酸四丁酯及γ-Al2O3为原料，采用溶胶凝胶法制备了不同TiO2质量分数的TiO2-Al2O3复合载体。复合载体经负载偏钨酸铵后在500C下焙烧5h可得到催化剂前躯体WO3／TiO2-Al2O3利用程序升温还原技术，在氮气、氢气（体积比1：（4～5））的混和气氛中，以10800h。气体空速对催化剂前体还原处理，即可得到负载的W2N／TiO2～Al2O3催化剂。研究了载体中TiO2质量分数对催化剂性能的影响，分别用XRD，BET，XPS，TG／DTA等分析测试技术对催化剂进行了表征，并在固定床微型高压反应装置上考察了催化剂对噻吩的加氢脱硫活性。结果表明：当TiO2的质量分数为6％时，所得催化剂的酸量、比表面积均达到最大，分别为0．1849mmol／g和107．2m^2／g，对噻吩的HDS活性最高，在330℃，压力3MPa，液时空速（WHSV）6h^-1，氢油体积比900：1条件下，噻吩的转化率可达到56．4％。 展开更多

关键词 氮化钨 TiO2-Al2O3载体 催化剂 加氢脱硫

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WN_x/n-GaAs肖特基势垒特性 被引量：1

17

作者 张利春 高玉芝 +3 位作者 宁宝俊 方克微 汪锁发 柴淑敏 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第7期556-560,共5页

本文用俄歇能谱、卢瑟福背散射、电流-电压和电容-电压等方法研究了射频磁控反应溅射制备的WN_x/n-GaAs肖特基势垒特性。结果表明,经800℃快速热退火后,WN_x/n-GaAs势垒具有良好的整流特性和高温稳定性,其势垒高度为0.79ev,理想因子为1... 本文用俄歇能谱、卢瑟福背散射、电流-电压和电容-电压等方法研究了射频磁控反应溅射制备的WN_x/n-GaAs肖特基势垒特性。结果表明,经800℃快速热退火后,WN_x/n-GaAs势垒具有良好的整流特性和高温稳定性,其势垒高度为0.79ev,理想因子为1.19。在自对准GaAs MESFET工艺中,WN_x是一种好的栅材料。 展开更多

关键词 氮化钨 砷化镓 肖特基势垒 溅射

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W_2N／C催化剂加氢脱氮的研究 被引量：1

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作者 石雷 王新平 +1 位作者 张耀军 辛勤 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1995年第9期1449-1452,共4页

制备了加氢脱氮高活性催化剂Ｗ_２Ｎ／Ｃ，探讨了氮化温度对催化剂活性的影响，考察了Ｗ_２Ｎ／Ｃ催化剂上吡啶的加氢脱氮规律，提出了在该催化剂上吡啶加氢脱氮反应机理。

关键词 催化剂 吡啶 加氢脱氮 反应机理 氮化钨

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SF_6和CHF_3混合气体各向异性刻蚀WN研究

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作者 庸安明 王佃利 蒋幼泉 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期188-191,共4页

提出了在SF6/CHF3等离子中反应离子刻蚀WN金属层的方法,通过对各工艺参数(功率、压力、流量配比等)对WN刻蚀钻蚀量影响的研究,优化了工艺参数,获得了易于控制的侧向钻蚀量小于0.1μm的WN各向异性刻蚀条件,使BVEBO成品率由85%提高到95%,... 提出了在SF6/CHF3等离子中反应离子刻蚀WN金属层的方法,通过对各工艺参数(功率、压力、流量配比等)对WN刻蚀钻蚀量影响的研究,优化了工艺参数,获得了易于控制的侧向钻蚀量小于0.1μm的WN各向异性刻蚀条件,使BVEBO成品率由85%提高到95%,从而提升了芯片生产成品率。 展开更多

关键词 六氟化硫 反应离子刻蚀 氮化钨 各向异性

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程序升温法研究Mo2N和W2N的生成过程 被引量：1

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作者 王新平 魏昭彬 《Chinese Journal of Catalysis》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1995年第5期345-346,共2页

关键词 氮化钼 氮化钨 氧化钼 氧化钨 程序升温法

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