-
题名300mm硅片高精度真空传输系统设计
- 1
-
-
作者
李学威
何书龙
赵治国
-
机构
沈阳新松机器人自动化股份有限公司
-
出处
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2017年第8期80-84,共5页
-
基金
国家科技重大专项02专项(2014ZX02103005)
-
文摘
文章设计一种300mm硅片真空传输系统,满足市场对硅片传输过程高精度,高洁净度,高效率的需求。其中硅片传输腔室采用真空设计,并优化了真空腔室的结构以适应300mm硅片传输,真空度可达2×10^(-7)Torr。真空机械手采用对称连杆直驱机械手,大气机械手采用R-θ型机械手,其重复精度均为±0.1mm。设计了AWC纠偏检测系统,利用光电对射传感器,实现对硅片的实时检测及位置纠正。通过验证性试验数据分析,得到整个系统的整体精度、洁净度、真空度和真空变化值满足工作要求,验证了设计的合理性。
-
关键词
硅片传输
真空腔室
机械手
纠偏检测系统
-
Keywords
silicon wafers transmission
vacuum chamber
manipulator
deviation detection system
-
分类号
TH166
[机械工程—机械制造及自动化]
TG659
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
-
