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题名基于OG154的紫外纳米压印研究
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作者
司卫华
董晓文
顾文琪
刘泽文
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机构
清华大学微电子所
中国科学院电工研究所
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出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期230-233,共4页
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文摘
制作出适用于紫外压印的模板,用自行研制的UVNIL-01型气囊气缸式紫外压印机,分别在硬质纸板上和石英玻璃上做了紫外压印实验。用紫外固化聚合物OG154完成了紫外纳米压印,转移复制了具有100nm特征尺寸纳米结构图形。在实验中,采用的模板面积为5cm×5cm,压力最大为2bar,脆性模板和基片未发生破裂,表明气囊气缸压印系统可以完成大面积图形的转印。实验结果表明,硬质纸板对聚合物OG154的粘附力大于模板对聚合物的粘附力,很利于脱模分离。石英玻璃基板对OG154的粘附力小,很容易剥离成OG154薄膜。
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关键词
紫外压印
模板
硬质纸板
石英玻璃
OG154
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Keywords
UV nano-imprint
Stamp
rigidity paper substrate
quartz glass
OG154
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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