近日.应用材料公司宣布推出半导体单硅片大电流离子注入系统,即全新的Applied Varian V Ⅱ Sta Trident系统.通过嵌入“掺杂物”原子以调整芯片电性能,新型VⅡ Sta Trident系统是唯一一台被证明能够确保成品率.在20纳米技术节点实...近日.应用材料公司宣布推出半导体单硅片大电流离子注入系统,即全新的Applied Varian V Ⅱ Sta Trident系统.通过嵌入“掺杂物”原子以调整芯片电性能,新型VⅡ Sta Trident系统是唯一一台被证明能够确保成品率.在20纳米技术节点实现高性能低功耗逻辑芯片制造的离子注入系统.展开更多
文摘近日.应用材料公司宣布推出半导体单硅片大电流离子注入系统,即全新的Applied Varian V Ⅱ Sta Trident系统.通过嵌入“掺杂物”原子以调整芯片电性能,新型VⅡ Sta Trident系统是唯一一台被证明能够确保成品率.在20纳米技术节点实现高性能低功耗逻辑芯片制造的离子注入系统.