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真空下气-固界面热适应系数的数值计算 被引量：5
1
作者 周志雄 魏蔚 汪荣顺 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期36-40,共5页
根据热适应系数的理论研究成果,结合国外学者的部分实验数据,对气-固界面热适应系数的主要影响因素进行定性的讨论;同时在S.Song和M.M.Yovannovich的公式基础上,最小二乘法拟合国外学者低温下实验测量的热适应系数,采用C语言编程算出拟... 根据热适应系数的理论研究成果,结合国外学者的部分实验数据,对气-固界面热适应系数的主要影响因素进行定性的讨论;同时在S.Song和M.M.Yovannovich的公式基础上,最小二乘法拟合国外学者低温下实验测量的热适应系数,采用C语言编程算出拟合公式中的参数,分析拟合公式α=aFM/(b+M)+2.4μ(1-F)/(1+μ)2,F=exp(c(T-T0)/T0)中的参数a,b,c的特性;数值计算迭代收敛和拟合公式的计算误差在±20%以内表明:数值拟合公式可用在工程上计算热适应系数,S.Song和M.M.Yovannovich的公式可数值拟合低温下不同气-固界面的热适应系数的计算公式。 展开更多
关键词 真空 热适应系数 气-固界面 最小二乘法拟合
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层间稀薄气体传热对多层绝热材料性能的影响分析 被引量：12
2
作者 孙培杰 吴静怡 +1 位作者 张鹏 徐烈 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2008年第9期11-16,31,共7页
通过建立的热量传递模型,分析了不同的气体稀薄程度(Knudsen数)时,气体传热对多层绝热材料有效热导率和各层温度分布的影响。分析表明:由多层绝热材料真空度变化引起的稀薄气体传热量波动较大,在10—60层/cm层密度范围,真空度低于100Pa... 通过建立的热量传递模型,分析了不同的气体稀薄程度(Knudsen数)时,气体传热对多层绝热材料有效热导率和各层温度分布的影响。分析表明:由多层绝热材料真空度变化引起的稀薄气体传热量波动较大,在10—60层/cm层密度范围,真空度低于100Pa时,Kn数属于自由分子状态区域和中间压强区域,此时材料的有效热导率随残留气体热适应系数的增大而减小,并随着真空度的降低而增大;当残留气体为空气时,为保证多层材料的绝热性能,尽量维持真空度不低于10-2Pa。同时分析表明,为有效降低低真空下稀薄气体传热对多层绝热性能的影响,可以采用综合热适应系数较低的气体置换夹层中的空气,以减少低真空多层绝热材料的有效热导率,改善绝热性能。 展开更多
关键词 多层绝热材料 稀薄气体 热适应系数 当量热导率
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气体传热对多层绝热性能影响的试验研究 被引量：7
3
作者 孙培杰 吴静怡 +2 位作者 张鹏 江明旒 徐烈 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2008年第11期6-12,20,共8页
文中通过建立的能进行夹层气体置换的稳态量热器试验系统,试验分析了夹层气体传热对多层绝热材料有效热导率的影响,重点对置换气体种类、气体压强、材料层数及冷热边界温度对多层材料的影响进行试验研究。试验表明在10—60层/cm层密度范... 文中通过建立的能进行夹层气体置换的稳态量热器试验系统,试验分析了夹层气体传热对多层绝热材料有效热导率的影响,重点对置换气体种类、气体压强、材料层数及冷热边界温度对多层材料的影响进行试验研究。试验表明在10—60层/cm层密度范围,真空度低于100Pa时,Kn数属于自由分子状态区域和中间压强区域,此时材料的有效热导率随残留气体热适应系数的增大而减小,并随着真空度的降低而增大,当残留气体为空气时,为保证多层材料的绝热性能,应尽量维持真空度不低于10-2Pa。同时,分析表明为有效降低低真空下稀薄气体传热对多层绝热性能的影响,可以采用综合热适应系数较低的气体置换夹层中的空气,以减少低真空多层绝热材料的有效热导率,改善绝热性能。 展开更多
关键词 多层绝热材料 稀薄气体 热适应系数 有效热导率
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真空下气固界面的传热 被引量：3
4
作者 邓东泉 徐烈 +2 位作者 孙恒 肖尤明 朱鸿梅 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期52-56,共5页
已知对于真空下的传热稀薄气体起着非常重要的作用。该文给出了稀薄气体在不同克努曾数区域下的气 -固界面间的传热表达式 ,这些表达式中包含了气体反射系数和热适应系数。文中讨论了平行平板、同轴圆柱表面和同心圆球表面的情况 。
关键词 真空 气-固界面 传热 稀薄气体 热适应系数 克努曾数
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真空玻璃内部残余气体热导计算 被引量：3
5
作者 侯玉芝 《真空》 CAS 2016年第6期15-18,共4页
真空玻璃中心区域热导由辐射热导、支撑物热导及残余气体热导三部分构成,当Low-E玻璃、支撑物材料及间距确定后,真空玻璃热导主要受真空腔内部残余气体热导影响。根据稀薄气体导热理论,确定了真空玻璃内部残余气体热导计算公式。该公式... 真空玻璃中心区域热导由辐射热导、支撑物热导及残余气体热导三部分构成,当Low-E玻璃、支撑物材料及间距确定后,真空玻璃热导主要受真空腔内部残余气体热导影响。根据稀薄气体导热理论,确定了真空玻璃内部残余气体热导计算公式。该公式中气体热适应系数α的取值相当重要,使用不同封边材料时,内部残余气体成分不同。目前的计算结果是基于真空玻璃中残余气体主要成分是空气而得出的。今后还应做进一步的实验来测量残余气体中各气体α值,从而精确计算真空玻璃内部残余气体热导。 展开更多
关键词 真空玻璃 残余气体 热适应系数α
原文传递
仿古唐三彩碎纹釉的研制
6
作者 钱跃进 廖桂华 《洛阳工业高等专科学校学报》 2002年第1期5-7,共3页
介绍了在ＳｉＯ２－ＰｂＯ－Ｆｅ２Ｏ３红色彩绘料基础上，根据 α坯＜α釉且差值 α＞４．０×１０－６１／ｋ的原则，通过添加热膨胀系数大的熔剂原料来增大坯釉不适应性，使釉面产生均匀分布的网状裂纹制成了一种视觉效果良好的... 介绍了在ＳｉＯ２－ＰｂＯ－Ｆｅ２Ｏ３红色彩绘料基础上，根据 α坯＜α釉且差值 α＞４．０×１０－６１／ｋ的原则，通过添加热膨胀系数大的熔剂原料来增大坯釉不适应性，使釉面产生均匀分布的网状裂纹制成了一种视觉效果良好的唐三彩碎纹釉，同时对其碎纹机理作了初步探讨。 展开更多
关键词 碎纹釉坯釉不适应性 热膨胀系数
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静电卡盘与晶圆之间稀薄气体传热的影响因素 被引量：4
7
作者 孙钰淳 程嘉 +2 位作者 路益嘉 侯悦民 季林红 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期756-760,共5页
通过在晶圆背面填充稀薄气体的方式来对晶圆进行冷却或加热是等离子体刻蚀工艺中的一项关键技术。该文对晶圆与静电卡盘之间的稀薄气体传热问题进行了解析建模,给出了一个适用于整个气压范围的气体导热解析表达式,并用直接模拟Monte Ca... 通过在晶圆背面填充稀薄气体的方式来对晶圆进行冷却或加热是等离子体刻蚀工艺中的一项关键技术。该文对晶圆与静电卡盘之间的稀薄气体传热问题进行了解析建模,给出了一个适用于整个气压范围的气体导热解析表达式,并用直接模拟Monte Carlo方法验证了其准确性。基于该解析模型,还对气体压强、狭缝距离、热适应系数和气体温度等影响传热系数的参数进行了研究,发现狭缝距离和气体温度对传热系数影响较弱,即静电卡盘表面形貌(如凸台高度等)和刻蚀温度对于静电卡盘与晶圆之间的传热效果影响不大;而气体压强和热适应系数都表现出对传热系数有明显的影响。因此,在实际的刻蚀工艺中,可以通过调节气体压强来改变静电卡盘与晶圆之间的传热效果。 展开更多
关键词 传热 静电卡盘 稀薄气体 温度 气压 狭缝尺度 热适应系数
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