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一种新型电子束曝光文件格式设计及其应用 被引量：2
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作者 李晓娜 张今朝 +2 位作者 刘伟 孙红三 韩立 《微细加工技术》 EI 2005年第2期24-27,45,共5页
提出一种新型的电子束曝光数据格式,引入了面向对象的设计和适应于矢量型电子束扫描方式的设计,提高了对通用图形数据格式转换的精确度和效率,同时更便于对电子束曝光机的曝光控制。该设计已在电工所的科研项目“纳米级电子束曝光系统... 提出一种新型的电子束曝光数据格式,引入了面向对象的设计和适应于矢量型电子束扫描方式的设计,提高了对通用图形数据格式转换的精确度和效率,同时更便于对电子束曝光机的曝光控制。该设计已在电工所的科研项目“纳米级电子束曝光系统”中得到应用,被称之为EDF数据格式。 展开更多
关键词 电子束曝光机 数据格式转换 面向对象的设计 矢量型电子束扫描
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