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基于不同加工工艺的微孔节流空气静压轴承的特性研究
1
作者 于贺春 寇新俊 +4 位作者 侯玮杰 刘海腾 李广平 张国庆 王文博 《机床与液压》 北大核心 2024年第7期123-128,133,共7页
随着超精密加工技术和地面微低重力仿真的发展,相关产业对空气静压轴承的性能要求越来越高。由于传统的孔式节流器其结构特点不能完全满足实际使用的需要,节流孔直径与气膜间隙同一数量级的微孔节流空气静压轴承因其良好的刚度和承载特... 随着超精密加工技术和地面微低重力仿真的发展,相关产业对空气静压轴承的性能要求越来越高。由于传统的孔式节流器其结构特点不能完全满足实际使用的需要,节流孔直径与气膜间隙同一数量级的微孔节流空气静压轴承因其良好的刚度和承载特性,越来越受到关注。但在微孔节流器的发展过程中,微孔的加工工艺却限制了其推广应用。针对目前常用的三类微孔加工工艺,进行了理论仿真研究,通过建立不同加工工艺轴承仿真模型,运用双向流固耦合仿真方法,对比分析了基于不同加工工艺的微孔节流空气静压轴承的动静态特性。研究结果表明:锥孔类轴承承载性能优于其他两类,但耗气量大且在小间隙时刚度较差;薄壁直孔类轴承承载性能稍逊,但在大间隙下轴承刚度较佳;嵌套类轴承承载性能较差,但在小间隙下轴承刚度较大且耗气量较低。 展开更多
关键词 空气静压轴承 超精密加工 微低重力仿真 微孔节流 静动态特性
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空气静压轴颈轴承力学性能的分析优化
2
作者 李一飞 黄纬萍 桑冉 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期67-73,共7页
为提升小孔节流空气静压轴颈轴承的静、动力学性能,针对轴承间隙的流场特性与轴承的承载力、位移阻抗性能进行分析与优化。采用数值仿真方法分析轴承间隙的流场特性,并在参数设计中消除了气膜流场中的超音速区,以避免微振动;分析轴承气... 为提升小孔节流空气静压轴颈轴承的静、动力学性能,针对轴承间隙的流场特性与轴承的承载力、位移阻抗性能进行分析与优化。采用数值仿真方法分析轴承间隙的流场特性,并在参数设计中消除了气膜流场中的超音速区,以避免微振动;分析轴承气膜的刚度、阻尼性能,并采用ESA-CFD(Engineering Simplification Algorithm-Computational Fluid Dynamics)方法计算轴承振动系统的位移阻抗。结果表明,气膜压力自小孔至外边界逐渐衰减,小孔出口出现激波可导致漩涡流动并引起微振动,微振动形成机制与止推轴承相似。建立优化设计数学模型,以轴颈轴承的位移阻抗、承载力为设计目标,并消除轴承微振动,其中考虑多组偏心率与激励频率的组合。通过优化设计,提升了轴颈轴承的力学性能,相关优化、分析过程可为工程应用中空气静压轴颈轴承的设计提供参考。 展开更多
关键词 空气静压轴颈轴承 微振动 自激振动 位移阻抗 漩涡流动
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空气静压主轴宏微尺度研究进展综述
3
作者 陈东菊 张璇 +2 位作者 孙锟 李天宝 陈芳 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第5期577-596,共20页
空气静压主轴作为精密超精密机床的关键部件,其回转精度高,运转平稳,振动及噪声较传统轴承小,高速回转时的温升较小.但其存在刚度和承载力较差的问题.因而,有必要对现有的空气静压主轴重要研究成果进行系统的总结及分析.回顾空气静压主... 空气静压主轴作为精密超精密机床的关键部件,其回转精度高,运转平稳,振动及噪声较传统轴承小,高速回转时的温升较小.但其存在刚度和承载力较差的问题.因而,有必要对现有的空气静压主轴重要研究成果进行系统的总结及分析.回顾空气静压主轴的历史发展及研究成果,空气静压主轴的主要研究目的在于提高其承载力和刚度,改善动/静压特性以及稳定性等,并通过改进雷诺方程以及优化结构参数进行实现.同时其微尺度特性也成为研究的热点,研究结果表明,微尺度特性对于主轴的承载力以及刚度等具有重要影响.该研究从空气静压主轴的发展历程、静/动力学性能以及微尺度领域的黏度、速度滑移和稀薄效应等对空气静压主轴性能产生重要影响的因素进行综述和分析.结合现有的数值模拟方法,对主轴回转精度的测量和主轴运动状态进行了分析.最后,对空气静压主轴的研究发展趋势进行了预测. 展开更多
关键词 空气静压主轴 微尺度效应 气体润滑 动静态特性 数值模拟 回转精度
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抛光机用空气静压轴承静态特性研究 被引量：2
4
作者 徐嘉慧 冯艳冰 +1 位作者 龚维纬 崔海龙 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2023年第1期34-37,42,共5页
空气静压主轴是抛光机的核心基础部件,为实现金刚石刀具抛光机用空气静压主轴刚度、承载力等静态性能的提升,基于抛光过程中主轴的实际受力状态,采用数值模拟与实验验证的方式,对静压主轴的静态特性进行研究,研制了用于抛光机的空气静... 空气静压主轴是抛光机的核心基础部件,为实现金刚石刀具抛光机用空气静压主轴刚度、承载力等静态性能的提升,基于抛光过程中主轴的实际受力状态,采用数值模拟与实验验证的方式,对静压主轴的静态特性进行研究,研制了用于抛光机的空气静压主轴,并开展了轴承的静态性能测试实验,完成了静压轴承数值模拟结果的实验验证。实验结果表明,实验测试与数值求解结果具有一致性,两者误差在10%以内。设计的的空气静压轴承止推刚度与径向刚度分别为333 N/μm和120 N/μm,承载力分别为2024 N和704 N,为保证抛光加工质量提供了良好的条件。 展开更多
关键词 空气静压轴承 金刚石刀具抛光机 止推轴承 径向轴承
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多孔空气静压轴承动力学性能影响参数的优化设计 被引量：1
5
作者 李一飞 尹益辉 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期156-162,共7页
位移阻抗性能直接反映了空气静压轴承对外动载荷的抵抗能力,在考虑自激振动削弱的动力学性能设计中应对其进行优化提升。为提升轴承的动力学性能,削弱气锤振动,针对气膜-被支承件系统的位移阻抗进行研究。采用数值仿真方法,引入动网格... 位移阻抗性能直接反映了空气静压轴承对外动载荷的抵抗能力,在考虑自激振动削弱的动力学性能设计中应对其进行优化提升。为提升轴承的动力学性能,削弱气锤振动,针对气膜-被支承件系统的位移阻抗进行研究。采用数值仿真方法,引入动网格技术计算位移阻抗,明确多孔空气静压止推轴承的结构、运行参数对位移阻抗的影响机制;基于径向基神经网络模型建立以轴承参数表示的位移阻抗近似分析模型,并采用PARETO分析对比讨论轴承参数对位移阻抗的影响;建立优化设计数学模型,以削弱气锤振动为目的,在气锤振动的频率范围内与给定负载条件下针对位移阻抗进行优化。分析结果表明:由于挤压膜效应,外激励频率对于位移阻抗具有最大影响,位移阻抗随激励频率的增大而急剧增大,因此轴承对于高频外载荷具有较强的抵抗能力,需要着重提升低频激励下的位移阻抗性能;小孔直径、气膜厚度与供气压力对位移阻抗的影响大于气腔尺寸与小孔位置的影响。研究结果与优化建模流程可为轴承的工程设计提供参考。 展开更多
关键词 空气静压轴承 位移阻抗 动力学性能 静力学性能
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计算模型对空气静压轴承特性分析有效性的影响
6
作者 辛晓承 龙威 +2 位作者 高浩 王萍 雷基林 《工程设计学报》 CSCD 北大核心 2023年第2期226-236,共11页
空气静压轴承具有精度高、摩擦小和寿命长的特点,被广泛应用于航空航天等领域。不同空气静压轴承气膜的承载面积和厚度的差距悬殊,导致气膜内部的流场极为复杂,传统的基于层流假设的N-S(Navier-Stokes)方程已无法精确预测该轴承的工作... 空气静压轴承具有精度高、摩擦小和寿命长的特点,被广泛应用于航空航天等领域。不同空气静压轴承气膜的承载面积和厚度的差距悬殊,导致气膜内部的流场极为复杂,传统的基于层流假设的N-S(Navier-Stokes)方程已无法精确预测该轴承的工作特性。为此,以圆盘形中心供气小孔节流空气静压轴承为研究对象,基于气体润滑和湍流理论建立其气膜流场数学模型,分析了气膜流场内湍流斑形成涡旋后的发展运动以及向平滑层流过渡的过程。在相同工况下,针对气膜厚度较小(<10μm)时的特征流场采用k-ε模型,针对气膜厚度中等(10~20μm)时的特征流场采用大涡模拟(large eddy simulation,LES)模型,针对气膜厚度较大(20~30μm)时的特征流场采用“k-ε模型+层流模型”。然后,设计并搭建空气静压轴承静态特性测试实验台,以验证所采用计算模型的准确性。结果表明:根据不同工况选择适宜的计算模型,可提高空气静压轴承气膜流场的计算精度。当气膜厚度小于10μm时,气腔内湍动程度较大,宜采用k-ε模型进行描述;当气膜厚度增大到10~20μm时,气腔内大涡旋以一定速度沿半径方向扩散并输运能量,宜采用LES模型进行描述;当气膜厚度增大至20~30μm时,气膜的容性效应增强,使得气腔内后半部分呈现层流特征,宜采用混合计算模型进行描述。研究结果为不同工况下空气静压轴承的设计提供了参考数据,准确选择计算模型有利于缩短研发周期。 展开更多
关键词 空气静压轴承 湍流理论 k-ε模型 大涡模拟(LES)模型 混合计算模型
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均压槽结构对超高速空气静压轴承性能影响分析 被引量：1
7
作者 张静 管旭 +1 位作者 杨佳成 张浩 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2023年第1期129-133,137,共6页
以超高速空气静压止推轴承为研究对象,建立了圆形、环形、扇形和十字形四种均压槽轴承的CFD仿真模型,采用计算流体力学方法,对比分析了有无均压槽轴承在不同气膜厚度与工作转速下对轴承承载性能(压力分布、承载力、刚度、消耗气体质量流... 以超高速空气静压止推轴承为研究对象,建立了圆形、环形、扇形和十字形四种均压槽轴承的CFD仿真模型,采用计算流体力学方法,对比分析了有无均压槽轴承在不同气膜厚度与工作转速下对轴承承载性能(压力分布、承载力、刚度、消耗气体质量流量)、稳定性(最大气流速度与湍流动能)的影响。结果表明,气膜厚度和工作转速对5种轴承的承载性和稳定性影响较大,并得到了其影响规律;其中,环形槽轴承兼顾承载性与稳定性,通过实验验证得到环形槽轴承的最佳工作转速。研究成果可为超高速空气静压轴承的进一步优化提供一定的理论依据。 展开更多
关键词 空气静压轴承 均压槽结构 承载性能 稳定性
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高速空气静压电主轴止推轴承设计及性能分析
8
作者 秦浩海 李天箭 《建模与仿真》 2023年第4期3673-3683,共11页
高速空气静压电主轴具体有结构紧凑、高转速等特点被广泛应用于高精密机床、多关节机器人、汽车制造、医疗装备等高新技术领域设备中。空气止推轴承是高速空气静压电主轴实现高精度高转速的关键零部件。本文对单孔和多孔空气静压止推轴... 高速空气静压电主轴具体有结构紧凑、高转速等特点被广泛应用于高精密机床、多关节机器人、汽车制造、医疗装备等高新技术领域设备中。空气止推轴承是高速空气静压电主轴实现高精度高转速的关键零部件。本文对单孔和多孔空气静压止推轴承建立数学模型,利用ANSYS Workbench Fluent软件进行详细的刚度、气膜压力、气体流场、承载能力模拟设计分析计算,分析轴承参数对轴承刚度的影响,得到轴承性能随各项参数变化的变化规律,实现该类轴承的参数设计。进一步,利用MATLAB app designer编制计算空气静压止推轴承的参数化设计界面软件,提供基于公式的MATLAB计算与基于有限元的ANSYS计算比较分析结果,明晰各设计参数下空气止推轴承的刚度以及承载能力等关键性能。 展开更多
关键词 精密机床 空气静压止推轴承 参数化设计 医疗装备 轴承刚度 关键性能 模拟设计 轴承性能
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空气静压轴承流场对微振动的影响机制
9
作者 李一飞 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期174-180,共7页
为讨论空气静压轴承微振动的影响因素,针对轴承间隙的流场特性进行仿真分析,探讨流场雷诺数与微振动的关系。首先在不同的供气压下,针对轴承间隙进行跨音速流动分析,研究流场结构;其次,分析雷诺数对于漩涡流所致激励力的影响,并进一步... 为讨论空气静压轴承微振动的影响因素,针对轴承间隙的流场特性进行仿真分析,探讨流场雷诺数与微振动的关系。首先在不同的供气压下,针对轴承间隙进行跨音速流动分析,研究流场结构;其次,分析雷诺数对于漩涡流所致激励力的影响,并进一步采用流固耦合方法,讨论雷诺数对于微振动的影响;最后,建立近似模型讨论气腔容积、小孔孔径、气膜厚对流场最大雷诺数的影响,即研究轴承参数对漩涡激励大小的影响。结果表明:流场最大雷诺数可用以表征漩涡流所致扰动激励的强弱,但微振动还取决于气膜-被支承件系统的动力学性能;在气腔容积较小时,漩涡激励作用更弱,意味着轴承运转的稳定性更好。相关流动机制分析可为以削弱微振动为目的的轴承设计提供参考。 展开更多
关键词 空气静压轴承 微振动 流场分析 流固耦合
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空气静压导轨静态性能的解析计算及分析 被引量：11
10
作者 孙西芝 陈时锦 程凯 《机械设计与制造》 北大核心 2005年第1期40-42,共3页
空气静压导轨是空气静压止推轴承的一种,在直线气浮导轨中被广泛采用。本文利用线性气源假设,将气膜中气体的二维流动化为一维流动,使雷诺方程得到简单的解析解,推导出空气静压导轨的解析计算公式,并利用该计算公式分析导轨参数对其静... 空气静压导轨是空气静压止推轴承的一种,在直线气浮导轨中被广泛采用。本文利用线性气源假设,将气膜中气体的二维流动化为一维流动,使雷诺方程得到简单的解析解,推导出空气静压导轨的解析计算公式,并利用该计算公式分析导轨参数对其静态性能的影响,从而为空气静压导轨找到了一种快捷方便的设计方法。 展开更多
关键词 空气静压止推轴承 空气静压导轨 承载能力
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晶圆减薄设备空气静压径向轴承静态性能研究
11
作者 赵玉民 赵祥 +1 位作者 陈钊 朱林 《电子工业专用设备》 2023年第5期86-95,共10页
空气静压主轴是晶圆减薄设备的关键部件,其磨削晶圆的精度取决于空气静压止推轴承和径向轴承的静态性能。针对空气静压径向轴承在静态性能方面存在承载力小和刚度低等问题,研究了空气静压径向轴承结构参数对静态性能的影响。通过建立流... 空气静压主轴是晶圆减薄设备的关键部件,其磨削晶圆的精度取决于空气静压止推轴承和径向轴承的静态性能。针对空气静压径向轴承在静态性能方面存在承载力小和刚度低等问题,研究了空气静压径向轴承结构参数对静态性能的影响。通过建立流体场数学模型和数值模型,对供气压力、平均气膜厚度、节流孔直径、节流孔个数以及节流孔轴向位置这几种因素对空气静压径向轴承静态性能的影响进行了研究,得出了相关因素与轴承承载力、刚度和耗气量的变化规律曲线,据此优选出空气静压径向轴承的最佳参数。通过对比,流体场数学模型计算结果与数值模型有限元分析结果误差为3%,验证了有限元仿真方法的准确性,为晶圆减薄设备空气静压径向轴承设计提供了理论依据。 展开更多
关键词 晶圆减薄 空气静压主轴 径向轴承 静态性能
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空气静压电主轴的稳定性研究
12
作者 李战伟 郭东 +1 位作者 李恺 韦薇 《电子工业专用设备》 2023年第1期60-64,共5页
空气静压电主轴是高速精密加工设备的关键部件之一,其工作稳定性直接影响整机的使用性能和寿命。从自激振动和转轴涡动两个方面,对空气静压电主轴稳定性的主要影响因素进行了分析研究;并结合空气静压电主轴在半导体封装设备晶圆减薄机... 空气静压电主轴是高速精密加工设备的关键部件之一,其工作稳定性直接影响整机的使用性能和寿命。从自激振动和转轴涡动两个方面,对空气静压电主轴稳定性的主要影响因素进行了分析研究;并结合空气静压电主轴在半导体封装设备晶圆减薄机和划切机上的应用,重点对气浮轴承内部气容比、节流塞形式、进气压力、径向轴承结构参数、径向轴承形状误差以及动平衡等方面提出了合理的优化建议和方法,这些建议和方法在实践中起到了良好作用。 展开更多
关键词 空气静压电主轴 稳定性 自激振动 转轴涡动
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基于数值模拟的小孔节流空气静压轴承静动态特性研究 被引量：33
13
作者 崔海龙 岳晓斌 +2 位作者 张连新 夏欢 雷大江 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期116-121,共6页
为了提高小孔节流空气静压轴承的静动态性能,基于流体力学和固体力学的基本控制方程,建立小孔节流空气静压轴承双向流固耦合数值模拟模型;采用静态数值模拟方法获取了设计参数对承载力和刚度的影响规律,进一步对微气膜间隙内三维流场特... 为了提高小孔节流空气静压轴承的静动态性能,基于流体力学和固体力学的基本控制方程,建立小孔节流空气静压轴承双向流固耦合数值模拟模型;采用静态数值模拟方法获取了设计参数对承载力和刚度的影响规律,进一步对微气膜间隙内三维流场特性进行了分析,有效降低了微气膜间隙内气体冗余现象对空气静压轴承动态稳定性的影响,并在数值计算的基础上对空气静压轴承结构和工作参数进行优化设计;在气体静压试验平台上对自行研制的空气静压轴承进行静动态特性测试。试验结果表明:所提出的数值模拟方法具有很好的预测效果;所采用的优化设计方法能够显著提升空气静压主轴的静动态特性。 展开更多
关键词 小孔节流 空气静压轴承 流固耦合 静态特性 动态特性
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空气静压轴承和导轨在高分辨率转鼓式图像数字化仪中的应用
14
作者 王坚 《光仪技术》 2000年第4期16-20,共5页
关键词 图像数字化仪 空气静压轴承 空气静压导轨
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变截面节流器对空气静压轴承承载性能的影响 被引量：13
15
作者 赵晓龙 张君安 +2 位作者 董皓 刘波 陈登第 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期2446-2454,共9页
为了分析可变截面节流器对空气静压轴承性能的影响,提出了变截面节流器的空气静压轴承模型,通过轴承承载表面弹性薄板的挠度变形实现节流器截面形状的动态变化。建立固体薄板变形和气体润滑的耦合偏微分方程,采用有限差分法和超松弛迭... 为了分析可变截面节流器对空气静压轴承性能的影响,提出了变截面节流器的空气静压轴承模型,通过轴承承载表面弹性薄板的挠度变形实现节流器截面形状的动态变化。建立固体薄板变形和气体润滑的耦合偏微分方程,采用有限差分法和超松弛迭代法对耦合方程进行离散和数值求解。计算结果表明:节流器的截面形状直接决定了数值计算过程中喷嘴系数的大小,与刚性节流器的空气静压轴承相比,变截面节流器的空气静压轴承刚度提高了15%,在较高承载力的情况下能够获得更大的刚度。实验测试结果和理论分析基本一致,变截面节流器的设计方法能够有效提高空气静压轴承的静特性。 展开更多
关键词 空气静压轴承 小孔节流 承载特性 气固耦合 刚度
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稀薄效应对空气静压止推轴承性能影响 被引量：11
16
作者 陈东菊 周帅 +1 位作者 杨智 范晋伟 《四川大学学报（工程科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期194-199,共6页
针对微小间隙下空气静压轴承内部气体的稀薄效应问题,通过将体现稀薄效应的流量因子引入雷诺方程中,推导出体现可压缩气体稀薄效应的雷诺方程,运用有限差分法离散方程,通过MATLAB软件分析稀薄效应下轴承内部压强分布,并对轴承承载力和... 针对微小间隙下空气静压轴承内部气体的稀薄效应问题,通过将体现稀薄效应的流量因子引入雷诺方程中,推导出体现可压缩气体稀薄效应的雷诺方程,运用有限差分法离散方程,通过MATLAB软件分析稀薄效应下轴承内部压强分布,并对轴承承载力和刚度变化进行研究,最后通过试验对得出的结论进行间接验证。结果表明,在气膜间隙8~10μm之间,考虑稀薄效应中流量因子的情况下得到的轴承刚度值与试验测量值比较接近,在量值上相差大约为20%左右,这为微尺度下轴承性能的研究提供一定的理论依据。 展开更多
关键词 空气静压轴承 稀薄效应 流量因子 有限差分法
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小孔节流空气静压止推轴承节流孔出口流场特性研究 被引量：10
17
作者 赵晓龙 董皓 +1 位作者 方舟 张君安 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期37-40,共4页
小孔节流空气静压轴承一般都采用数值方法进行分析,数值方法求解过程中一般采用简化的N-S方程求解,不能真实反映节流孔出口流场的真实特性。研究小孔节流形式的空气静压止推轴承的流场特性,建立小孔节流空气静压轴承模型,应用流体分析... 小孔节流空气静压轴承一般都采用数值方法进行分析,数值方法求解过程中一般采用简化的N-S方程求解,不能真实反映节流孔出口流场的真实特性。研究小孔节流形式的空气静压止推轴承的流场特性,建立小孔节流空气静压轴承模型,应用流体分析软件求解完整N-S方程,并加入湍流模型求解,使计算结果更加准确。计算结果表明,气体流出节流孔后压力骤降且可能出现负压,压力骤降的值和气膜间隙成正比;在节流孔出口附近,气膜上下边界的空气流速小于气膜中间的流速,而且气体易与气膜上边界产生速度分离。 展开更多
关键词 空气静压轴承 小孔节流 压力分布 流场特性
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空气静压导轨气膜波动主要影响因素分析 被引量：14
18
作者 陈东菊 边艳华 +1 位作者 周帅 范晋伟 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第15期97-103,共7页
针对空气静压导轨运动过程中出现的气膜波动问题,研究溜板气腔结构、节流器直径、供气压强对气膜内气旋及气膜波动的影响。通过仿真数据的对比分析发现气旋现象与气膜波动存在紧密的联系。从仿真结果得到了对气膜波动产生影响的因素有:... 针对空气静压导轨运动过程中出现的气膜波动问题,研究溜板气腔结构、节流器直径、供气压强对气膜内气旋及气膜波动的影响。通过仿真数据的对比分析发现气旋现象与气膜波动存在紧密的联系。从仿真结果得到了对气膜波动产生影响的因素有:节流孔的直径、气腔的结构形状和供气压强的大小。在上述的这些影响因素中供气压强的大小对气膜波动影响较大,最后试验对得出的这一结论进行了验证,与仿真结果吻合。这些分析为从导轨结构和工艺参数上对空气静压导轨的气膜波动进行抑制,提高导轨的稳定性及加工精度提供了理论依据。 展开更多
关键词 空气静压导轨 气膜波动 气旋现象 稳定性 加工精度
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均压槽对空气静压轴承微振动的影响 被引量：19
19
作者 陈琦 陈斌 蔡黎明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期3354-3359,共6页
由于空气静压轴承工作过程中的微振动制约了它在超精密设备中的应用,本文对空气静压轴承的动态特性进行了实验分析,并提出用带均压槽的结构设计来解决上述问题。运用有限元软件对空气静压轴承进行仿真,得到了空气静压轴承的各项性能参... 由于空气静压轴承工作过程中的微振动制约了它在超精密设备中的应用,本文对空气静压轴承的动态特性进行了实验分析,并提出用带均压槽的结构设计来解决上述问题。运用有限元软件对空气静压轴承进行仿真,得到了空气静压轴承的各项性能参数。分析了微振动产生的原因并提出在空气静压轴承工作表面增加均压槽来有效抑制空气静压轴承的微振动的方法。通过实验对提出方法进行了验证,结果显示计算结果与实验具有较好的一致性。实验表明通过增加均压槽的方式可以将轴承微振动降低80%,有效地提高了空气轴承的稳定性和运行精度。本研究为抑制空气轴承微振动和提高整个机床设备精度做出了有益探索。 展开更多
关键词 空气静压轴承 均压槽 微振动
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