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电子束蒸发玻璃薄膜中间层的阳极键合研究 被引量:3
1
作者 沈伟东 吴亚明 +2 位作者 章岳光 刘旭 顾培夫 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期143-147,共5页
介绍了一种用电子束蒸发Schott 8329玻璃薄膜作为中间层,实现硅-硅以及硅-SOI阳极键合的方法。调整蒸发时的工艺并且450℃退火,沉积了粗糙度9.62 nm、初始应力139 MPa、喷点较少的薄膜,从而获得了>95%的键合面积。键合电压20 V,温度... 介绍了一种用电子束蒸发Schott 8329玻璃薄膜作为中间层,实现硅-硅以及硅-SOI阳极键合的方法。调整蒸发时的工艺并且450℃退火,沉积了粗糙度9.62 nm、初始应力139 MPa、喷点较少的薄膜,从而获得了>95%的键合面积。键合电压20 V,温度300℃~500℃下硅-硅的键合强度可达1.47 J/m2,同时分析了键合电流特性。400℃,40V下键合了Si和SIMOXSOI硅片,用TMAH溶液进行基底减薄,获得了厚介质层薄顶层硅结构,这为一些MEMS器件的制作奠定了基础。 展开更多
关键词 微机电系统 阳极键合 玻璃薄膜 电子束蒸发 键合强度
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光波导用玻璃薄膜的制备及其性能研究 被引量:9
2
作者 王浩敏 李佐宜 +2 位作者 林更琪 胡雪涛 廖红伟 《光电子技术与信息》 CAS 2002年第1期28-31,共4页
采用磁控射频溅射法制备光波导用玻璃薄膜。本文重点分析了不同溅射条件如氧分压、基片种类、基片温度下制备的薄膜光学性能,通过比较,得到制备0.6328μm和1.55μm窗口下光波导器件用玻璃薄膜所需溅射条件。
关键词 玻璃薄膜 光波导 溅射工艺 制备工艺
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溶胶-凝胶法制备SiO_2基光学玻璃薄膜的红外光谱研究 被引量:5
3
作者 樊先平 钱进 姚华文 《材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2002年第3期325-327,460,共4页
本文应用傅立叶变换红外光谱仪研究了组分、热处理温度对溶胶 凝胶技术制备的SiO2 、P2 O5 SiO2 、B2 O3 SiO2 以及P2 O5 B2 O3 SiO2 系统薄膜结构的影响规律。随热处理温度增加 ,薄膜中硅氧、硼磷氧、磷硅氧和硼硅氧网络逐渐增强。... 本文应用傅立叶变换红外光谱仪研究了组分、热处理温度对溶胶 凝胶技术制备的SiO2 、P2 O5 SiO2 、B2 O3 SiO2 以及P2 O5 B2 O3 SiO2 系统薄膜结构的影响规律。随热处理温度增加 ,薄膜中硅氧、硼磷氧、磷硅氧和硼硅氧网络逐渐增强。但薄膜中P2 O5和B2 O3 的含量存在一个饱和值 ,多余的P2 O5和B2 O3 展开更多
关键词 SiO2基光学玻璃薄膜 溶胶-凝胶技术 红外光谱 二氧化硅 结构
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湿化学方法制备Sb2S3玻璃薄膜 被引量:1
4
作者 徐键 王公平 +1 位作者 董建峰 沈祥 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第E01期281-283,共3页
Sb2S3薄膜在非线性光学和太阳能电池方面具有重要的应用。以SbCl3为原料,用湿化学方法制备了Sb2S3薄膜。用XRD、DSC、FTIR和XPS等对薄膜进行了结构表征,用椭圆偏振仪测试了薄膜的折射率。研究结果表明:所得薄膜为非晶态,其析晶温度... Sb2S3薄膜在非线性光学和太阳能电池方面具有重要的应用。以SbCl3为原料,用湿化学方法制备了Sb2S3薄膜。用XRD、DSC、FTIR和XPS等对薄膜进行了结构表征,用椭圆偏振仪测试了薄膜的折射率。研究结果表明:所得薄膜为非晶态,其析晶温度约250℃,折射率约2.98,薄膜组成计量接近Sb2S3。 展开更多
关键词 玻璃薄膜 硫化锑薄膜 湿化学制备
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溶胶-凝胶法制备B_2O_3-SiO_2和RO-B_2O_3-SiO_2系统玻璃薄膜 被引量:3
5
作者 刘书君 伍洪标 《玻璃与搪瓷》 CAS 北大核心 1997年第5期11-16,共6页
Glass films of B2O3-SiO2 and RO-B2O3-SiO2 (RO: CaO, MgO, ZnO) system wereprepared by sol-gel process.X-ray diffraction of gels was examided. Ralation oftransmissivity of films to RH,H2O/Si(OC2H5)4(mol), content of B2O... Glass films of B2O3-SiO2 and RO-B2O3-SiO2 (RO: CaO, MgO, ZnO) system wereprepared by sol-gel process.X-ray diffraction of gels was examided. Ralation oftransmissivity of films to RH,H2O/Si(OC2H5)4(mol), content of B2O3 was measured.Ralation between gelling time and H2O/Si (OC2H5)4(mol) was investigated.IR spectra ofgel and glass of 10B2O3.90SiO2 and 5MgO.10B2O3.80SiO2 system were also measured. Transformation from gel into glass was verified.This work provides a now refereace forpreparation of glass films of boric-silicate by sol-gel process. 展开更多
关键词 硼硅酸盐玻璃 玻璃薄膜 溶胶凝胶法 玻璃
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纳米TiO_2/玻璃薄膜光催化降解亚甲基蓝的研究 被引量:8
6
作者 王娅娟 《山东师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2003年第1期39-42,共4页
用溶胶 -凝胶法在玻璃表面制备了均匀透明的纳米TiO2 薄膜 .采用高压汞灯为光源 ,敞口固定床反应器对水中染料亚甲基蓝进行了光催化氧化实验 .实验结果表明 :随着涂膜次数的增加 ,薄膜TiO2 负载量增加 ,锐钛矿晶相粒径增大 .TiO2 薄膜... 用溶胶 -凝胶法在玻璃表面制备了均匀透明的纳米TiO2 薄膜 .采用高压汞灯为光源 ,敞口固定床反应器对水中染料亚甲基蓝进行了光催化氧化实验 .实验结果表明 :随着涂膜次数的增加 ,薄膜TiO2 负载量增加 ,锐钛矿晶相粒径增大 .TiO2 薄膜对亚甲基蓝氧化降解具有较高的光催化活性 ,降解反应符合一级速率方程 . 展开更多
关键词 亚甲基蓝 纳米TiO2/玻璃薄膜 光催化降解 光催化氧化 光催化活性 降解机理 废水处理
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电子束与电阻复合法制备Cu-Ti金属玻璃薄膜及性能测试 被引量:3
7
作者 胡青卓 张进军 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2019年第12期1620-1624,共5页
文章采用电子束与电阻复合热蒸发的方法,在衬底盘无冷却水条件下成功制备了Cu-Ti二元金属玻璃薄膜。通过X射线衍射仪(X-ray diffraction, XRD)、差示扫描量热仪(differential scanning calorimetry, DSC)和场发射透射电子显微镜(field e... 文章采用电子束与电阻复合热蒸发的方法,在衬底盘无冷却水条件下成功制备了Cu-Ti二元金属玻璃薄膜。通过X射线衍射仪(X-ray diffraction, XRD)、差示扫描量热仪(differential scanning calorimetry, DSC)和场发射透射电子显微镜(field emission transmission electron microscope, FE-TEM)表征了该二元合金薄膜的非晶态结构。此外,利用升温XRD方法研究了升温速率对玻璃转变温度和晶化温度的影响作用。另外,在紫外光和可见光辐照下,偏压分别为+0.2 V和-0.2 V时均有光电流响应,结果表明,该方法制备的Cu-Ti金属玻璃薄膜在紫外光和可见光区域具有光电响应特性,且表现出典型的N型光电流特性。 展开更多
关键词 电子束与电阻复合热蒸发 Cu-Ti金属玻璃薄膜 玻璃转变温度 光电流响应
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熔凝玻璃薄膜的形成及其C-V特性
8
作者 戴国瑞 孙颖 +2 位作者 童茂松 王宗昌 张英兰 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期187-190,共4页
报道了在成功地研制彩色电视机用的高反压大功率晶体管钝化玻璃粉的基础上 ,摸索了采用电泳涂覆技术以形成一定厚度的高质量熔凝玻璃薄膜的方法 ,用差热分析 (DTA)技术确定了玻璃粉的软化温度、烧结温度分别为 5 90和 6 80℃。用X射线衍... 报道了在成功地研制彩色电视机用的高反压大功率晶体管钝化玻璃粉的基础上 ,摸索了采用电泳涂覆技术以形成一定厚度的高质量熔凝玻璃薄膜的方法 ,用差热分析 (DTA)技术确定了玻璃粉的软化温度、烧结温度分别为 5 90和 6 80℃。用X射线衍射 (XRD)和光电子能谱 (XPS)对薄膜的物相和组份进行了分析 ,同时 ,将熔凝玻璃薄膜做成金属 绝缘体 半导体 (MIS)结构 ,对样品进行了C V特性测量 ,固定电荷密度为 1 4× 10 10 cm-2 ,可动离子数为 1 2× 10 11cm-2 。 展开更多
关键词 玻璃薄膜 电泳涂覆 结构分析 C-V特性
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脉冲激光沉积法制备Ge-Se-Bi硫系玻璃薄膜的结构(英文)
9
作者 潘瑞琨 臧浩春 +3 位作者 林常规 陶海征 赵修建 章天金 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期688-692,共5页
采用脉冲激光沉积法制备了(GeSe2)100-x-Bix(x=0~12)硫系玻璃薄膜。测量了薄膜的光学透射谱、吸收谱和拉曼光谱。薄膜的光学短波吸收边对应于电子的间接带间跃迁,并由此计算出其光学带隙。拉曼光谱分析表明Bi含量的增加,减小了玻璃的平... 采用脉冲激光沉积法制备了(GeSe2)100-x-Bix(x=0~12)硫系玻璃薄膜。测量了薄膜的光学透射谱、吸收谱和拉曼光谱。薄膜的光学短波吸收边对应于电子的间接带间跃迁,并由此计算出其光学带隙。拉曼光谱分析表明Bi含量的增加,减小了玻璃的平均键能,导致光学带隙由1.94 eV减小到1.11 eV。Tauc斜率由486 cm-1/2eV-1/2减小到178 cm-1/2eV-1/2。退火过程中的热漂白效应减小了玻璃的结构无序性,使得薄膜的光学带隙和Tauc斜率相应增大。 展开更多
关键词 硫系玻璃薄膜 光学带隙 拉曼光谱
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光波导用氟化物玻璃薄膜
10
作者 李家成 胡和方 干福熹 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期367-371,共5页
系统回顾了光波导用氟化物玻璃薄膜的研究历史 ,总结了其制备方法与研究现状 ,重点介绍了氟化物玻璃薄膜在无源光波导和有源光波导上的应用 。
关键词 氟化物玻璃薄膜 光波导 有源波导
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阳极焊过渡层钠硼硅系玻璃薄膜的制备
11
作者 阴旭 刘翠荣 孟庆森 《机械工程与自动化》 2006年第3期64-65,68,共3页
采用射频磁控溅射法在Z rO2陶瓷衬底上制备钠硼硅系玻璃薄膜,目的是以这层薄膜作为过渡层实现Z rO2精细陶瓷与单晶S i之间的阳极焊,通过XRD、EDS和SEM等测试手段对薄膜的物质结构和化学成分进行了多方面的分析,结果表明这种工艺是可行的。
关键词 阳极焊 磁控溅射 钠硼硅系玻璃薄膜
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金属玻璃薄膜的研究进展 被引量:4
12
作者 刘林根 董闯 +2 位作者 吴爱民 林国强 万鹏 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期11-18,共8页
金属玻璃因具有良好的软磁特性、塑性好、耐磨损、耐腐蚀、表面光滑等特点,近几十年来受到广泛关注。块体状金属玻璃在室温下具有宏观脆性和加工性能差的缺点,限制了其应用,而薄膜态金属玻璃易于实现,并且可以克服块体玻璃本身的脆性缺... 金属玻璃因具有良好的软磁特性、塑性好、耐磨损、耐腐蚀、表面光滑等特点,近几十年来受到广泛关注。块体状金属玻璃在室温下具有宏观脆性和加工性能差的缺点,限制了其应用,而薄膜态金属玻璃易于实现,并且可以克服块体玻璃本身的脆性缺陷,因而成为研究热点。综述了近十年来金属玻璃薄膜的研究成果,介绍了金属玻璃薄膜的制备方法,包括已经在工业中投入使用的物理气相沉积技术和电镀法,其中磁控溅射方法和电弧离子镀应用较多。阐述了金属玻璃薄膜的不粘性、抗疲劳性、耐腐蚀性、生物相容性、耐磨性、光学性能和催化性能以及相关影响因素,发现Zr基MGTF能够同时表现出多种性能,综合性能最佳,薄膜的不粘性值得特殊关注。表述了金属玻璃薄膜在改善合金性能、生物医疗领域和半导体领域的应用,在生物医用材料上镀膜可提高生物医用材料的不粘性和抗菌性,加速伤口愈合,具有很大潜力。最后,通过总结金属玻璃薄膜投入使用可能会面临的挑战和需要解决的问题,对今后的研究趋势进行了展望。 展开更多
关键词 金属玻璃薄膜 磁控溅射法 不粘性 抗疲劳性 生物医用材料
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高掺锡二氧化硅玻璃薄膜的制作及折射率测量
13
作者 王铿 贾宏志 +1 位作者 姜博实 夏桂珍 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期36-37,共2页
最近研究发现掺锡的二氧化硅玻璃薄膜具有很强的光敏性,但采用化学气相沉积法制作的掺锡二氧化硅玻璃薄膜其锡含量都不高。本文报道了采用溶胶—凝胶法制作高掺锡二氧化硅薄膜(二氧化锡含量分别为75%mol和66%mol)的实验结果。并用透射... 最近研究发现掺锡的二氧化硅玻璃薄膜具有很强的光敏性,但采用化学气相沉积法制作的掺锡二氧化硅玻璃薄膜其锡含量都不高。本文报道了采用溶胶—凝胶法制作高掺锡二氧化硅薄膜(二氧化锡含量分别为75%mol和66%mol)的实验结果。并用透射光谱法测试了薄膜的折射率,测试结果表明薄膜折射率随波长的增加而减小,随着二氧化锡含量的增加而增加。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 掺锡二氧化硅玻璃薄膜 透射光谱法
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金属玻璃薄膜中剪切带原子结构的电子显微研究
14
作者 姜红玉 温玉仁 +2 位作者 刘明 张庆华 谷林 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第4期387-392,共6页
本文利用球差校正透射电子显微镜对钯基金属玻璃薄膜的剪切带微观结构进行了研究。在低角环形暗场像中观察到,剪切带中存在纳米晶,但纳米晶没有造成剪切带宽度发生变化和分剪切带的出现,这表明纳米晶可能是剪切带形成之后所产生的。此外... 本文利用球差校正透射电子显微镜对钯基金属玻璃薄膜的剪切带微观结构进行了研究。在低角环形暗场像中观察到,剪切带中存在纳米晶,但纳米晶没有造成剪切带宽度发生变化和分剪切带的出现,这表明纳米晶可能是剪切带形成之后所产生的。此外,本文进一步对基体和剪切带的环形暗场像强度和径向分布函数进行了分析发现,与基体相比,剪切带中原子分布更加无序和松散,同时原子键长变大,这些表明剪切带中发生了大范围的原子重排,导致自由体积含量增加和原子密度降低。本文研究结果为进一步理解金属玻璃薄膜的形变机制和精确调控其力学性能提供了指导。 展开更多
关键词 金属玻璃薄膜 剪切带 原子结构 透射电子显微镜
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激光照明用La_(3)Si_(6)N_(11)∶Ce^(3+)荧光玻璃薄膜合成及其性能调控 被引量:2
15
作者 黄敏航 邾强强 +3 位作者 孟遥 胡翔宇 张宏 王乐 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第10期1482-1492,共11页
高性能荧光转换材料的开发是激光照明技术发展的关键,由于荧光材料会受到高功率激光的激发,因此必须具有高导热性能及优良的高温稳定性。荧光玻璃薄膜材料由于其优异的综合性能,在激光照明显示领域表现出了良好的应用前景。传统Y_(3)Al_... 高性能荧光转换材料的开发是激光照明技术发展的关键,由于荧光材料会受到高功率激光的激发,因此必须具有高导热性能及优良的高温稳定性。荧光玻璃薄膜材料由于其优异的综合性能,在激光照明显示领域表现出了良好的应用前景。传统Y_(3)Al_(5)O_(12)∶Ce^(3+)(YAG∶Ce^(3+))荧光玻璃薄膜由于显色性能较差,难以满足高品质激光照明应用的需求。氮化物荧光材料La_(3)Si_(6)N_(11)∶Ce^(3+)由于结构的特性,表现出比YAG∶Ce^(3+)更宽的发光光谱和更好的热猝灭性能。本工作针对高显色激光照明的应用需求,在镀有光学薄膜(蓝光透过)的高导热蓝宝石基板上制备了La_(3)Si_(6)N_(11)∶Ce^(3+)(LSN∶Ce^(3+))荧光玻璃薄膜,并研究了合成温度、荧光粉与玻璃粉的比例(PtG比)、薄膜厚度以及蓝光透过光学薄膜对最终样品发光性能的影响。通过工艺优化,在800℃条件下获得了综合性能优异的LSN∶Ce^(3+)荧光玻璃薄膜(PtG比为1∶1,厚度为50μm),样品可承受最大功率密度为12.73W/mm^(2)蓝色激光的激发,发光效率可以达到157.6 lm/W。此外,LSN∶Ce^(3+)荧光玻璃薄膜显色指数R_(a)相比YAG∶Ce^(3+)提高了9%左右,达到了74.9,在高显色、高功率激光照明领域表现出良好的应用前景。 展开更多
关键词 荧光玻璃薄膜 激光照明 蓝光透过膜 蓝宝石基板
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微晶玻璃薄膜基片助“神六”上天
16
作者 化信 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第10期94-94,共1页
曾为“神舟五号”飞船提供配套产品的河北省冀州市冀兴电子材料厂生产的微晶玻璃薄膜基片新材料,搭乘“神舟六号”飞船上天。
关键词 玻璃薄膜 基片 微晶 “神舟五号”飞船 电子材料 配套产品 新材料 冀州市 河北省
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节能美观的新型玻璃薄膜
17
《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期27-27,共1页
据媒体报道,加拿大不列颠哥伦比亚大学的科研人员成功开发出可反射各种波长光线的玻璃薄膜,使普通透明玻璃能呈现包括紫外光、红外光以及可见光在内的各种斑斓颜色。该项成果既有助于节约能源,又可美化建筑外观。相关研究结果发表在... 据媒体报道,加拿大不列颠哥伦比亚大学的科研人员成功开发出可反射各种波长光线的玻璃薄膜,使普通透明玻璃能呈现包括紫外光、红外光以及可见光在内的各种斑斓颜色。该项成果既有助于节约能源,又可美化建筑外观。相关研究结果发表在近期出版的《自然》杂志上。 展开更多
关键词 玻璃薄膜 美观 节能 哥伦比亚大学 《自然》杂志 科研人员 大不列颠 透明玻璃
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新型玻璃薄膜可反射各种波长光线
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《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期114-114,共1页
加拿大不列颠哥伦比亚大学成功开发出可反射各种波长光线的玻璃薄膜,使普通透明玻璃能够呈现包括紫外光、红外光以及可见光在内的各种斑斓颜色。研究项目负责人、该大学化学教授马克·麦克马兰表示,该项成果既有助于节约能源,又... 加拿大不列颠哥伦比亚大学成功开发出可反射各种波长光线的玻璃薄膜,使普通透明玻璃能够呈现包括紫外光、红外光以及可见光在内的各种斑斓颜色。研究项目负责人、该大学化学教授马克·麦克马兰表示,该项成果既有助于节约能源,又可美化建筑外观。 展开更多
关键词 玻璃薄膜 光线 波长 反射 哥伦比亚大学 项目负责人 大不列颠 透明玻璃
原文传递
加拿大开发出节能美观的新型玻璃薄膜
19
作者 徐美君 《玻璃与搪瓷》 CAS 2011年第2期20-20,共1页
加拿大不列颠哥伦比亚大学最近成功开发出可反射各种波长光线的玻璃贴膜,使普通透明玻璃能够呈现包括紫外光、红外光以及可见光在内的各种斑斓颜色。研究项目负责人、该大学化学教授马克·麦克马兰表示,该项成果既有助于节约能源... 加拿大不列颠哥伦比亚大学最近成功开发出可反射各种波长光线的玻璃贴膜,使普通透明玻璃能够呈现包括紫外光、红外光以及可见光在内的各种斑斓颜色。研究项目负责人、该大学化学教授马克·麦克马兰表示,该项成果既有助于节约能源,又可美化建筑外观。相关文章发表在最新出版的《自然》杂志上。 展开更多
关键词 玻璃薄膜 开发 加拿大 美观 节能 哥伦比亚大学 《自然》杂志 项目负责人
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加拿大开发出节能美观的新型玻璃薄膜
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《玻璃》 2011年第1期53-53,共1页
加拿大不列颠哥伦比亚大学最近成功开发出可反射各种波长光线的玻璃贴膜,使普通透明玻璃能够呈现包括紫外光、红外光以及可见光在内的各种斑斓颜色。研究项目负责人、该大学化学教授马克·麦克马兰表示,该项成果既有助于节约能源... 加拿大不列颠哥伦比亚大学最近成功开发出可反射各种波长光线的玻璃贴膜,使普通透明玻璃能够呈现包括紫外光、红外光以及可见光在内的各种斑斓颜色。研究项目负责人、该大学化学教授马克·麦克马兰表示,该项成果既有助于节约能源,又可美化建筑外观。相关文章发表在最新出版的《自然》杂志上。 展开更多
关键词 玻璃薄膜 开发 加拿大 美观 节能 哥伦比亚大学 《自然》杂志 项目负责人
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