期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到116篇文章
< 1 2 … 6 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
温度梯度法生长BaY2F8晶体 被引量：8
1
作者 李广慧 阮永丰 +3 位作者 张守超 李文润 孙伟 李超 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1093-1097,共5页
应用温度梯度法生长了BaY2F8单晶。实验表明:温度梯度、降温速率、坩埚形状和尺寸是影响BaY2F8晶体生长的重要因素。温度梯度为6℃/mm,降温速率小于6℃/h,用相对较小的坩埚圆锥角度,可以获得质量较好的BaY2F8单晶体。X射线定向分析表明... 应用温度梯度法生长了BaY2F8单晶。实验表明:温度梯度、降温速率、坩埚形状和尺寸是影响BaY2F8晶体生长的重要因素。温度梯度为6℃/mm,降温速率小于6℃/h,用相对较小的坩埚圆锥角度,可以获得质量较好的BaY2F8单晶体。X射线定向分析表明:温度梯度法生长的BaY2F8晶体的生长轴平行于[001]方向。结合晶体结构图分析,可认为晶体的[001]方向为结构的强键延展方向,是晶体生长的优势方向。 展开更多
关键词 氟化钇钡晶体 晶体生长 温度梯度法
下载PDF
导模法和温度梯度法生长r面蓝宝石(英文) 被引量：5
2
作者 杨新波 李红军 +2 位作者 徐军 程艳 周国清 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期678-682,共5页
r面(0112)蓝宝石晶体可用作制备非极性GaN薄膜的衬底。采用温度梯度法(temperature gradient technique,TGT)和导模法(edge-defined film-fed crystal growth,EFG)生长了质量良好的r面蓝宝石晶体。利用双晶衍射、光学显微镜、光谱仪观... r面(0112)蓝宝石晶体可用作制备非极性GaN薄膜的衬底。采用温度梯度法(temperature gradient technique,TGT)和导模法(edge-defined film-fed crystal growth,EFG)生长了质量良好的r面蓝宝石晶体。利用双晶衍射、光学显微镜、光谱仪观察和分析了晶体的结构和缺陷。结果表明:TGT法生长的r蓝宝石晶体的双晶摇摆曲线对称性好,半高宽值仅为18 rad.s,位错密度为4×103 cm-2,透过率达83%,晶体质量好。与TGT法相比,EFG法生长的r面蓝宝石晶体的结构完整性较差,位错密度为5×105 cm-2,透过率仅为75%。但是EFG法具有晶体生长速度快,后期加工成本低的优点。 展开更多
关键词 温度梯度法 导模法 蓝宝石 位错密度
下载PDF
a面白宝石单晶的温度梯度法生长及缺陷的研究 被引量：5
3
作者 杨卫桥 徐军 +3 位作者 邓佩珍 干福熹 周永宗 李抒智 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期358-360,共3页
用温度梯度法 (TGT)生长出了高质量的a面 (11 2 0 )白宝石单晶。通过化学腐蚀和光学显微镜研究了晶体内部的位错分布及其密度的大小 。
关键词 温度梯度法 α面白宝石 单晶 晶体生长 缺陷 研究
下载PDF
温度梯度法生长氟化钙晶体 被引量：3
4
作者 董永军 周国清 +2 位作者 苏良碧 杨卫桥 徐军 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期601-604,共4页
用温度梯度法成功生长了直径75mm、完整、透明的氟化钙晶体,对晶体进行了TG-DTA测试分析,确定了其熔点为1413.5℃,并测试了晶体从190nm的紫外波段到40000nm的红外波段的透过率,发现从中紫外波段到红外波段氟化钙晶体的透过率已经能满足... 用温度梯度法成功生长了直径75mm、完整、透明的氟化钙晶体,对晶体进行了TG-DTA测试分析,确定了其熔点为1413.5℃,并测试了晶体从190nm的紫外波段到40000nm的红外波段的透过率,发现从中紫外波段到红外波段氟化钙晶体的透过率已经能满足各种应用的要求,但在远紫外波段和真空紫外波段(246nm以下)氟化钙晶体的透过率需要进一步提高。 展开更多
关键词 氟化钙晶体 温度梯度法 晶体生长 透过率
下载PDF
温度梯度法合成金刚石大单晶的研究进展 被引量：2
5
作者 张恒涛 肖长江 +2 位作者 尚秋元 栗正新 朱玲艳 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第17期65-68,73,共5页
介绍了金刚石大单晶的温度梯度法合成技术,详细综述了影响金刚石晶体形貌、晶体品质以及生长速度等相关因素的最新进展,简要叙述了掺杂对金刚石晶体晶形、性能的影响,最后指出了温度梯度法合成金刚石大单晶的发展方向。
关键词 金刚石大单晶 温度梯度法 晶体形貌 晶体品质 生长速度
下载PDF
温度梯度法生长大尺寸钛宝石晶体研究 被引量：2
6
作者 徐民 司继良 +2 位作者 张小翠 齐红基 陈建玉 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期7-12,共6页
采用温度梯度法生长了不同掺杂浓度的钛宝石(Ti∶Al2O3)激光晶体,经退火加工获得的最大晶体尺寸达到86 mm×37 mm。室温下利用紫外-可见-近红外分光光度计测试了晶体300~1000 nm波段的吸收,分析了该系列晶体的吸收特性。结合晶体... 采用温度梯度法生长了不同掺杂浓度的钛宝石(Ti∶Al2O3)激光晶体,经退火加工获得的最大晶体尺寸达到86 mm×37 mm。室温下利用紫外-可见-近红外分光光度计测试了晶体300~1000 nm波段的吸收,分析了该系列晶体的吸收特性。结合晶体径向527 nm的吸收测试分析了晶体径向掺杂均匀性,同时使用Zygo干涉仪测试了晶体的光学均匀性,结果表明所生长的大尺寸钛宝石晶体具有良好的掺杂及光学均匀性。通过化学腐蚀法,利用光学显微镜观察表征了晶体位错密度,为2.9×103/cm2。 展开更多
关键词 钛宝石晶体 温度梯度法 吸收特性 均匀性 位错密度
下载PDF
利用温度梯度法合成硫化物 被引量：1
7
作者 刘涛 于景坤 袁宇皓 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期260-262,共3页
以金属镁、钛、锆和钨以及升华硫为原料,通过温度梯度法合成了硫化镁、硫化钛、硫化锆和硫化钨,并利用X射线衍射分析了合成物的矿物组成,研究了合成体系内升华硫的蒸发量与合成体系容积大小、合成温度以及合成体系抗压强度等参数间的关... 以金属镁、钛、锆和钨以及升华硫为原料,通过温度梯度法合成了硫化镁、硫化钛、硫化锆和硫化钨,并利用X射线衍射分析了合成物的矿物组成,研究了合成体系内升华硫的蒸发量与合成体系容积大小、合成温度以及合成体系抗压强度等参数间的关系·研究结果表明,在本实验条件下,合成体系内的最大升华硫蒸发量应为1 15g,并根据此硫蒸发量控制合成体系内的温度梯度和升温速度,安全且大量地合成了硫化镁、硫化钛、硫化锆和硫化钨,其质量分别为56 37,112 00,155 36和247 97g· 展开更多
关键词 温度梯度法 升华硫 硫化物 矿物组成
下载PDF
用温度梯度法生长优质Ⅱa型金刚石大单晶 被引量：1
8
作者 李尚升 马红安 +5 位作者 李小雷 田宇 张亚飞 肖宏宇 尹斌华 贾晓鹏 《超硬材料工程》 CAS 2005年第5期1-3,共3页
利用温度梯度法在国产六面顶压机上合成优质Ⅱa型宝石级金刚石。除氮剂T i(Cu)的加入使合成金刚石的温度区间变窄且晶体生长更易俘获金属包裹体,通过采用稳定的组装、降低生长速度而获得了优质Ⅱa型金刚石大单晶。
关键词 Ⅱa型宝石级金刚石 合成 温度梯度法 生长速度
下载PDF
高温高压温度梯度法合成板状宝石级金刚石单晶 被引量：1
9
作者 田宇 藏传义 +6 位作者 马红安 李尚升 肖宏宇 张亚飞 黄国峰 马利秋 贾晓鹏 《超硬材料工程》 CAS 2008年第1期5-7,25,共4页
板状宝石级金刚石单晶具有重要的应用价值。它可以作为红外透明窗口和高功率激光器的散热片等。文章研究了温度梯度法合成宝石级金刚石与籽晶的生长面以及合成温度之间的关系,在低温区用籽晶(100)面合成了4mm的优质板状晶体。
关键词 宝石级金刚石 板状晶体 温度梯度法 高温高压
下载PDF
多坩埚温度梯度法生长Dy^(3+)∶LaF_(3)晶体及发光特性 被引量：2
10
作者 阮芳芳 杨龙 +6 位作者 胡广 王爱梅 薛艳艳 杨龙亮 王泽徐 吴绍华 郑丽和 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期158-164,共7页
采用多坩埚温度梯度法(Multi-crucible temperature gradient technology,MC-TGT)制备了Dy^(3+)掺杂氟化镧(Dy^(3+)∶LaF_(3))晶体。通过电感耦合等离子体发射光谱仪、透射光谱、吸收光谱、荧光光谱等手段对Dy^(3+)在LaF_(3)晶体中的实... 采用多坩埚温度梯度法(Multi-crucible temperature gradient technology,MC-TGT)制备了Dy^(3+)掺杂氟化镧(Dy^(3+)∶LaF_(3))晶体。通过电感耦合等离子体发射光谱仪、透射光谱、吸收光谱、荧光光谱等手段对Dy^(3+)在LaF_(3)晶体中的实际掺杂浓度、中红外透过光谱、可见光波段光谱特性等进行了研究。实验结果表明,Dy^(3+)在LaF_(3)晶体中的分凝系数约为0.8;格位浓度随着Dy^(3+)掺杂浓度提高而增加,2%Dy∶LaF_(3)晶体中的格位浓度达5.90×10^(20)ions·cm^(-3)。在1%Dy∶LaF_(3)晶体中,采用400 nm光激发,发光中心波长位于601 nm的发射谱带强度最大,位于511 nm的发射峰最宽,半高宽达152 nm;改用450 nm光激发,最强发射峰移至677 nm,最宽发射峰位于568 nm处。提高Dy^(3+)掺杂浓度到2%,采用400 nm或450 nm光激发,发光中心波长均位于478 nm和571 nm。在透射光谱2.5~9μm范围内,Dy∶LaF_(3)晶体(厚度为0.96 mm)红外波段透过率达85%以上。Dy∶LaF_(3)晶体有望在可见光、中红外等激光领域得到应用。 展开更多
关键词 温度梯度法 镝离子 氟化镧晶体 中红外透过光谱 荧光光谱
下载PDF
多孔坩埚温度梯度法生长Ho,Y∶CaF2晶体及其光谱性能
11
作者 董建树 王庆国 +6 位作者 徐军 薛艳艳 王无敌 曹笑 唐慧丽 吴锋 罗平 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第2期200-207,共8页
采用自主设计改造的温梯炉,成功生长了不同浓度Ho ^(3+)、Y ^(3+)掺杂的CaF_(2)及Sr_(x) Ca _(_(1-x)) F_(2)晶体,晶体尺寸约为∅15 mm×55 mm,生长周期约为6 d,能够实现7种不同浓度晶体的同步生长,并选取其中的4%(原子数分数)Ho,4%Y... 采用自主设计改造的温梯炉,成功生长了不同浓度Ho ^(3+)、Y ^(3+)掺杂的CaF_(2)及Sr_(x) Ca _(_(1-x)) F_(2)晶体,晶体尺寸约为∅15 mm×55 mm,生长周期约为6 d,能够实现7种不同浓度晶体的同步生长,并选取其中的4%(原子数分数)Ho,4%Y∶CaF_(2)晶体进行分析,吸收测试表明,该晶体448 nm和643 nm处吸收峰的吸收截面分别是1.13×10^(-20) cm^(2)和0.84×10^(-20) cm^(2),J-O理论分析得到了晶场强度参数Ω_(t)(t=2、4、6)、辐射跃迁几率、荧光分支比和辐射寿命。在448 nm氙灯激发下,经计算得到该晶体在546 nm、650 nm和752 nm处的发射截面分别为10.450×10^(-21) cm^(2)、8.737×10^(-21) cm^(2)和5.965×10^(-21) cm^(2),测得^(5)F_(4)和^(5)F_(5)能级的寿命分别为33.5μs和17.7μs。在640 nm LD泵浦激发下,经计算得到该晶体2031 nm处发射截面为5.375×10^(-21) cm^(2),2847 nm处发射截面为10.356×10^(-21)cm^(2),测得^(5)I_(7)和^(5)I_(6)能级的寿命分别为4.37 ms和1.85 ms。以上结果表明,多孔坩埚温梯法能够大大提高激光晶体稀土离子掺杂浓度筛选的效率,加快新型激光晶体材料的研发速度。 展开更多
关键词 氟化钙晶体 温度梯度法 晶体生长 多孔坩埚 激光晶体 光谱性能
下载PDF
双坩埚三维温度梯度法蓝宝石晶体生长炉设计
12
作者 巩潇 倪屹 +1 位作者 司继良 李留臣 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期563-566,共4页
在已有的三维温度梯度法(3DGF)蓝宝石晶体生长炉基础上,设计了一种双坩埚蓝宝石晶体生长炉。设计的三维温度梯度法蓝宝石晶体生长炉主要针对蓝宝石手机面板市场,将坩埚设计成长方体型,增加了材料利用率,并简化了晶体切割工艺。采用双坩... 在已有的三维温度梯度法(3DGF)蓝宝石晶体生长炉基础上,设计了一种双坩埚蓝宝石晶体生长炉。设计的三维温度梯度法蓝宝石晶体生长炉主要针对蓝宝石手机面板市场,将坩埚设计成长方体型,增加了材料利用率,并简化了晶体切割工艺。采用双坩埚技术,可进一步提高晶体的生产效率,节约能耗,降低成本。本设计的双坩埚3DGF蓝宝石晶体生长炉可单炉获得2个300 mm×100 mm×100 mm的蓝宝石晶体。 展开更多
关键词 蓝宝石 晶体生长炉 三维立体温度梯度法 双坩埚
下载PDF
基于温度梯度法电缆接头温升在线监测装置的设计 被引量：1
13
作者 张冲标 曲凯 +1 位作者 葛琪 成龙 《现代科学仪器》 2017年第4期71-75,共5页
电缆井内电缆中间接头过热到事故发生，其发展速度缓慢、且时间较长，目前主要依靠人工红外巡检方法检测电缆中间接头连接处温度是否异常，这种巡检存在的主要问题是可靠性低、实时性差，难以及时发现设备安全隐患，为了有效地进行电缆... 电缆井内电缆中间接头过热到事故发生，其发展速度缓慢、且时间较长，目前主要依靠人工红外巡检方法检测电缆中间接头连接处温度是否异常，这种巡检存在的主要问题是可靠性低、实时性差，难以及时发现设备安全隐患，为了有效地进行电缆中间接头温度的自动监测，本文提出并设计了一种基于温度梯度法，并利用热敏电阻结合振荡电路和CT供电设计了实时在线监测装置，实现对电缆中间接头应力集中点、中间连接点和环境温度的直接测量，经对比试验表明，本装置测量精度可达±2℃，可以满足电缆井电缆中间接头温升在线监测的要求，对及时发现温升故障，提高检修效率，减轻人力、物力和财力具有非常重要的意义。 展开更多
关键词 电缆中间接头 温升 在线监测 温度梯度法
下载PDF
使用高温烧结氧化铝陶瓷温度梯度法合成宝石级金刚石
14
作者 张坤 田杨杨 +2 位作者 刘坤 张建华 王涛 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2020年第6期9-12,共4页
在高温高压下采用温度梯度法合成宝石级金刚石,采用高纯氧化铝粉烧结制备氧化铝陶瓷腔体保温材料,研究不同烧结温度下的氧化铝陶瓷性能以及用作腔体保温材料时对应的晶体生长情况。研究表明:随着氧化铝烧结温度的提升,氧化铝陶瓷的密度... 在高温高压下采用温度梯度法合成宝石级金刚石,采用高纯氧化铝粉烧结制备氧化铝陶瓷腔体保温材料,研究不同烧结温度下的氧化铝陶瓷性能以及用作腔体保温材料时对应的晶体生长情况。研究表明:随着氧化铝烧结温度的提升,氧化铝陶瓷的密度增大,显气孔率降低,所对应的晶体生长速度增大,晶体内夹杂物减少。1650℃烧结4 h时,氧化铝陶瓷相对密度为97%,显气孔率为0.05%;用于保温腔体材料时,可制得质量为0.4 g(2 ct)、生长速度达4.0 mg/h的基本不含任何夹杂物的高品级金刚石。 展开更多
关键词 温度梯度法 宝石级金刚石 氧化铝陶瓷 烧结温度
下载PDF
温度梯度法宝石级金刚石的合成及表征 被引量：8
15
作者 肖宏宇 苏剑峰 +1 位作者 张永胜 鲍志刚 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第24期505-511,共7页
利用温度梯度法,在5.0—5.7GPa,1250—1600℃条件下,研究了FeNiMnCo触媒合成宝石级金刚石的温度和压力区间,给出了P-T相图.基于有限元法的温度场模拟及碳素浓度梯度拟合结果表明,I型温度场只适合生长大尺寸优质板状及小尺寸塔状金刚石单... 利用温度梯度法,在5.0—5.7GPa,1250—1600℃条件下,研究了FeNiMnCo触媒合成宝石级金刚石的温度和压力区间,给出了P-T相图.基于有限元法的温度场模拟及碳素浓度梯度拟合结果表明,I型温度场只适合生长大尺寸优质板状及小尺寸塔状金刚石单晶;II型温度场可以合成出大尺寸优质板状或塔状金刚石单晶.该结论被Ib型及掺硼宝石级金刚石晶体生长实验所证实.提出碳素浓度梯度是决定晶体生长速度及合成晶体品质的关键因素.研究得到了只有触媒中温度场分布与晶体尺寸、形貌相匹配时,才能合成出优质宝石级金刚石单晶的晶体生长规律.揭示了{110}和{113}高指数晶面在Ib型金刚石"V"形区内的分布规律.通过傅里叶红外光谱检测发现,FeNiMnCo触媒合成金刚石的氮含量较低,较低的氮含量是由铁会降低金刚石氮含量所致.氮含量低有利于金刚石的光谱透过性. 展开更多
关键词 金刚石 触媒 温度梯度法 有限元法
原文传递
温度梯度法生长Nd∶YAG晶体的1200 W激光输出 被引量：4
16
作者 姜本学 徐军 +2 位作者 李劲东 李红军 胡企铨 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期973-976,共4页
用温度梯度法(TGT)生长了大尺寸的Nd∶YAG激光晶体,测试了室温下的吸收谱并利用吸收谱研究了Nd离子在YAG晶体中的分布。比较了温度梯度法与提拉法生长晶体的区别。根据热容激光的原理,利用生长的Nd∶YAG激光晶体片设计了热容激光器,利... 用温度梯度法(TGT)生长了大尺寸的Nd∶YAG激光晶体,测试了室温下的吸收谱并利用吸收谱研究了Nd离子在YAG晶体中的分布。比较了温度梯度法与提拉法生长晶体的区别。根据热容激光的原理,利用生长的Nd∶YAG激光晶体片设计了热容激光器,利用侧面抽运,获得了1200 W的激光输出,工作时间为2 s,光-光转换效率为30%。 展开更多
关键词 材料 谱性质 温度梯度法 ND:YAG晶体 热容激光
原文传递
温度梯度法生长的Ce:YAlO_3高温闪烁晶体的光谱分析 被引量：8
17
作者 曾雄辉 赵广军 徐军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期1935-1939,共5页
采用温度梯度法生长了熔体掺杂Ce浓度为 1at%的YAlO3晶体 ,对于其吸收光谱、荧光光谱和x射线激发发射谱进行了表征分析 .根据吸收光谱提出了一个色心模型 ,从而成功的解释了为什么刚生长出的晶体为粉红色 ,而分别经氢气和空气在 1 4 0 ... 采用温度梯度法生长了熔体掺杂Ce浓度为 1at%的YAlO3晶体 ,对于其吸收光谱、荧光光谱和x射线激发发射谱进行了表征分析 .根据吸收光谱提出了一个色心模型 ,从而成功的解释了为什么刚生长出的晶体为粉红色 ,而分别经氢气和空气在 1 4 0 0℃退火后均能变为无色的现象和退火以后吸收光谱发生的显著变化 .温度梯度法生长的Ce :YAP在 330nm处存在着一定程度的自吸收和自激发 .光致激发发射谱的发射主峰在 36 8nm ,而x射线激发发射谱的主发射峰红移至 391nm ,这表明在x射线激发下 ,晶体对发射光的自吸收将会减少 .另外在x射线激发发射谱上 ,经H2 展开更多
关键词 温度梯度法 铝酸钇晶体 铈掺杂 色心晶体 光谱分析
原文传递
温度梯度法生长Nd:YAG激光晶体的核心分布 被引量：3
18
作者 姜本学 徐军 +3 位作者 李红军 王静雅 赵广军 赵志伟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期1014-1019,共6页
用温度梯度法生长了直径为75mm大尺寸的Nd∶YAG激光晶体,通过退火排除了生长过程中进入晶体的碳原子.用正交偏光显微镜观察了晶体的核心分布以及生长条纹.测试了室温下的吸收谱并利用吸收谱研究了Nd离子在YAG晶体中的分布.比较了温度梯... 用温度梯度法生长了直径为75mm大尺寸的Nd∶YAG激光晶体,通过退火排除了生长过程中进入晶体的碳原子.用正交偏光显微镜观察了晶体的核心分布以及生长条纹.测试了室温下的吸收谱并利用吸收谱研究了Nd离子在YAG晶体中的分布.比较了温度梯度法与提拉法生长晶体的区别. 展开更多
关键词 材料 缺陷 温度梯度法 ND:YAG
原文传递
GaN衬底材料LiGaO_2晶体的温度梯度法生长及分析 被引量：2
19
作者 杨卫桥 干福熹 +4 位作者 邓佩珍 周永宗 徐军 李抒智 蒋成勇 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期761-764,共4页
以温度梯度法生长LiGaO2 晶体 ,通过形貌观察、X射线衍射分析和X射线光电子能谱分析确认在样品的中部形成了单一相的LiGaO2 晶体。但在生长过程中由于CO气体的存在 ,熔体表面形成了LiO 和金属态的Ga,钼坩埚被侵蚀形成Li2 MoO4 进入熔体 ... 以温度梯度法生长LiGaO2 晶体 ,通过形貌观察、X射线衍射分析和X射线光电子能谱分析确认在样品的中部形成了单一相的LiGaO2 晶体。但在生长过程中由于CO气体的存在 ,熔体表面形成了LiO 和金属态的Ga,钼坩埚被侵蚀形成Li2 MoO4 进入熔体 ,使样品上下两部分的结晶质量变差。 展开更多
关键词 衬底材料 LiGaO2晶体 GAN 温度梯度法 氮化镓 晶体生长 晶体分析 锂镓氧化物
原文传递
沉积温度对温度梯度法制备氮化硼薄膜结构和硬度的影响(英文) 被引量：1
20
作者 王明娥 巩水利 +5 位作者 马国佳 刘星 张林 王达望 陆文琪 董闯 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1108-1111,共4页
采用温度梯度法,通过MW-ECR射频磁控溅射在硅片基底上制备了六方和立方混合的氮化硼薄膜。研究了薄膜的键结构,化学成分和力学性能。结果显示,对于氮化硼立方相的出现存在温度阈值,薄膜的硬度随沉积温度提高而提高。相对于传统薄膜制备... 采用温度梯度法,通过MW-ECR射频磁控溅射在硅片基底上制备了六方和立方混合的氮化硼薄膜。研究了薄膜的键结构,化学成分和力学性能。结果显示,对于氮化硼立方相的出现存在温度阈值,薄膜的硬度随沉积温度提高而提高。相对于传统薄膜制备方法,温度梯度方法具有更高的效率。 展开更多
关键词 氮化硼薄膜 溅射 温度梯度法 硬度
原文传递
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 6 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部