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母盘刻录技术新进展
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作者 蒋培军 范晓东 +2 位作者 钱坤 徐端颐 齐国生 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期822-826,共5页
介绍了母盘刻录中的关键技术和当前母盘刻录技术的各个研究领域及其最新进展。指出了这些技术在下一代母盘刻录中的应用前景。
关键词 母盘刻录 电子束 近场 超分辨技术 直接母盘刻录系统
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