芯片制造用含氟电子特气的研究进展 被引量：1

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作者 张呈平 权恒道 《精细化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期330-340,390,共12页

含氟电子特气主要用于芯片制造过程中的刻蚀和清洁工段,是不可或缺的关键性化工材料。该文比较了传统含氟电子特气和新型含氟电子特气,重点总结了新型含氟电子特气的主要合成路线,并指出最佳的产业化路线;介绍了芯片制造用含氟电子特气... 含氟电子特气主要用于芯片制造过程中的刻蚀和清洁工段,是不可或缺的关键性化工材料。该文比较了传统含氟电子特气和新型含氟电子特气,重点总结了新型含氟电子特气的主要合成路线,并指出最佳的产业化路线;介绍了芯片制造用含氟电子特气的发展现状;最后,针对当前含氟电子特气的主要知识产权被国外发达国家所垄断,且刻蚀和清洁工序的分步操作导致工序繁复且效率低下,难以满足高端芯片集成度和良品率等更高的精度需求问题,提出今后研究应开发满足国家重大战略需求的新一代含氟电子特气,具备刻蚀/清洁协同双功能,具有简化工序、提高效率、提升芯片制造良品率的优点,实现对当前刻蚀和清洁仅能分步操作的含氟电子特气的理想替代。 展开更多

关键词 电子特气 刻蚀 清洁 芯片制造 高端芯片 先进制程 刻蚀/清洁协同

原文传递

高纯电子特气痕量杂质分析方法进展

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作者 周志翔 王珂 +2 位作者 何红振 袁胜芳 张金彪 《低温与特气》 CAS 2024年第5期1-5,14,共6页

为保证高纯电子特气标准物质的质量,建立了痕量杂质的检测方法,对气体的研发、生产具有重要意义。高纯电子特气中的痕量杂质主要为痕量水、痕量氧、碳氧及碳氢化合物等,特殊杂质主要为氟化氢以及各种金属元素。针对不同痕量杂质的分析... 为保证高纯电子特气标准物质的质量,建立了痕量杂质的检测方法,对气体的研发、生产具有重要意义。高纯电子特气中的痕量杂质主要为痕量水、痕量氧、碳氧及碳氢化合物等,特殊杂质主要为氟化氢以及各种金属元素。针对不同痕量杂质的分析方法进行了论述,通过克服测量过程中的干扰因素可提高痕量杂质的测量准确性。 展开更多

关键词 高纯电子特气 痕量杂质 分析方法 气相色谱

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电子特气高纯度制备技术及其对半导体器件性能的影响研究

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作者 郝建波 邱科镔 《中文科技期刊数据库（引文版）工程技术》 2024年第10期0120-0123,共4页

本文主要针对高纯度电子特气的制备工艺及对半导体器件性能产生的影响进行深入的研究。首先对电子特气高纯度制备工艺现状进行分析,指出现有工艺中存在的瓶颈问题,讨论新技术开发和应用进展情况。然后,详细描述电子特气纯度对于半导体... 本文主要针对高纯度电子特气的制备工艺及对半导体器件性能产生的影响进行深入的研究。首先对电子特气高纯度制备工艺现状进行分析,指出现有工艺中存在的瓶颈问题,讨论新技术开发和应用进展情况。然后,详细描述电子特气纯度对于半导体器件电学性能及可靠性所产生的具体作用,并结合案例研究进一步验证纯度提升对于器件性能所产生的明显提升作用。同时本论文还注意到高纯度电子特气制备技术所面临的一些挑战,主要是技术创新和成本平衡、环保和可持续发展等方面的要求,最后展望了该技术发展的趋势和前景。 展开更多

关键词 高纯度电子特气 半导体器件性能 制备技术优化

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电子特气中痕量水溶性杂质的捕集方法研究

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作者 魏王慧 董翊 +4 位作者 常燕 于瑞祥 姜阳 任逸尘 高艳秋 《低温与特气》 CAS 2023年第6期12-16,共5页

配制系列离子浓度标准溶液,使用离子色谱绘制了液相NH+4的校准曲线,作为气体吸收实验的定量依据。使用自制气体吸收装置和标准气体进行气体吸收实验,确定了吸收液种类、吸收瓶材质。通过正交实验考察了吸收速率、吸收时间、吸收液体积... 配制系列离子浓度标准溶液,使用离子色谱绘制了液相NH+4的校准曲线,作为气体吸收实验的定量依据。使用自制气体吸收装置和标准气体进行气体吸收实验,确定了吸收液种类、吸收瓶材质。通过正交实验考察了吸收速率、吸收时间、吸收液体积和吸收瓶规格4个参数对捕集效率的影响,选出最优参数。通过气体稀释仪,绘制了不同浓度下氢中NH+4的气体响应校准曲线,线性良好。确定了气体吸收的检出限,远高于市场检测需求。所进行的吸收参数等的考察为我国集成电路基础材料检测的发展提供了有利的技术支撑。 展开更多

关键词 电子特气 水溶性杂质 离子色谱 气体吸收 捕集参数

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电子特气的合成与纯化技术研究进展 被引量：1

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作者 何红振 刘圆梦 +2 位作者 张金彪 宋新巍 许福胜 《低温与特气》 CAS 2023年第1期1-5,46,共6页

电子特气是电子工业中不可或缺的基础性支撑材料,被誉为电子行业的“血液”和“粮食”,电子特气通常对纯度要求高,一般在5N级,部分品种的纯度要求6N级甚至更高。因此,电子特气的关键制备技术不仅仅是合成技术,还包括纯化技术。对电子特... 电子特气是电子工业中不可或缺的基础性支撑材料,被誉为电子行业的“血液”和“粮食”,电子特气通常对纯度要求高,一般在5N级,部分品种的纯度要求6N级甚至更高。因此,电子特气的关键制备技术不仅仅是合成技术,还包括纯化技术。对电子特气的合成与纯化技术进行了归类总结,合成技术包括电解法、化学法和电解-化学法,纯化技术包括吸附法、精馏法、吸收法、膜分离法等,具有一定的参考价值和指导意义。 展开更多

关键词 电子特气 合成 纯化

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电子特气用包装容器制造工艺介绍

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作者 施天翔 薛剑 +2 位作者 朱梦玉 陆益锋 钟远 《低温与特气》 CAS 2023年第5期39-41,47,共4页

随着对电子特气需求逐年增大,电子特气用包装容器也越来越受人们重视,但是目前电子特气用包装容器还是以进口为主,且行业内还未出台专门针对电子特气用包装容器的相关法规标准。从制造标准、材料、焊接、容器内部处理、产品检验、产品验... 随着对电子特气需求逐年增大,电子特气用包装容器也越来越受人们重视,但是目前电子特气用包装容器还是以进口为主,且行业内还未出台专门针对电子特气用包装容器的相关法规标准。从制造标准、材料、焊接、容器内部处理、产品检验、产品验证6个方面介绍了电子特气用包装容器较常规气瓶的特殊点,为同行业提供参考。 展开更多

关键词 电子特气 包装容器 制造工艺

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电子特气在低温干法刻蚀中的应用与发展

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作者 陈润泽 花莹曦 +5 位作者 张建伟 倪珊珊 吝秀锋 李欣 孙加其 王佳佳 《低温与特气》 CAS 2023年第2期11-16,共6页

介绍了低温干法刻蚀技术的技术原理、应用和进展,探讨了不同刻蚀气体和工艺参数对低温干法刻蚀工艺的影响。

关键词 低温干法刻蚀 反应离子刻蚀 电子特气

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浅谈电子特气甲硅烷的国产化与行业展望

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作者 栗广奉 耿金春 柴岗元 《石油石化物资采购》 2023年第12期223-225,共3页

电子特气甲硅烷是一种重要的电子级有机硅材料,具有优异的绝缘、抗氧化、耐热、耐辐射等特性,受到了电子工业的广泛青睐.然而,目前国内电子特气甲硅烷的生产主要依赖于进口,国产化进程相对滞后.因此,主要探讨了电子特气甲硅烷的生产现... 电子特气甲硅烷是一种重要的电子级有机硅材料,具有优异的绝缘、抗氧化、耐热、耐辐射等特性,受到了电子工业的广泛青睐.然而,目前国内电子特气甲硅烷的生产主要依赖于进口,国产化进程相对滞后.因此,主要探讨了电子特气甲硅烷的生产现状、进展和面临的挑战,并分析电子特气甲硅烷在未来的应用和发展趋势,旨在推动我国电子特气甲硅烷行业发展新进程. 展开更多

关键词 电子特气甲硅烷 国产化 行业展望 探讨

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电子特气甲硅烷的国产化实践及行业展望 被引量：3

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作者 李学刚 肖文德 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期5231-5235,共5页

高纯甲硅烷是半导体工业中最重要“源”性气体,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、显示面板及车用动力电池等领域,曾被美、日、韩等国垄断。本文回顾了甲硅烷技术的国产化之路,指出氯硅法路线和反应精馏技术,创新高纯甲硅烷大规模生产新... 高纯甲硅烷是半导体工业中最重要“源”性气体,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、显示面板及车用动力电池等领域,曾被美、日、韩等国垄断。本文回顾了甲硅烷技术的国产化之路,指出氯硅法路线和反应精馏技术,创新高纯甲硅烷大规模生产新工艺,产品打破国外技术垄断并先后导入光伏、显示面板、集成电路等领域。本文还对甲硅烷电子特气行业进行展望,指出本文作者课题组为代表开发的氯硅法路线是未来的主流工艺,而镁硅法联产甲硅烷和乙硅烷也可能是一条较好路线,并认为通过技术整合和工艺创新开发多产品和多联产产品,发展平台型企业,是未来行业发展的方向。 展开更多

关键词 硅烷 电子特气 氯硅烷 电子材料 电子化学品

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日本电子特气业的技术与市场新观察 被引量：4

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作者 祝大同 《低温与特气》 CAS 2014年第6期7-11,共5页

综述了在2013年至2014年上半年间日本半导体用电子特气方面的市场变化及技术开发新进展。

关键词 日本 电子特气 半导体 市场

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电子特气中痕量水分测量方法 被引量：6

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作者 高艳秋 《上海计量测试》 2013年第5期28-30,共3页

针对电子特气中痕量水分的测量,设计了一套稳定可靠的气体取样系统。并对两种新的电子特气水分测量方法(石英振荡法和光腔衰荡法)及其代表性仪器进行研讨。两种分析方法及取样系统均适用于大多数电子特气,有效地保证了水分测量结果的准... 针对电子特气中痕量水分的测量,设计了一套稳定可靠的气体取样系统。并对两种新的电子特气水分测量方法(石英振荡法和光腔衰荡法)及其代表性仪器进行研讨。两种分析方法及取样系统均适用于大多数电子特气,有效地保证了水分测量结果的准确可靠。 展开更多

关键词 电子特气 痕量 水分 测量方法 取样系统

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吸气剂对电子特气氢、氩中杂质脱除机理及应用 被引量：3

12

作者 高嵩 赵霖 +2 位作者 刘皖南 乐昀 邱长春 《低温与特气》 CAS 2016年第1期47-49,共3页

研究了吸气剂对电子特气氢、氩气纯化的基本原理,着重叙述了吸气剂的机理及采用吸气剂纯化器大幅度提高气体指标、保障产气纯度的效果。

关键词 吸气剂 电子特气 氢气 氩 纯化

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电子特气充装管理与应急处置

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作者 马福圈 王磊 +2 位作者 刘见华 常欣 万烨 《有色冶金节能》 2022年第4期88-91,共4页

电子特气具有高压、腐蚀性、毒性、易燃易爆、使人窒息等危险特性,充装过程中的安全事故屡见不鲜,危及人员安全。本文简要介绍特气充装的一般流程,分析充装前检查、充装过程和充装后气瓶管理的注意事项以及充装过程的应急措施,旨在提高... 电子特气具有高压、腐蚀性、毒性、易燃易爆、使人窒息等危险特性,充装过程中的安全事故屡见不鲜,危及人员安全。本文简要介绍特气充装的一般流程,分析充装前检查、充装过程和充装后气瓶管理的注意事项以及充装过程的应急措施,旨在提高特气生产企业充装能力和安全管理水平。 展开更多

关键词 电子特气 气瓶 充装管理 应急处置

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凯美特气:电子特气发展强劲 进入新一轮成长期

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作者 贺天瑞 《股市动态分析》 2022年第21期35-36,共2页

市场近期仍以3000点为轴心进行反复震荡修复,由于目前影响市场的诸多因素皆不甚明朗,预计市场需要用时间换空间,以较长时间的盘整来消化和吸收各方面的信息。在这样的市况下,抓住公司个股的业绩确定性尤为重要。凯美特气(002549)处于工... 市场近期仍以3000点为轴心进行反复震荡修复,由于目前影响市场的诸多因素皆不甚明朗,预计市场需要用时间换空间,以较长时间的盘整来消化和吸收各方面的信息。在这样的市况下,抓住公司个股的业绩确定性尤为重要。凯美特气(002549)处于工业气体产业链中游制取环节,作为二氧化碳龙头,公司发力特气品类不断拓张,多重保障将驱动公司完成新一轮成长期。二级市场上,凯美特气仍处于大的上升通道,可积极关注。 展开更多

关键词 成长期 工业气体 电子特气 二氧化碳 二级市场 产业链 消化和吸收

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电子特气:半导体产业的血液

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作者 无 《股市动态分析》 2020年第22期54-54,共1页

电子气体广泛应用于半导体制造的各个工艺流程,常用于化学气相沉积、离子注入、光刻胶印刷、扩散、刻蚀及参杂等。电子气体的提纯、储运及纯度检测是高质量产品的核心技术。从全球角度来看,国际前五大气体龙头依旧以工业气体为主要营收... 电子气体广泛应用于半导体制造的各个工艺流程,常用于化学气相沉积、离子注入、光刻胶印刷、扩散、刻蚀及参杂等。电子气体的提纯、储运及纯度检测是高质量产品的核心技术。从全球角度来看,国际前五大气体龙头依旧以工业气体为主要营收业务(营收占比超过80%),国内的情况略有差异,工业气体行业由于进入门槛不高,资本投入较低,并未完成行业内的整合,而电子特气由于纯度要求和下游客户认证周期,门槛较高,电子特气业务占比和下游客户结构成为衡量龙头企业的核心标准。 展开更多

关键词 全球角度 下游客户 工业气体 高质量产品 电子气体 半导体制造 电子特气 化学气相沉积

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新型检测方法在含氟电子特气纯度检测中的应用与研究

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作者 宗继奎 申桂贤 《安家》 2022年第11期0028-0030,共3页

研究采用了多种新型检测技术,包括光谱分析、色谱分析和质谱分析等方法,探讨这些技术在含氟电子特气杂质检测中的应用。光谱技术具备高灵敏度和选择性,适用于微量杂质的实时检测;气相色谱与离子色谱能高效分离有机和水溶性杂质;质谱分... 研究采用了多种新型检测技术,包括光谱分析、色谱分析和质谱分析等方法,探讨这些技术在含氟电子特气杂质检测中的应用。光谱技术具备高灵敏度和选择性,适用于微量杂质的实时检测;气相色谱与离子色谱能高效分离有机和水溶性杂质;质谱分析技术则在复杂气体混合物中展示了极高的精准度。新型检测技术明显提高了含氟电子特气的纯度控制能力,为电子制造行业提供了更可靠的解决方案。 展开更多

关键词 含氟电子特气 纯度检测 光谱分析

原文传递

气体吸收-电感耦合等离子体三重四极杆质谱(ICP-MS/MS)法测定电子工业高纯氩气中44种超痕量元素

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作者 陈婷婷 李鹰 +2 位作者 徐岳 俞晓峰 吴智威 《中国无机分析化学》 CAS 北大核心 2024年第7期963-972,共10页

随着电子工业对特气纯度要求的日益提高,为能达到更低的检测下限,在国家标准方法的基础上优化气体吸收装置,并使用电感耦合等离子体三重四极杆质谱(ICP-MS/MS)法同时测定特气中44种元素含量。高纯氩气中的超痕量杂质元素可经优化后的气... 随着电子工业对特气纯度要求的日益提高,为能达到更低的检测下限,在国家标准方法的基础上优化气体吸收装置,并使用电感耦合等离子体三重四极杆质谱(ICP-MS/MS)法同时测定特气中44种元素含量。高纯氩气中的超痕量杂质元素可经优化后的气体吸收装置被完全吸收至5%硝酸吸收液中,吸收液可直接经ICP-MS/MS测定,并通过Std、He、NH_(3)、Cool、Cool NH_(3)等多种分析模式,有效消除了目标元素所遭受的多类型质谱干扰(多原子离子、双电荷、同量异位素等)。在优化的实验条件下,采样体积为89.4 L时,高纯氩气中44种超痕量杂质元素可获得的检出限为0.00002~0.0026 ng/L,较国家标准(GB/T 34972—2017)所规定的检出限范围低1~4个数量级,且所有目标元素均可获得优于0.999的标准曲线相关系数,加标回收率为90.1%(Zn)~118%(Na),相对标准偏差在0.68%(Cs)~14%(Zn)。优化后的气体吸收装置具有便携高效、功能多样、隔绝污染等特点,与ICP-MS/MS相结合实现了高纯氩气中超痕量杂质元素的稳定可靠测试,可为半导体、高纯材料等对气体纯度有极高要求的工业产品原料质控提供技术支持。 展开更多

关键词 电子特气 超痕量元素 ICP-MS/MS 气体吸收 干扰消除

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金宏气体、万润新能源携手工业废气高效利用

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《化工时刊》 CAS 2024年第4期6-6,共1页

2024年7月,金宏气体与深圳万润新能源有限公司(以下简称“万润新能源”)签署投资合作协议,双方拟在工业气体、电子特气等方面展开合作,为市场带来新的增长动力。此次合作旨在利用工业企业生产过程中产生的余气、废气资源,通过碳减排、... 2024年7月,金宏气体与深圳万润新能源有限公司(以下简称“万润新能源”)签署投资合作协议,双方拟在工业气体、电子特气等方面展开合作,为市场带来新的增长动力。此次合作旨在利用工业企业生产过程中产生的余气、废气资源,通过碳减排、碳回收、清洁能源提纯等技术进行加工提纯,实现资源的高效利用和环境的可持续发展。万润新能源作为万润科技的全资子公司,是国内综合能源服务行业的领军企业之一。此次与金宏气体的合作,将进一步巩固其在新能源领域的领先地位,推动产业升级和技术创新。此次战略合作的签署,标志着金宏气体和万润新能源在新能源领域的深度融合。双方将充分发挥各自优势,共同探索工业气体和电子特气领域的创新应用,为推动能源转型和实现“双碳”目标贡献力量。 展开更多

关键词 产业升级 工业气体 新能源 电子特气 高效利用 可持续发展 工业废气 能源转型

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氟气混合气中氟气含量分析

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作者 叶相平 《低温与特气》 CAS 2024年第4期46-48,共3页

采用紫外吸收法及气相色谱仪的分析方法,完成了对氟气混合气中氟气含量的测定,采取取样系统,阐述其分析过程,并对比使用2种分析方法分析氟气含量的优缺点,结果表明紫外吸收法具有重复性好、线性范围宽、分析时间短、操作方便等特点。

关键词 紫外吸收法 气相色谱仪 氟气混合气 电子特气

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发展中的中国特种气体 被引量：1

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作者 孙福楠 于大秋 《低温与特气》 CAS 2018年第6期1-5,共5页

介绍了2018年中国特气的发展,展望了中国特种气体的未来发展,强调我国特种气体走自主发展、正规化、规模化、国际化的重要性。

关键词 电子特气 电子硅烷 电子乙硼烷 电子磷烷 标准气体

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