激光微细加工技术在医疗器材领域的应用 被引量：2

1

作者 杜帅 张成林 +2 位作者 孙文明 马玉平 姚燕生 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期176-190,共15页

激光微细加工技术具有超快、超精密等特性,在医疗器材领域的应用中有着传统加工技术无可比拟的独特优势,尤其是对生物材料表面加工改性,提高材料生物相容性方面有着不可替代的作用。本文综述了近年来激光微加工技术在医疗器材制造加工... 激光微细加工技术具有超快、超精密等特性,在医疗器材领域的应用中有着传统加工技术无可比拟的独特优势,尤其是对生物材料表面加工改性,提高材料生物相容性方面有着不可替代的作用。本文综述了近年来激光微加工技术在医疗器材制造加工领域的最新应用,着重介绍了血管支架和骨支架的结构与表面制造,生物材料表面改性与抗菌性处理等。最后对目前激光微加工技术存在的局限性做了讨论,对未来激光微加工技术在医疗器材领域的应用发展做了展望。 展开更多

关键词 激光微细加工 血管支架 骨支架 生物材料 抗菌性

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水导激光微细加工中激光与水束光纤耦合技术 被引量：16

2

作者 李灵 杨立军 +2 位作者 王扬 刘备 王哲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1614-1621,共8页

为了保证水导激光微细加工中会聚激光与水束光纤的耦合效果,建立了由一个高精度耦合对准检测调整系统和一个特殊结构耦合装置组成的新的耦合系统,并提出了新的耦合对准方法。由于激光要经过空气层、玻璃层、水层进入水束光纤,因此根据... 为了保证水导激光微细加工中会聚激光与水束光纤的耦合效果,建立了由一个高精度耦合对准检测调整系统和一个特殊结构耦合装置组成的新的耦合系统,并提出了新的耦合对准方法。由于激光要经过空气层、玻璃层、水层进入水束光纤,因此根据计算结果,采用激光烧斑法来确定会聚透镜与水束光纤起始端(喷嘴孔)的距离;研究了激光在水束光纤中发生全反射的最大入射角;通过流体动力学仿真,设计了腔内流场分布均匀的耦合装置,保证了直径0.12 mm的水束光纤的高耦合品质;研究了激光能量在水束光纤中的衰减,采用特定波长和脉冲能量的激光和特殊过滤的去离子水来减小激光能量在水束光纤中耦合的损耗率。实验结果表明,水束光纤导光长度超过100 mm;采用该耦合技术能够在0.2 mm厚的硅基晶片上以2 mm/s速度切割出缝宽为0.12 mm的均匀窄缝,且几乎无裂纹、无热影响区。该耦合技术能够很好地满足水导激光微细加工的要求。 展开更多

关键词 水导激光 激光微细加工 全反射 激光耦合 光纤耦合 仿真

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激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用 被引量：9

3

作者 潘开林 陈子辰 傅建中 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2002年第3期5-7,共3页

文章综述了当前MEMS各类微制造技术 ,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点 ,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等 ,以及它们在MEMS微制造中的应用。

关键词 激光微细加工 微机电系统 激光LIGA 微细立体光刻 微制造

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用激光微细加工制作平面型InGaAs/InPPIN光探测器 被引量：2

4

作者 吴云峰 廖云 +2 位作者 叶玉堂 焦世龙 张雪琴 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期13-16,共4页

采用激光微细加工技术来制作单片集成光接收机的探测器,在制作过程中,用固态杂质源10.6 μm激光诱导Zn扩散工艺来进行探测器的p 区掺杂。制作出平面型顶部入射的InGaAs/InPPIN光探测器, 响应度为0.21A/W。分析了激光诱导扩散中... 采用激光微细加工技术来制作单片集成光接收机的探测器,在制作过程中,用固态杂质源10.6 μm激光诱导Zn扩散工艺来进行探测器的p 区掺杂。制作出平面型顶部入射的InGaAs/InPPIN光探测器, 响应度为0.21A/W。分析了激光诱导扩散中影响探测器性能的因素,因此提出了扩散温度自动控制、扩散区 温度分布均匀化及激光焦斑与扩散区精确对准等相应的改进方法。 展开更多

关键词 激光微细加工 单片集成光接收机 PIN光探测器 激光诱导扩散

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飞秒激光微细加工系统装备的设计与开发 被引量：2

5

作者 钱振华 王荣扬 何彦虎 《制造技术与机床》 北大核心 2015年第9期62-65,共4页

开发了一个能实现复杂三维型体加工的四轴三联动数控飞秒激光微细加工系统。介绍了该飞秒激光微细加工系统的硬件、软件组成,详尽阐述了整个系统的构建过程、工作机理及关键技术。当前该系统主要用于聚合复合材料的加工。

关键词 飞秒激光微细加工 计算机数控系统 运动控制 控制软件

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激光微细加工中微小曝光区温度测量系统的改进

6

作者 谢兴盛 吴云峰 +2 位作者 叶玉堂 杨先明 秦宇伟 《计量与测试技术》 2003年第4期6-8,共3页

在半导体的激光微细加工技术里 ,需要对微小曝光区域的温度分布进行不接触测量。文献 [6]报道的温度测量系统基本满足这一要求 ,但在实际使用过程中还存在一些需要克服的困难。首先是温度分辨率和温度测量范围不能同时满足使用要求 ,其... 在半导体的激光微细加工技术里 ,需要对微小曝光区域的温度分布进行不接触测量。文献 [6]报道的温度测量系统基本满足这一要求 ,但在实际使用过程中还存在一些需要克服的困难。首先是温度分辨率和温度测量范围不能同时满足使用要求 ,其次是不能进行温度分布的准确测量和最高温度点的准确定位。本文提出了对原有系统的改进方法 ,改进后的计算机温度测量系统较好的解决了原系统存在的这些问题。 展开更多

关键词 激光微细加工 微小曝光区 改进 半导体 计算机温度测量系统

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金刚石拉丝模激光微细加工技术 被引量：7

7

作者 曾凤国 黄建宇 《电加工》 1995年第2期2-4,共3页

本文重点阐述了金刚石拉丝模激光微细加工的工艺特点和规律，特别是实现亚微米级精度微孔的激光加工技术。

关键词 金刚石 拉丝模 激光微细加工 金属线材

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激光微细加工:新的发展与应用 被引量：1

8

作者 金友 《光机电信息》 2001年第7期8-16,共9页

准分子激光微细加工已成为一种成熟的加工技术,在工业中有着广泛的应用,如喷墨打印机喷嘴的钻孔、传感器的生产和显示板的加工等。本文描述了准分子激光加工系统的重要概念,给出了在微细加工领域中已被开发出来的各种新方法。重点描述... 准分子激光微细加工已成为一种成熟的加工技术,在工业中有着广泛的应用,如喷墨打印机喷嘴的钻孔、传感器的生产和显示板的加工等。本文描述了准分子激光加工系统的重要概念,给出了在微细加工领域中已被开发出来的各种新方法。重点描述了用于加工复杂的、多层次三维微细结构的各种加工技术,并用加工出来的结构实例说明了它们的相关应用。此外,还给出了用亚纳秒固体纤维激光器进行微细加工获得的初步结果。最后叙述了用超短脉冲激光器进行激光微细加工这个快速增长的技术领域。 展开更多

关键词 准分子激光器 超短脉冲激光器 激光微细加工

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刍议电子元器件的激光微细加工技术与设备应用

9

作者 魏力 《科技创新导报》 2013年第2期76-76,共1页

激光加工技术是一种较为新型的制造加工工艺,与传统制造加工工艺相比,它体现出较大的优越性,并受到广泛好评。该文结合电子元器件的激光微细加工技术应用现状,对其相关应用与发展进行分析和阐述。

关键词 电子元器件 激光微细加工技术 设备应用

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激光微细加工用高精度级联系统

10

《光机电信息》 2005年第10期30-30,共1页

由Marubun公司开发的激光微细加工用高精度级联系统是以激光控制技术和激光加工技术为核心，并结合了数家合作企业的技术，使得激光加工时的级联扫描加工成为可能。该系统与以往的步进和重复加工相比，加工速度得到大幅提高。（No．24）

关键词 激光微细加工 级联系统 高精度 激光加工技术 控制技术 加工速度

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激光微细加工在显示器应用中的新技术和发展

11

作者 黄峻峰 《光机电信息》 2002年第2期17-22,共6页

近年来,显示器得到了快速发展,并且没有放慢发展速度的迹象。该领域中的一个最重要的进展是利用激光完成各种微细加工任务。本文描述了利用准分子激光在聚合物材料中加工制造各种新型微细结构的新技术,同时给出一些典型微细结构的加工实... 近年来,显示器得到了快速发展,并且没有放慢发展速度的迹象。该领域中的一个最重要的进展是利用激光完成各种微细加工任务。本文描述了利用准分子激光在聚合物材料中加工制造各种新型微细结构的新技术,同时给出一些典型微细结构的加工实例,并概述了激光技术在显示器制作方面的应用。最后讨论显示器激光加工制造的未来发展。 展开更多

关键词 准分子激光 聚合物 显示器 激光微细加工 微细结构

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激光微细加工

12

《今日科技》 2002年第1期44-45,共2页

关键词 激光微细加工 光镊 激光加工技术 光刀

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超快激光微细加工技术的应用研究

13

作者 刘辉涛 《光源与照明》 2021年第3期63-64,共2页

超快激光微细加工是目前重要的激光加工技术之一,能够利用激光向被加工材料输出能量,引起被加工材料的变化。文章对超快激光微细加工技术应用展开研究,分析了加工技术的原理,研究了加工的主要应用方法和发展趋势。通过相关研究,可以帮... 超快激光微细加工是目前重要的激光加工技术之一,能够利用激光向被加工材料输出能量,引起被加工材料的变化。文章对超快激光微细加工技术应用展开研究,分析了加工技术的原理,研究了加工的主要应用方法和发展趋势。通过相关研究,可以帮助技术人员合理使用相关技术,提升超快激光微细加工技术的应用效率。 展开更多

关键词 超快激光微细加工 加工技术 加工材料

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激光微细加工中微小曝光区域的计算机温度测量系统 被引量：9

14

作者 吴云峰 叶玉堂 +2 位作者 吴泽明 杨先明 秦宇伟 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期363-366,共4页

在半导体的激光微细加工技术里 ,微小曝光区域的温度分布是关键的工艺参数 ,必须得到精确的测量。而为了使温度测量不影响曝光区的温度分布 ,需采用不接触测量方法。研制了计算机温度测量系统 ,实现了微小激光曝光区温度的实时不接触测... 在半导体的激光微细加工技术里 ,微小曝光区域的温度分布是关键的工艺参数 ,必须得到精确的测量。而为了使温度测量不影响曝光区的温度分布 ,需采用不接触测量方法。研制了计算机温度测量系统 ,实现了微小激光曝光区温度的实时不接触测量。系统中 ,InGaAs/InP光探测器将微小高温区的温度信号转换为光电流 ,再经信号放大及模 /数转换后输入计算机。结合温度定标实验 ,对测得的温度数据进行插值运算 ,在实验中可以实时显示出曝光区的温度值。系统的温度分辨率可达到 0 .2℃ ,测量区域的最小直径可达到 18μm。同时设计了搜索算法 ,使温度数据采集和精密位移平台的移动相配合 。 展开更多

关键词 计算机温度测量系统 激光微细加工 半导体 微小曝光区域

原文传递

脉冲激光微细加工曝光区温度的不接触测量 被引量：1

15

作者 王小林 王昱林 +5 位作者 徐攀 叶玉堂 吴云峰 刘霖 范超 焦世龙 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1096-1099,共4页

针对大功率脉冲激光微细加工区域工作激光对辐射测温的影响,提出在周期脉冲激光的间隙内提取温度信号的新方法,应用采样保持原理,研制相应的测量系统,通过温度定标,从A/D采样值直接读取温度值。结果表明,该温度测量系统能有效地消除工... 针对大功率脉冲激光微细加工区域工作激光对辐射测温的影响,提出在周期脉冲激光的间隙内提取温度信号的新方法,应用采样保持原理,研制相应的测量系统,通过温度定标,从A/D采样值直接读取温度值。结果表明,该温度测量系统能有效地消除工作激光对温度测量的干扰,准确地测量曝光区域的温度,在温度为500℃左右时,系统的温度分辨能力可达0.03℃,能满足激光扩散、激光合金等工艺要求。 展开更多

关键词 脉冲激光微细加工 红外辐射测量 不接触温度测量 采样保持

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适应性强效率高的激光器将扩展它们在微细加工中的作用 被引量：4

16

作者 金友 《光机电信息》 2001年第7期17-19,共3页

蜂窝电话、计算机、扩展器、小卫星、灵敏像元卡、ID标记,这些无一不包含有微型组件.预计在今后几年中,消费者将花费数10亿美元购买这些装置.这些装置是否会使我们的生活变得更加美好,这一争论将会继续下去,但可以肯定地说它们对我们是... 蜂窝电话、计算机、扩展器、小卫星、灵敏像元卡、ID标记,这些无一不包含有微型组件.预计在今后几年中,消费者将花费数10亿美元购买这些装置.这些装置是否会使我们的生活变得更加美好,这一争论将会继续下去,但可以肯定地说它们对我们是非常有用的.随着微系统加工技术的普及,对微细加工设备的需求也会成比率地增加.在这个高经济利润的大气候条件下,加工技术正在快速地发展以满足各种新应用的要求. 展开更多

关键词 激光加工 激光性 激光微细加工

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飞秒激光开辟了新的微细加工领域 被引量：1

17

作者 黄峻峰 《光机电信息》 2004年第10期10-13,共4页

电子、光子和生物医学器件向小型化发展的趋势促进了激光微细加工的发展,而飞秒激光器是适于激光微细加工的最理想工具.飞秒激光脉冲具有制作小至几十纳米特征尺寸图形的加工本领,并能对透明材料进行各种微细加工,如钻孔、切割和形成特... 电子、光子和生物医学器件向小型化发展的趋势促进了激光微细加工的发展,而飞秒激光器是适于激光微细加工的最理想工具.飞秒激光脉冲具有制作小至几十纳米特征尺寸图形的加工本领,并能对透明材料进行各种微细加工,如钻孔、切割和形成特殊结构等. 展开更多

关键词 飞秒激光器 激光微细加工 特征尺寸 飞秒激光脉冲 小型化 器件 光子 切割 工具 钻孔

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LPKF在深圳建立激光微细加工中心

18

《电子设计技术 EDN CHINA》 2004年第4期32-32,共1页

德国LPKF股份公司宣布将在中国深圳建立了激光精细加工中心.这个中心将从2004年5月开始,为中国以及东南亚的电路板厂提供服务.LPKF深圳激光中心装备有LPKF激光微线钻MLD600,可提供精细切割、直接成型、钻微孔等服务,此外还将针对客户特... 德国LPKF股份公司宣布将在中国深圳建立了激光精细加工中心.这个中心将从2004年5月开始,为中国以及东南亚的电路板厂提供服务.LPKF深圳激光中心装备有LPKF激光微线钻MLD600,可提供精细切割、直接成型、钻微孔等服务,此外还将针对客户特殊需求,开发其它激光加工工艺. 展开更多

关键词 LPKF公司 深圳 激光微细加工中心 紫外激光

原文传递

激光微细孔加工技术及其应用 被引量：10

19

作者 荣烈润 《机电一体化》 2003年第6期8-12,共5页

越来越多的产品向着微型化、精密化的方向发展。这促使微细孔加工技术也得到了飞速发展。 本文对当前世界上利用激光加工微细孔的技术及其应用作了介绍。

关键词 激光微细孔加工 脉冲宽度 焦点 群孔加工 激光加工

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激光微加工系统中运动控制的实现 被引量：3

20

作者 裴红星 刘建华 +1 位作者 杨雷 刘晓 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2004年第3期53-54,57,共3页

在自行研制的激光微加工系统中 ,激光光源固定 ,待加工工件置于 X- Y移动平台上 ,驱动平台运动带动工件运动 ,利用光束与工件的相对运动加工出各种图形。 X- Y移动平台运动控制的核心是控制器 ,控制器通过串行通讯接口与 PC机串行通讯 ... 在自行研制的激光微加工系统中 ,激光光源固定 ,待加工工件置于 X- Y移动平台上 ,驱动平台运动带动工件运动 ,利用光束与工件的相对运动加工出各种图形。 X- Y移动平台运动控制的核心是控制器 ,控制器通过串行通讯接口与 PC机串行通讯 ,接收 PC机下载的加工轨迹文件和运动控制命令 ,以步进电机作为执行机构、以光栅尺作为反馈部件构成闭环控制系统。以光栅尺测量为标准 ,系统的位置控制误差小于 2 μm。 展开更多

关键词 激光微细加工 单片机 串行通讯 光栅尺 步进电机 运动控制 激光微加工系统

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