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利用双等离子体装置产生非均匀等离子体 被引量:2
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作者 马锦秀 李阳芳 +7 位作者 李经菊 肖德龙 汪海 万树德 闻一之 谢锦林 俞昌旋 曹金祥 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期138-141,共4页
在双等离子体实验装置中,采用单边放电的方式在源区产生等离子体,通过扩散和电子碰撞电离可以在实验区产生密度分布不均匀的等离子体。利用静电探针测量了实验区等离子体的状态参数及其空间分布,结果显示该装置可以提供一个径向相当宽... 在双等离子体实验装置中,采用单边放电的方式在源区产生等离子体,通过扩散和电子碰撞电离可以在实验区产生密度分布不均匀的等离子体。利用静电探针测量了实验区等离子体的状态参数及其空间分布,结果显示该装置可以提供一个径向相当宽范围内密度基本均匀,轴向密度分布指数衰减的等离子体环境,其不均匀性标长与放电气压成反比。该装置可以提供不均匀性可控的非均匀等离子体源。 展开更多
关键词 非均匀等离子体 等离子体装置 电子碰撞电离 等离子体环境 密度分布 不均匀性 等离子体 实验装置 空间分布 状态参数 静电探针 指数衰减 实验区 宽范围 放电
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喷气式Z箍缩等离子体装置的研制
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作者 李成榕 杨津基 王文端 《华北电力学院学报》 北大核心 1990年第1期12-18,共7页
本文介绍了我国第一台喷气式Z箍缩等离子体装置的设计和运行,讨论了起始氩气密度对等离子体箍缩的影响,研究了热等离子体中的软X射线发射。这台装置的建成为我国进行X射线光刻技术的研究提供了一种重要手段。
关键词 等离子体装置 喷气式 光刻 半导体
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等离子体装置及等离子体生成方法
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作者 安藤真 高桥応明 《表面技术》 EI CAS CSCD 2008年第2期33-33,共1页
一种等离子体装置,包括将通过馈电部供给的高频电磁场(F)供给到处理容器内的缝隙天线,所述馈电部具有谐振腔,所述谐振腔构成谐振器,同时将馈电的高频电磁场(F)变换成旋转电磁场并供给所述缝隙天线。
关键词 等离子体装置 生成方法 高频电磁场 缝隙天线 谐振腔 供给 馈电 谐振器
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TOMAS—用于研究未来聚变装置壁处理的环形磁化等离子体装置
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作者 H.B.Stoerk 斯红 《国外核聚变》 2002年第5期47-52,共6页
环形磁化系统(TOMAS)是一个简单的磁化环,它用微波产生的等离子体来研究壁处理方法。在TOMAS装置中,电子回旋共振等离子体是用频率为2.45GHz的微波和相应的共振磁场为87.6mT产生的。本文描述该装置和用甲烷等离子体膜沉积的第一次... 环形磁化系统(TOMAS)是一个简单的磁化环,它用微波产生的等离子体来研究壁处理方法。在TOMAS装置中,电子回旋共振等离子体是用频率为2.45GHz的微波和相应的共振磁场为87.6mT产生的。本文描述该装置和用甲烷等离子体膜沉积的第一次运行经验。 展开更多
关键词 ECR等离子体 壁处理 聚变装置 微波 TOMAS 甲烷等离子体膜沉积 环形磁化等离子体装置
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处理塑料组件的等离子体装置
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作者 一弓 《等离子体应用技术快报》 1998年第3期11-12,共2页
关键词 BGA 塑料组件 等离子体装置 集成电路
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空间等离子体磁场重联过程地面实验装置及实验研究概述 被引量:1
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作者 范费彬 谢锦林 +5 位作者 陆全明 张乔枫 丁卫星 桑龙龙 孙玄 郑坚 《航天器环境工程》 2019年第6期655-661,共7页
磁场重联是空间等离子体环境中的重要物理过程。对磁场重联进行深入研究,于空间灾害预报以及各种空间探测活动而言都有重要意义。文章首先回顾磁场重联研究史中的几个重要模型;然后介绍国际上进行磁场重联地面实验的主要等离子体装置及... 磁场重联是空间等离子体环境中的重要物理过程。对磁场重联进行深入研究,于空间灾害预报以及各种空间探测活动而言都有重要意义。文章首先回顾磁场重联研究史中的几个重要模型;然后介绍国际上进行磁场重联地面实验的主要等离子体装置及有关实验研究;最后介绍国内磁场重联实验研究的现状,重点介绍中国科学技术大学的KLMP装置和最新实验结果,以及在建中的KRX等离子体装置。地面实验作为磁场重联的重要研究手段,还需要拓展装置尺寸及对不同条件下重联特征的研究。 展开更多
关键词 空间环境 磁场重联 等离子体装置 地面实验
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等离子体净化电焊烟尘装置的研制 被引量:14
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作者 陈刚 张波 储金宇 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期29-30,共2页
通过对等离子发生环和高压直流脉冲电源的优化设计 ,提高了降尘效率 ,试验表明 ,烟气净化效率较常规降尘装置提高 70 %~ 80 %。
关键词 除尘效率 高压直流脉冲电源 烟尘防治 环境治理 等离子体净化电焊烟尘装置
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稠密等离子体聚焦装置的中子产额及其稳定性研究 被引量:1
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作者 郭洪生 李恩平 +2 位作者 何锡钧 彭太平 冯春 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期231-235,共5页
叙述了稠密等离子体聚焦装置(DPF)作为中子发生器的工作原理,讨论了影响DPF中子产额及其稳定性的一些因素和改进措施。利用不同电极形状、不同绝缘气体的场崎变开关可以很好地提高聚焦装置的运行性能,使装置输出中子的起伏由过去的约两... 叙述了稠密等离子体聚焦装置(DPF)作为中子发生器的工作原理,讨论了影响DPF中子产额及其稳定性的一些因素和改进措施。利用不同电极形状、不同绝缘气体的场崎变开关可以很好地提高聚焦装置的运行性能,使装置输出中子的起伏由过去的约两个量级降到目前的3倍左右。通过对腔内电极的清洁,在不更换气体的条件下,中子产额无明显下降。 展开更多
关键词 稠密等离子体聚焦装置 中子产额 稳定性 中子发生器
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微波复合直流等离子体转化天然气制乙炔的研究 被引量:10
9
作者 徐兴祥 杨永进 +1 位作者 孙家言 张劲松 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第7期625-630,F008,共7页
利用微波复合直流等离子体对天然气转化制乙炔反应进行了研究.考察了氢烷比、气体流量、功率等参数对装置的能量利用率以及天然气转化反应的影响,并考核了微波复合直流等离子体转化天然气制乙炔工艺的稳定性.实验结果表明:微波复合直流... 利用微波复合直流等离子体对天然气转化制乙炔反应进行了研究.考察了氢烷比、气体流量、功率等参数对装置的能量利用率以及天然气转化反应的影响,并考核了微波复合直流等离子体转化天然气制乙炔工艺的稳定性.实验结果表明:微波复合直流等离子体装置的能量利用率随等离子体工作气体的流量的增加而提高;由于微波的作用使传统直流柱状等离子体分化为多根丝状等离子体,从而使得电极的烧蚀方式由传统的点烧蚀变为面烧蚀,并大幅度提高等离子体转化天然气工艺的稳定性和电极寿命;甲烷的转化率和乙炔的收率随功率的增加而提高,随CH4/H2比和气体流量的增加而降低,在氢烷比为0.9、总气体流量为760L/min、微波源输出电功率6kW、直流电源输出功率90kW时,甲烷转化率可达84.4%,乙炔选择性为75.6%,乙炔收率为63.8%,乙炔能耗达10.8kWh?kg-1;电极寿命超过200h. 展开更多
关键词 直流等离子体 乙炔 复合 能量利用率 气体流量 等离子体装置 电源输出功率 电极寿命 天然气转化 转化反应 工作气体 稳定性 转化率 等参数 大幅度 CH4 电功率 微波源 工艺 传统 烧蚀 收率 甲烷 柱状
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LIGA加工及喷气式Z箍缩脉冲等离子体软X射线源 被引量:1
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作者 郭小明 罗承沐 周兆英 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期176-180,共5页
LIGA加工中关键技术之一是深度X射线光刻,它需要性能优越的X射线源,现在普遍使用的是同步辐射加速器,但其造价十分昂贵,运行也十分复杂。本文试图利用结构简单、运行方便、效率较高和造价很低的喷气式Z箍缩脉冲等离子体软X... LIGA加工中关键技术之一是深度X射线光刻,它需要性能优越的X射线源,现在普遍使用的是同步辐射加速器,但其造价十分昂贵,运行也十分复杂。本文试图利用结构简单、运行方便、效率较高和造价很低的喷气式Z箍缩脉冲等离子体软X射线源,进行LIGA加工的探讨,由于此X射线源为点源而非平行光,而且强度也相对较小,所以本文对点源X射线在曝光中的影响作了估计,同时对一定深度光刻所需放电次数进行了计算。结果表明:当X射线源离掩膜距离合适、抗蚀剂灵敏度较高时,进行几十微米深的光刻是可能的。 展开更多
关键词 X射线 脉冲等离子体 软X射线 Z箍缩 喷气式 同步辐射加速器 抗蚀剂 等离子体装置 光子能量 LIGA
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氩等离子体发生装置等熵流动的解析表达式
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作者 杨箭 嵇震宇 《安徽工学院学报》 1986年第3期30-37,共8页
本文从氩等离子体的简化状态方程出发,结合气体动力学和热力学等基本方程,直接推导出适用于各种氩等离子体发生装置(如等离子体手术刀,微束等离子体焊接和等离子体热化学等)的解析表述式。这些表达式的主要特点是:各物理量密切联系装置... 本文从氩等离子体的简化状态方程出发,结合气体动力学和热力学等基本方程,直接推导出适用于各种氩等离子体发生装置(如等离子体手术刀,微束等离子体焊接和等离子体热化学等)的解析表述式。这些表达式的主要特点是:各物理量密切联系装置的几何尺寸,工程计算和设计简便,各物理量适应宽广工程应用范围,并能给出相当精确的计算结果。 展开更多
关键词 空气动力学 氩气 等熵流动 等离子体 等离子体应用 等离子体装置 等离子体运动学 等离子体激波 等离子体理论 激波 热力学 超音速
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增强型等离子体喷射装置及其触发极限 被引量:4
12
作者 郜淦 李晓昂 +3 位作者 张宁博 蒋攀 李志兵 张乔根 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第8期3334-3343,共10页
江苏-白鹤滩±800 kV特高压混合直流输电工程中,采用可控避雷器实现柔性直流母线的过电压保护,但是当可控避雷器不能满足泄能需求时,亟需超快速动作旁路保护开关在1 ms内将柔性直流母线快速接地,实现对系统的保护。兆伏级SF6气体触... 江苏-白鹤滩±800 kV特高压混合直流输电工程中,采用可控避雷器实现柔性直流母线的过电压保护,但是当可控避雷器不能满足泄能需求时,亟需超快速动作旁路保护开关在1 ms内将柔性直流母线快速接地,实现对系统的保护。兆伏级SF6气体触发间隙具有高耐压、大通流、经济性好的优点极具工程应用的潜力,但实现其在极低工作系数下的触发导通极为困难。文中首次设计了一种增强型等离子体喷射装置,通过聚四氟乙烯毛细管内金属丝电爆炸的方式产生稠密的热金属等离子体并喷射至间隙中,实现了高气压SF6中等离子体喷射高度的显著提升。并研究了铝丝直径、触发电压和环境介质气压对等离子体喷射特性的影响规律,研究结果表明:铝丝直径越大、触发电压越高、环境介质气压越低,装置的喷射能力越强。当触发电压为-4 kV、铝丝直径为800μm时,等离子体在0.5 MPa SF6中最大喷射高度超过8 cm。最后,通过实验研究了增强型等离子体喷射装置的触发极限,在上电极电压-80 kV(工作系数低至4.22%)时,仍能够可靠触发间隙距离9 cm长的兆伏级SF6气体开关导通,平均导通时延(542±43)μs,满足工程需求。 展开更多
关键词 气体开关 金属丝电爆炸 增强型等离子体喷射装置 喷射特性 触发极限
原文传递
弱相对论性非热平衡等离子体的电子迴旋共振加热
13
作者 陈雁萍 周玉美 《物理学报》 SCIE EI CAS 1984年第7期1050-1057,共8页
本文从弱相对论各向异性麦克斯韦分布的介电张量的普遍表达式出发,得到了在垂直入射情形下寻常模和异常模局域阻尼率的解析表达式,并讨论了分布函数的各向异性和损失锥型分布函数对局域阻尼率的影响。
关键词 损失锥 局域 磁镜 开端等离子体装置 磁场位形 阻尼率 托卡马克 麦克斯韦分布 分布函数 非热平衡等离子体 相对论性 ECRH 电子 轻子
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常压等离子体处理装置“PLASMA—ATOM”的纤维产品加工 被引量:3
14
作者 何中琴 王雪良 《印染译丛》 2000年第3期46-50,共5页
关键词 纤维 表面处理 常压等离子体处理装置
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等离子体处理装置
15
《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期75-75,共1页
关键词 室内放射等离子体 电介质板 等离子体处理装置
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多功能等离子体浸没离子注入装置研制成功
16
《表面工程》 CSCD 1997年第2期6-6,共1页
关键词 多功能等离子体浸没离子注入装置 焊接技术 表面强化技术 膜层性能
原文传递
处理废弃物的等离子体发生装置
17
《发明与创新(大科技)》 2003年第10期45-45,共1页
关键词 等离子体发生装置 废物处理 玻璃固化工艺 环境保护
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内燃式等离子体点火装置在漳泽电力蒲洲发电分公司的应用
18
作者 陈立端 王红霞 谢少洲 《科技情报开发与经济》 2010年第18期178-181,共4页
介绍了内燃式等离子体点火燃烧器在漳泽电力蒲洲发电分公司的成功应用情况,分别从工作原理、系统组成、运行控制参数等方面对内燃式等离子体点火燃烧器进行了剖析,并探讨了其经济效益。
关键词 内燃式等离子体点火装置 运行控制参数 经济分析 漳泽电力
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微腔等离子体晶体管综述
19
作者 王耀功 张小宁 +1 位作者 吴胜利 刘纯亮 《真空电子技术》 2018年第3期20-29,82,共11页
微腔等离子体器件(MPD)具有高功率,耐高温高辐射,抗电磁干扰等特点,在推进、控制、高功率电磁波放大等方面有着重要的应用价值。本文介绍了近年MPD的发展及特点,尤其是微腔等离子体在晶体管器件研究中的发展概况。通过介绍等离子体双极... 微腔等离子体器件(MPD)具有高功率,耐高温高辐射,抗电磁干扰等特点,在推进、控制、高功率电磁波放大等方面有着重要的应用价值。本文介绍了近年MPD的发展及特点,尤其是微腔等离子体在晶体管器件研究中的发展概况。通过介绍等离子体双极型晶体管和等离子体场效应晶体管的器件结构、工作原理及工作特性,阐明了微腔等离子体器件在晶体管应用方面的研究意义。 展开更多
关键词 微腔等离子体 等离子体装置 辉光放电 等离子体晶体管 等离子体开关
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用于现代材料表面强化的多功能等离子体浸没离子注入装置
20
《表面工程资讯》 2004年第3期13-13,共1页
关键词 等离子体浸没离子注入装置 表面强化 表面改性 离子注入 材料
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