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激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用
被引量:
9
1
作者
潘开林
陈子辰
傅建中
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2002年第3期5-7,共3页
文章综述了当前MEMS各类微制造技术 ,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点 ,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等 ,以及它们在MEMS微制造中的应用。
关键词
激光
微细加工
微机电系统
激光liga
微细立体光刻
微制造
下载PDF
职称材料
题名
激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用
被引量:
9
1
作者
潘开林
陈子辰
傅建中
机构
浙江大学生产工程研究所桂林电子工业学院
桂林电子工业学院
浙江大学生产工程研究所
出处
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2002年第3期5-7,共3页
文摘
文章综述了当前MEMS各类微制造技术 ,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点 ,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等 ,以及它们在MEMS微制造中的应用。
关键词
激光
微细加工
微机电系统
激光liga
微细立体光刻
微制造
分类号
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
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作者
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1
激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用
潘开林
陈子辰
傅建中
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2002
9
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