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全织物型离电式柔性压力传感器的制备及其性能
1
作者 张蕊 叶苏娴 +1 位作者 王建 邹专勇 《纺织学报》 北大核心 2025年第2期113-121,共9页
针对传统的电容式压力传感器灵敏度较低且不透气的问题,制备了一种采用碳纳米管修饰的非织造布为电极层,离子液体处理的非织造布为介电层的透气性全织物型离电式柔性压力传感器。借助扫描电子显微镜、全自动单一纤维接触角测量仪和全自... 针对传统的电容式压力传感器灵敏度较低且不透气的问题,制备了一种采用碳纳米管修饰的非织造布为电极层,离子液体处理的非织造布为介电层的透气性全织物型离电式柔性压力传感器。借助扫描电子显微镜、全自动单一纤维接触角测量仪和全自动透气性测试仪等表征与分析电极层和介电层。结果表明:全织物型离电式柔性压力传感器在低压范围(0~1.19 kPa)内的灵敏度高达2.89 kPa-1,具有0~224 kPa较宽的感测范围,较短的响应时间(50 ms),在超过1000次施压循环后仍然保持较稳定的相对电容变化;此外,还具有较好的透气率(225 mm/s)和超疏水性,其水接触角为159.5°。全织物型离电式柔性压力传感器对人体关节运动具有优异的识别能力,在运动监测领域具有潜在的应用前景。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 离电式柔性压力传感器 非织造布 碳纳米管 运动监测
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全纳米纤维离电式柔性压力传感器的制备及性能研究 被引量：2
2
作者 赵晰蒙 李方全 +6 位作者 崔萌 汪滨 王颖 张秀芹 祝桂香 郭敏 郭子芳 《北京服装学院学报（自然科学版）》 CAS 2024年第1期47-55,64,共10页
为解决传统的电容式压力传感器灵敏度低的问题,基于聚丁二酸丁二醇酯对苯二甲酸丁二醇酯(PBST)和离子液体(ILs),采用静电纺丝技术制备离子介电层(ILs/PBST),并利用离电式压力传感机制开发了一种灵敏、透气的全纳米纤维离电式柔性压力传... 为解决传统的电容式压力传感器灵敏度低的问题,基于聚丁二酸丁二醇酯对苯二甲酸丁二醇酯(PBST)和离子液体(ILs),采用静电纺丝技术制备离子介电层(ILs/PBST),并利用离电式压力传感机制开发了一种灵敏、透气的全纳米纤维离电式柔性压力传感器。该器件具有超高灵敏度(902.4 kPa-1,0~6 kPa)和快速响应/恢复时间(147 ms/147 ms),能够快速稳定地监测多种人体运动及生理信号。此外,三维多孔纳米纤维网络赋予其良好的透气性,确保其长期佩戴的舒适性,该器件有望应用在智能医疗领域。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 纳米纤维膜 离子介电层 离电式传感机理
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压阻式柔性压力传感器的研究进展
3
作者 刘庆华 李丽 《安徽化工》 2025年第1期1-6,共6页
对压阻式柔性压力传感器的材料、传感性能指标优化方法进行了综述。探讨了柔性压力传感器在基底材料、活性层材料和电极材料领域的研究现状,重点对比总结了柔性压力传感器的结构设计,比较了平面薄膜结构、表面粗糙结构和三维多孔结构传... 对压阻式柔性压力传感器的材料、传感性能指标优化方法进行了综述。探讨了柔性压力传感器在基底材料、活性层材料和电极材料领域的研究现状,重点对比总结了柔性压力传感器的结构设计,比较了平面薄膜结构、表面粗糙结构和三维多孔结构传感器的优缺点,以期为制备传感性能优异的新型柔性压力传感器提供参考。 展开更多
关键词 压阻式 柔性压力传感器 柔性材料 性能优化
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柔性摩擦电压力传感器结构设计及应用的研究进展
4
作者 王荟琪 张会 +5 位作者 李亚鹏 冯伟 武泽园 李仕琳 杨旋 张建华 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期5601-5611,共11页
伴随着人工智能化和可持续能源的发展,柔性摩擦电压力传感器凭借轻量化、小尺寸、低能耗、可拉伸以及优异的电气性能等优点在人体运动及健康监测、智能医疗和人机交互等领域显现出强大的发展潜力。但是截至目前,对于柔性摩擦电压力传感... 伴随着人工智能化和可持续能源的发展,柔性摩擦电压力传感器凭借轻量化、小尺寸、低能耗、可拉伸以及优异的电气性能等优点在人体运动及健康监测、智能医疗和人机交互等领域显现出强大的发展潜力。但是截至目前,对于柔性摩擦电压力传感器如何通过结构设计获得高指标性能是目前所面临的关键问题。在未来,柔性摩擦电压力传感器会更注重微结构的设计与传感性能的构建。因此,本文基于柔性摩擦电压力传感器的原理,总结并概述了影响柔性摩擦电压力传感器性能的核心因素,即核心元件材料的选择和结构设计。同时重点阐述了三种不同结构设计柔性摩擦电压力传感器的工作方式,揭示了不同类型的结构对其性能的影响。此外,还总结了该类传感器目前的应用领域及存在的瓶颈问题。最后指出了柔性摩擦电压力传感器未来的发展趋势,新型材料和结构设计有机结合将有利于进一步推进柔性摩擦电压力传感器实现量产化的市场需求。 展开更多
关键词 柔性摩擦电压力传感器 传感原理 传感材料 结构设计
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基于导电橡胶填充海绵的柔性压力传感器研究 被引量：1
5
作者 刘健 刘平 +3 位作者 唐欣悦 王睿 滕飞 黄厚柱 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第10期59-62,共4页
随着智能机器人的发展,具有精准压力感知能力的电子皮肤成为研究热点。本文使用改性多壁碳纳米管(MWCNTs)和硅橡胶(SR)组成的复合材料及三聚氰胺海绵,采用浸渍工艺,制备了一种高灵敏电阻式柔性压力传感器。阐述了传感器的制作流程,对多... 随着智能机器人的发展,具有精准压力感知能力的电子皮肤成为研究热点。本文使用改性多壁碳纳米管(MWCNTs)和硅橡胶(SR)组成的复合材料及三聚氰胺海绵,采用浸渍工艺,制备了一种高灵敏电阻式柔性压力传感器。阐述了传感器的制作流程,对多壁碳纳米管的改性进行了表征,测试了压力传感器的传感性能,并将传感器装配到机械手上实时检测压力。测试结果表明:制备的海绵压力传感器具有良好的稳定性,宽工作范围(0~580kPa),快速的响应时间(~46ms)及良好的重复性(~2000次)。将传感器装配到定制的3D打印机械爪模具中安装到机械臂上,通过设计的信号采集电路及编写LabVIEW,上位机可以实时获取传感器的信号,得到机械爪上的压力数据,并结合支持向量机算法实现对抓取物体的分类。 展开更多
关键词 压力传感器 柔性 电阻式 泡沫
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基于rGO/PDMS可穿戴电阻式柔性压力传感器的制备和性能研究 被引量：2
6
作者 任孟 陈宇岳 +1 位作者 张德锁 林红 《纺织导报》 CAS 2022年第6期92-92,94,95,96,共4页
文章介绍了一种基于还原型氧化石墨烯(rGO)/聚二甲基硅氧烷(PDMS)的电阻式柔性压力传感器,提出了一种制备柔性压力传感器的新方法,并研究了rGO浓度对该传感器灵敏度的影响。结果表明,该柔性压力传感器具有较高的灵敏度,当rGO掺杂量为4%... 文章介绍了一种基于还原型氧化石墨烯(rGO)/聚二甲基硅氧烷(PDMS)的电阻式柔性压力传感器,提出了一种制备柔性压力传感器的新方法,并研究了rGO浓度对该传感器灵敏度的影响。结果表明,该柔性压力传感器具有较高的灵敏度,当rGO掺杂量为4%时,灵敏度最大可达到76.321 kPa^(-1),可用于监测人体关节弯曲程度和手腕中的脉搏运动。该电阻式柔性压力传感器制造成本低,灵敏且耐用,在机器人皮肤和智能穿戴领域具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 rGO/PDMS 电阻式 可穿戴
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新型接近式柔性电涡流阵列传感器系统 被引量：22
7
作者 陈祥林 丁天怀 黄毅平 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期150-153,共4页
介绍了一种采用柔性印刷电路板工艺制作的新型接近式电涡流传感器阵列及其测试系统,以实现大面积曲面间微小间隙的实时监测。基于时分多路的扫描测试方法,对传感器阵列的设计方法、加工工艺及基底材料进行研究,设计了分叉式结构的线圈... 介绍了一种采用柔性印刷电路板工艺制作的新型接近式电涡流传感器阵列及其测试系统,以实现大面积曲面间微小间隙的实时监测。基于时分多路的扫描测试方法,对传感器阵列的设计方法、加工工艺及基底材料进行研究,设计了分叉式结构的线圈阵列及细长扁平引线电缆的柔性传感器探头。对传统的调频式振荡电路进行改进,解决线圈品质因数小的问题,提高了传感器系统的测试性能。试验结果表明,在2mm的量程范围内,传感器系统的测量精度优于±0.5％,适用于曲面间隙的在线监测。 展开更多
关键词 电涡流传感器 线圈阵列 柔性基底 接近式测量 时分多路
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阵列式柔性薄膜传感器的快速扫描实现
8
作者 刘丰铨 尹锡轩 +3 位作者 郭伟东 牛鑫蕊 东浩 胡正发 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第8期102-105,共4页
柔性薄膜传感器由于具有极高的柔韧性和可拓展性,可生产出不同大小的面积形状,通过阵列式排布,可以设计出大尺寸、多样化与数据实时特点的集成传感器模块。但对于大尺寸阵列式柔性薄膜的数据实时采集的方法仍存在挑战,本文基于STM32单... 柔性薄膜传感器由于具有极高的柔韧性和可拓展性,可生产出不同大小的面积形状,通过阵列式排布,可以设计出大尺寸、多样化与数据实时特点的集成传感器模块。但对于大尺寸阵列式柔性薄膜的数据实时采集的方法仍存在挑战,本文基于STM32单片机以及一块4×4(可拓展)的阵列式柔性薄膜,经STM32控制,实现阵列式快速扫描,实时快速地定位出信号来源并反馈出在该薄膜单元的压力变化值。 展开更多
关键词 柔性薄膜 阵列式 快速扫描 传感器 压力应变
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导丝头端柔性压力传感器设计及灵敏度分析
9
作者 张立品 彭瀚旻 唐雄峰 《振动．测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2024年第6期1196-1200,1250,1251,共7页
为了感知血管介入手术时导丝头端与血管壁的接触力大小,通过分析导电复合高分子材料的传感机理,研制了一种以羧基化单壁碳纳米管(carboxylated single-walled carbon nanotubes,简称COOH-SWCNTs)为导电填料的压阻式柔性压力传感器,安装... 为了感知血管介入手术时导丝头端与血管壁的接触力大小,通过分析导电复合高分子材料的传感机理,研制了一种以羧基化单壁碳纳米管(carboxylated single-walled carbon nanotubes,简称COOH-SWCNTs)为导电填料的压阻式柔性压力传感器,安装在导丝头端,其外径为1.8 mm,长度为5 mm,具有尺寸小、灵敏度高的优点。首先,通过有限元方法,建立了压阻的灵敏度仿真计算模型;其次,搭建了实验平台测试其灵敏度曲线,对传感器进行标定;最后,建立了血管介入手术过程的仿体模型,测量了导丝介入时头端与血管壁的接触力变化值。仿真计算和实验结果表明:柔性压力传感器的灵敏度为2.05×104Ω/N,量程为1 N,在导丝介入血管的过程中,导丝头端与血管壁的最大接触力不超过0.5 N,能够有效感知血管介入时导丝头端与血管壁动态的接触情况,为血管介入手术机器人的力反馈控制提供了新的方法。 展开更多
关键词 导丝 力感知 压阻式柔性压力传感器 羧基化单壁碳纳米管 血管介入器械
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压阻式压力传感器及其应用电路设计 被引量：13
10
作者 才滢 毕鹏 《航空计测技术》 2002年第5期12-14,共3页
介绍了压阻式传感器的工作原理以及相关应用电路 。
关键词 压阻式压力传感器 应用电路 设计 工作原理
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一种杠杆式柔性压力传感器标定装置研制 被引量：1
11
作者 同志学 曹恒源 +2 位作者 闫观海 李晨宇 张学锋 《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第8期123-127,142,共6页
针对现有柔性压力传感器标定装置及方法存在精度差、结构复杂且不易操作等问题,设计并搭建一种杠杆式标定装置。采用STM32和增量式PID算法作为微处理器和控制算法,实现标定装置中步进电机角度和速度控制。通过步进电机转动调节配重的位... 针对现有柔性压力传感器标定装置及方法存在精度差、结构复杂且不易操作等问题,设计并搭建一种杠杆式标定装置。采用STM32和增量式PID算法作为微处理器和控制算法,实现标定装置中步进电机角度和速度控制。通过步进电机转动调节配重的位置,从而利用杠杆原理对施加在标定对象上的载荷进行调节。通过这种间接加压方式,可对标定对象进行高精度压力加载。实验表明:研制的杠杆式标定装置可在0~20 N量程内,20 s内达到期望压力值且测量误差保持在±0.01 N,具有高精度压力加载、操作简单等特点,可用于高质量、高效率的柔性压力传感器标定。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 杠杆式标定装置 间接加压 标定
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柔性压力传感器研制及其静/动态性能验证
12
作者 杨水旺 付政伟 +1 位作者 赵质良 杜雨丰 《计测技术》 2024年第5期48-56,共9页
为了解决飞行器高速飞行过程中精细化感知壁面静态压力分布与动态压力变化的复杂问题,通过精细配比聚二甲基硅烷-碳纳米管(Polydimethylsilane-Carbon Nanotubes,PDMS-CNTs)的材料浓度,并键合连接传感器的电极层和介电层,研制了一款基于... 为了解决飞行器高速飞行过程中精细化感知壁面静态压力分布与动态压力变化的复杂问题,通过精细配比聚二甲基硅烷-碳纳米管(Polydimethylsilane-Carbon Nanotubes,PDMS-CNTs)的材料浓度,并键合连接传感器的电极层和介电层,研制了一款基于PDMS介电材料的电容式柔性压力传感器,克服了传感器电极层和介电层界面摩擦、能量损耗失配的难点。通过静/动态性能验证实验,验证了传感器的静态压力分布以及动态压力变化。结果显示,所研制的传感器在检测0.1~104.9 kPa静态压力的同时,能够实现10~2000 Hz振动频率条件下的动态压力检测,具有良好的静/动态压力感知能力。可将此柔性压力传感器应用于飞行器复杂的曲面结构,其在优化飞行器的气动外形方面具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 飞行器参数测量 静态压力测量 动态压力测量 电容式柔性传感器 PDMS介电层
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压阻式传感器用于服装压力测试的电路设计
13
作者 周彬 胡心怡 邓式皓 《山东纺织科技》 2006年第5期35-37,共3页
文章介绍了压阻式传感器的工作原理及其优越性能,结合高性能的放大及补偿电路进行了服装压力测试的电路设计。该服装压力测试方法为服装压力舒适性的客观评定提供了依据。
关键词 服装压力 压阻式传感器 放大及补偿电路
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石墨烯/PDMS仿生银杏叶微结构柔性压阻式压力传感器 被引量：10
14
作者 李伊梦 侯晓娟 +1 位作者 张辽原 丑修建 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第3期198-203,共6页
柔性压阻式压力传感器是可穿戴健康监测系统和人机交互设备的重要组成部分。在实际应用中,对具有高灵敏度和宽线性范围的压阻式压力传感器的需求迫切。以石墨烯油墨为功能层、聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性材料,设计并制备了具有仿生银杏... 柔性压阻式压力传感器是可穿戴健康监测系统和人机交互设备的重要组成部分。在实际应用中,对具有高灵敏度和宽线性范围的压阻式压力传感器的需求迫切。以石墨烯油墨为功能层、聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性材料,设计并制备了具有仿生银杏叶微结构的柔性压力传感器。利用扫描电子显微镜(SEM)表征了传感器的表面形貌。结果表明,仿生银杏叶表面的微结构包括平行叶脉和各种形状不一的凸起。该传感器具有1.56 kPa-1的高灵敏度和22.6 Pa^20 kPa的宽线性范围,当施加不同的载荷时有明显的台阶现象,并且可以在10000次的循环压力测试下保持稳定良好的性能。传感器的响应时间缩短至80 ms左右。此外,该压阻式压力传感器可用于检测人体关节的运动,表明其在健康监测和电子皮肤中应用潜力巨大。 展开更多
关键词 压阻式压力传感器 仿生银杏叶微结构 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 石墨烯油墨 柔性材料
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柔性压阻式压力传感器的制备与性能优化 被引量：8
15
作者 汪康 何壮 喻研 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第8期781-793,共13页
柔性压力传感器由于具有人体组织一样的柔软性在健康监测、电子皮肤和人机交互等领域扮演重要角色,21世纪物联网技术和人工智能的飞速发展带动了柔性压力传感器的应用热潮,其中柔性压阻式压力传感器因具有结构简单、易于制备、成本低的... 柔性压力传感器由于具有人体组织一样的柔软性在健康监测、电子皮肤和人机交互等领域扮演重要角色,21世纪物联网技术和人工智能的飞速发展带动了柔性压力传感器的应用热潮,其中柔性压阻式压力传感器因具有结构简单、易于制备、成本低的优点而被广泛使用。为了使柔性压阻式压力传感器能够应用于不同区间下的压力检测,科研人员通过材料选择和结构设计不断优化传感器的性能。本文从材料选择、制备方法和性能优化几个方面综述了近几年柔性压阻式压力传感器的发展动态,并从实际应用的角度出发对未来传感器的发展方向作出展望。 展开更多
关键词 柔性压阻式压力传感器 制备 综述 性能优化 展望
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柔性压阻式压力传感器应用与展望 被引量：4
16
作者 汪康 喻研 《功能材料与器件学报》 CAS 2022年第1期68-78,共11页
柔性压阻式压力传感器具备机械灵活性、可穿戴、制备成本低的优点,同时可以通过结构设计优化传感器灵敏度,这些特性使其在健康检测、机器人触觉感知以及形状识别上具有重要应用价值。然而传感器在实际应用时仍面临着能源驱动、环境干扰... 柔性压阻式压力传感器具备机械灵活性、可穿戴、制备成本低的优点,同时可以通过结构设计优化传感器灵敏度,这些特性使其在健康检测、机器人触觉感知以及形状识别上具有重要应用价值。然而传感器在实际应用时仍面临着能源驱动、环境干扰、重复性使用等问题,围绕着这些方向科研人员已经开展了许多工作并取得一些创新性研究成果。相比于结构设计不断刷新传感器灵敏度上限而言,提升传感器综合性能接轨实际应用是未来的发展趋势。本文综述了柔性压阻式压力传感器在生活中的常见应用,针对应用时存在的问题对未来的发展方向做出展望,并介绍了近几年相关工作的进展。 展开更多
关键词 柔性压阻式压力传感器 应用 展望
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柔性压阻式压力传感器的研究进展 被引量：31
17
作者 李凤超 孔振 +2 位作者 吴锦华 纪欣宜 梁嘉杰 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第10期33-50,共18页
柔性压阻式压力传感器作为柔性压力传感器的重要分支,具有结构简单、灵敏度高、工作范围大、响应速度快及稳定性高等特点,在人类运动行为探测、健康监测、仿生电子皮肤开发及人机交互等领域均具有潜在发展需求.但是截至目前,如何同时实... 柔性压阻式压力传感器作为柔性压力传感器的重要分支,具有结构简单、灵敏度高、工作范围大、响应速度快及稳定性高等特点,在人类运动行为探测、健康监测、仿生电子皮肤开发及人机交互等领域均具有潜在发展需求.但是截至目前,如何同时实现低成本、高性能、低能耗和自驱动仍旧是柔性压阻式压力传感器未来所面临的挑战,而新型传感机制的开发、新型功能化纳米材料的融合及柔性器件的新型制备工艺将是未来发展的方向.本文综述了近年来柔性压阻式压力传感器的研究进展,从传感机制出发,对柔性压阻式压力传感器的活性层材料种类和微结构设计类型进行了总结,最后对其未来的潜在应用进行了展望. 展开更多
关键词 柔性压阻式压力传感器 传感原理 传感应用
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压阻式柔性压力传感器阵列信号采集系统设计 被引量：10
18
作者 周瑞 李时维 +1 位作者 李绍成 郭晓磊 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第9期104-107,共4页
针对触觉传感检测的实际需求,基于STM32单片机,采用分档分压与恒流源相结合的方法设计了一种压阻式柔性压力传感器阵列信号采集系统;基于串口通信技术设计了计算机信号读取与分析系统。设计开发的系统可以实现传感器阵列信号的实时采集... 针对触觉传感检测的实际需求,基于STM32单片机,采用分档分压与恒流源相结合的方法设计了一种压阻式柔性压力传感器阵列信号采集系统;基于串口通信技术设计了计算机信号读取与分析系统。设计开发的系统可以实现传感器阵列信号的实时采集、分析和存储,系统稳定性较好。采用标准电阻对研制的信号采集系统进行了性能检验,系统测量阻值与标准阻值的误差在1%以内,表明设计的信号采集系统满足压阻式柔性压力传感器阵列的检测需求。 展开更多
关键词 压阻式柔性压力传感器阵列 STM32单片机 信号采集
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柔性电涡流式触觉传感器性能仿真与分析 被引量：1
19
作者 张芮 朱姿娜 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第6期16-20,25,共6页
为实现机器人手指柔性传感,满足高灵敏度、高可靠性、尺寸微小化等要求,文中提出一种基于电涡流原理的柔性触觉传感器,建立了传感器二维对称仿真模型,通过有限元分析研究激励频率、线圈与金属板间距和单维载荷对传感器灵敏度和分辨率的... 为实现机器人手指柔性传感,满足高灵敏度、高可靠性、尺寸微小化等要求,文中提出一种基于电涡流原理的柔性触觉传感器,建立了传感器二维对称仿真模型,通过有限元分析研究激励频率、线圈与金属板间距和单维载荷对传感器灵敏度和分辨率的影响。结果表明:初始激励频率为3 MHz时,传感器的工作性能最好;电涡流传感器的电压、电阻和电抗随线圈与金属板间距的减小而呈下降趋势,间距越小灵敏度越高;施加单维载荷时,传感器对切向载荷的分辨率明显高于法向载荷。研究结果为柔性电涡流触觉传感器的设计优化提供参考。 展开更多
关键词 柔性 电涡流式 触觉传感器 有限元仿真
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适用于恶劣环境的MEMS压阻式压力传感器 被引量：34
20
作者 伞海生 宋子军 +2 位作者 王翔 赵燕立 余煜玺 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期550-555,共6页
为了消除潮湿、酸碱、静电颗粒等恶劣环境对压力传感器压敏电阻的影响,提出了一种新型结构的压阻式压力传感器。该传感器将压敏电阻置于应力薄膜的下表面并通过阳极键合技术密封在真空压力腔中,从而减少了外界环境对压敏电阻的影响。介... 为了消除潮湿、酸碱、静电颗粒等恶劣环境对压力传感器压敏电阻的影响,提出了一种新型结构的压阻式压力传感器。该传感器将压敏电阻置于应力薄膜的下表面并通过阳极键合技术密封在真空压力腔中,从而减少了外界环境对压敏电阻的影响。介绍了此种压力传感器的工作原理,使用ANSYS软件并结合有限元方法模拟了压敏薄膜在压力作用下的应力分布情况。最后,利用微机电系统(MEMS)技术成功制作出了尺寸为1.5mm×1.5mm×500μm的压阻式压力传感器。用压力检测平台对该压力传感器进行了测试,结果表明,在25～125℃,其线性度小于2.73%,灵敏度约为20mV/V-MPa,满足现代工业使用要求。 展开更多
关键词 微机电系统 压阻式压力传感器 恶劣环境 可靠性
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