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纳米晶Ti-Si-N超硬复合涂层的研究进展
被引量：
6
1
作者
沈保罗
王均
+3 位作者
张铁邦
高见
冯浩
黄四九
《粉末冶金技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期383-387,共5页
本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积,等离子辅助化学气相沉积,直流磁控溅射和射频磁控溅射等)、工艺参数(沉积温度,进气比)和硅含量对Ti-Si-N微观结构、硬度、...
本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积,等离子辅助化学气相沉积,直流磁控溅射和射频磁控溅射等)、工艺参数(沉积温度,进气比)和硅含量对Ti-Si-N微观结构、硬度、抗氧化性、耐腐蚀性和耐磨性的影响。在合适的工艺条件下,能获得硬度最高的纳米TiN晶体镶嵌在非晶态的Si3N4基体上的复合涂层(nc-TiN/a-Si3N4)。该涂层有良好的性能并将得到广泛的应用。
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关键词
纳米晶ti—si—n超硬复合涂层
制备方法
等离子增强化学气相沉积
等离子辅助化学气相沉积
直流磁控溅射
射频磁控溅射
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职称材料
新型Ti-Si-C-N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性
被引量：
4
2
作者
郭岩
畅庚榕
+2 位作者
吴贵智
马胜利
徐可为
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期172-176,共5页
用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)方法在高速钢基体上沉积出新型Ti-Si-C-N超硬薄膜,Ti-Si-C-N薄膜为纳米晶／非晶复合结构(nc-Ti(C,N)／a-Si_3N_4／a-C—C),当薄膜中Si和C含量较高时,Ti(C,N)转变为TiC,晶粒尺寸减小到2—4 nm,...
用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)方法在高速钢基体上沉积出新型Ti-Si-C-N超硬薄膜,Ti-Si-C-N薄膜为纳米晶／非晶复合结构(nc-Ti(C,N)／a-Si_3N_4／a-C—C),当薄膜中Si和C含量较高时,Ti(C,N)转变为TiC,晶粒尺寸减小到2—4 nm,薄膜晶粒尺寸和硬度的高温热稳定性均随沉积态薄膜中的原始晶粒尺寸减小而提高,当原始晶粒尺寸在8—10 nm之间时,晶粒尺寸和硬度热稳定性可达900℃；当原始晶粒尺寸在2—4 nm之间时,晶粒尺寸和硬度热稳定性可达1000℃,薄膜硬度和晶粒尺寸表现出同步的高温热稳定性,分析认为由调幅分解形成的纳米复合结构中的非晶相强烈地抑制晶界滑移与晶粒长大,从而使Ti-Si-C-N薄膜的热稳定性显著提高。
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关键词
ti—
si—
C
—n
纳米
复合
超
硬
薄膜
晶
粒尺寸
显微
硬
度
热稳定性
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职称材料
TiN／Si_3N_4纳米晶复合膜的微结构和强化机制
被引量：
13
3
作者
孔明
赵文济
+2 位作者
乌晓燕
魏仑
李戈扬
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期539-544,共6页
采用高分辨透射电子显微镜对高硬度的TiN／Si3N4纳米晶复合膜的观察发现,这类薄膜的微结构与Veprek提出的nc-TiN／a-Si3N4模型有很大不同;复合膜中的TiN晶粒为平均直径约10nm的柱状晶,存在于柱晶之间的Si3N4界面相厚度为0．5-0．7nm,呈...
采用高分辨透射电子显微镜对高硬度的TiN／Si3N4纳米晶复合膜的观察发现,这类薄膜的微结构与Veprek提出的nc-TiN／a-Si3N4模型有很大不同;复合膜中的TiN晶粒为平均直径约10nm的柱状晶,存在于柱晶之间的Si3N4界面相厚度为0．5-0．7nm,呈现晶体态,并与TiN形成共格界面．进一步采用二维结构的TiN／Si3N4纳米多层膜的模拟研究表明,Si3N4层在厚度约<0．7nm时因TiN层晶体结构的模板作用而晶化,并与TiN层形成共格外延生长结构,多层膜相应产生硬度升高的超硬效应．由于TiN晶体层模板效应的短程性,Si3N4层随厚度微小增加到1．0nm后即转变为非晶态,其与TiN的共格界面因而遭到破坏,多层膜的硬度也随之迅速降低．基于以上结果,本文对TiN／Si3N4纳米晶复合膜的强化机制提出了一种不同于nc-TiN／a-Si3N4模型的新解释．
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关键词
ti
n
/
si
3
n
4
纳米
晶
复合
膜
纳米
多层膜
界面相
晶
体化
超
硬
效应
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职称材料
题名
纳米晶Ti-Si-N超硬复合涂层的研究进展
被引量：
6
1
作者
沈保罗
王均
张铁邦
高见
冯浩
黄四九
机构
四川大学材料科学与工程学院
成都工具研究所
双流四九稀土合金铸造厂
出处
《粉末冶金技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期383-387,共5页
文摘
本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积,等离子辅助化学气相沉积,直流磁控溅射和射频磁控溅射等)、工艺参数(沉积温度,进气比)和硅含量对Ti-Si-N微观结构、硬度、抗氧化性、耐腐蚀性和耐磨性的影响。在合适的工艺条件下,能获得硬度最高的纳米TiN晶体镶嵌在非晶态的Si3N4基体上的复合涂层(nc-TiN/a-Si3N4)。该涂层有良好的性能并将得到广泛的应用。
关键词
纳米晶ti—si—n超硬复合涂层
制备方法
等离子增强化学气相沉积
等离子辅助化学气相沉积
直流磁控溅射
射频磁控溅射
Keywords
ti
-
si
-
n
CVD
PVD
coa
ti
n
gs
microstructure
property
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
新型Ti-Si-C-N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性
被引量：
4
2
作者
郭岩
畅庚榕
吴贵智
马胜利
徐可为
机构
西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
出处
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期172-176,共5页
基金
国家自然科学基金项目50271053和50371067国家自然科学基金委重大国际合作项目50420130033国家重点基础研究发展规划项目2004CB619302教育部新世纪优秀人才支持计划项目NCET-04-0934西安交通大学博士学位论文基金资助~~
文摘
用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)方法在高速钢基体上沉积出新型Ti-Si-C-N超硬薄膜,Ti-Si-C-N薄膜为纳米晶／非晶复合结构(nc-Ti(C,N)／a-Si_3N_4／a-C—C),当薄膜中Si和C含量较高时,Ti(C,N)转变为TiC,晶粒尺寸减小到2—4 nm,薄膜晶粒尺寸和硬度的高温热稳定性均随沉积态薄膜中的原始晶粒尺寸减小而提高,当原始晶粒尺寸在8—10 nm之间时,晶粒尺寸和硬度热稳定性可达900℃；当原始晶粒尺寸在2—4 nm之间时,晶粒尺寸和硬度热稳定性可达1000℃,薄膜硬度和晶粒尺寸表现出同步的高温热稳定性,分析认为由调幅分解形成的纳米复合结构中的非晶相强烈地抑制晶界滑移与晶粒长大,从而使Ti-Si-C-N薄膜的热稳定性显著提高。
关键词
ti—
si—
C
—n
纳米
复合
超
硬
薄膜
晶
粒尺寸
显微
硬
度
热稳定性
Keywords
ti
-
si
-C-
n
, superhard
n
a
n
ocompo
si
te coa
ti
n
g, crystalli
n
e
si
ze, microhard
n
ess, thermal stability
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
TiN／Si_3N_4纳米晶复合膜的微结构和强化机制
被引量：
13
3
作者
孔明
赵文济
乌晓燕
魏仑
李戈扬
机构
上海交通大学 金属基复合材料国家重点实验室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期539-544,共6页
基金
国家自然科学基金(50571062)
文摘
采用高分辨透射电子显微镜对高硬度的TiN／Si3N4纳米晶复合膜的观察发现,这类薄膜的微结构与Veprek提出的nc-TiN／a-Si3N4模型有很大不同;复合膜中的TiN晶粒为平均直径约10nm的柱状晶,存在于柱晶之间的Si3N4界面相厚度为0．5-0．7nm,呈现晶体态,并与TiN形成共格界面．进一步采用二维结构的TiN／Si3N4纳米多层膜的模拟研究表明,Si3N4层在厚度约<0．7nm时因TiN层晶体结构的模板作用而晶化,并与TiN层形成共格外延生长结构,多层膜相应产生硬度升高的超硬效应．由于TiN晶体层模板效应的短程性,Si3N4层随厚度微小增加到1．0nm后即转变为非晶态,其与TiN的共格界面因而遭到破坏,多层膜的硬度也随之迅速降低．基于以上结果,本文对TiN／Si3N4纳米晶复合膜的强化机制提出了一种不同于nc-TiN／a-Si3N4模型的新解释．
关键词
ti
n
/
si
3
n
4
纳米
晶
复合
膜
纳米
多层膜
界面相
晶
体化
超
硬
效应
Keywords
ti
n
/
si
3
n
4
n
a
n
ocompo
si
tes
ti
n
/
si
3
n
4
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n
omul
ti
layers
i
n
terfacial phase
crystalliza
ti
o
n
superhard
n
ess effect
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米晶Ti-Si-N超硬复合涂层的研究进展
沈保罗
王均
张铁邦
高见
冯浩
黄四九
《粉末冶金技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
6
下载PDF
职称材料
2
新型Ti-Si-C-N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性
郭岩
畅庚榕
吴贵智
马胜利
徐可为
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
4
下载PDF
职称材料
3
TiN／Si_3N_4纳米晶复合膜的微结构和强化机制
孔明
赵文济
乌晓燕
魏仑
李戈扬
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
13
下载PDF
职称材料
已选择
0
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