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题名聚晶金刚石刀具研磨质量及去除机理研究
被引量：4
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作者
王森
董海
谷雨
王明
王加威
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机构
大连理工大学机械工程学院
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2022年第4期467-472,共6页
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文摘
针对聚晶金刚石(PCD)刀具的研磨质量问题,选择刃口钝圆半径、刃口缺陷度、后刀面粗糙度作为评价指标进行工艺参数的优化试验,并分析PCD的研磨去除机理。结果表明:工作台调定压力对刃口钝圆半径影响最显著;金刚石砂轮对刃口缺陷度影响最显著;砂轮转速对后刀面粗糙度影响最显著。选择4/5陶瓷基金刚石砂轮、1000 r/min砂轮转速、170 N工作台调定压力可以获得研磨质量较高的PCD刀具。试验条件下,PCD的主要去除方式为划擦作用与微细破碎。1000 r/min砂轮转速、170 N工作台调定压力下的微细破碎在保证较小刃口钝圆半径与刃口缺陷度的同时,可以获得相对平整的PCD表面。
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关键词
PCD刀具
正交试验
参数优化
研磨去除机理
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Keywords
PCD tools
orthogonal test
parameter optimization
grinding removal mechanism
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分类号
TG71
[金属学及工艺—刀具与模具]
TG58
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名多线切割机的切割运动分析
被引量：9
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作者
种宝春
靳永吉
罗嘉辉
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2010年第2期31-34,共4页
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文摘
半导体晶圆不断向大直径方向发展,内圆刀具的单片切割方式已经不能满足大直径晶圆的切片要求,随着多线锯切割技术的完善,多线切割机已经是半导体材料切片的主流设备。对砂粒在切割过程中的运动进行了分析,同时对钢线张力、切削进给运动进行了理论分析。
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关键词
多线切割
研磨去除
变速进给
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Keywords
Multi-wire saw
Abrasive removal
Variable-speed feeding
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分类号
TN305.1
[电子电信—物理电子学]
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