磁控溅射工艺参数对涤纶机织物基纳米金属薄膜抗静电性能的影响 被引量：8

1

作者 袁小红 魏取福 +1 位作者 陈东生 徐文正 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期848-852,共5页

在室温条件下采用磁控溅射技术在涤纶机织物表面沉积金属薄膜,利用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察纳米金属薄膜的表面形貌,通过分别改变磁控溅射工艺参数溅射时间、溅射功率和气体压强,研究其对试样抗静电性能的影响。实验结果表... 在室温条件下采用磁控溅射技术在涤纶机织物表面沉积金属薄膜,利用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察纳米金属薄膜的表面形貌,通过分别改变磁控溅射工艺参数溅射时间、溅射功率和气体压强,研究其对试样抗静电性能的影响。实验结果表明,溅射时间和溅射功率对镀金属薄膜试样的抗静电性能均影响较大,而气体压强影响相对较小。溅射时间40min、溅射功率120W、气体压强1.6Pa工艺条件下,镀Cu膜试样的抗静电性能最好;溅射时间40min、溅射功率120W、气体压强1Pa或1.6Pa工艺条件下,镀Ag膜试样的抗静电性能最好,而且镀Ag比镀Cu薄膜试样的抗静电性能更优异。 展开更多

关键词 磁控溅射 涤纶机织物 纳米金属薄膜 抗静电性能

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涤纶机织物基纳米金属薄膜的AFM分析和紫外线防护性能 被引量：3

2

作者 袁小红 魏取福 +1 位作者 陈东生 徐文正 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期140-143,共4页

在室温条件下采用磁控溅射技术在涤纶机织物表面沉积金属薄膜,利用原子力显微镜(AFM)分析溅射时间、溅射功率和气体压强等工艺参数对纳米金属薄膜表面形貌和表面粗糙度的影响,研究了溅射工艺参数与样品紫外线防护性能之间的关系。结果表... 在室温条件下采用磁控溅射技术在涤纶机织物表面沉积金属薄膜,利用原子力显微镜(AFM)分析溅射时间、溅射功率和气体压强等工艺参数对纳米金属薄膜表面形貌和表面粗糙度的影响,研究了溅射工艺参数与样品紫外线防护性能之间的关系。结果表明:同等工艺参数条件下,镀Ag膜试样的表面粗糙度要比镀Cu试样小很多,表面相对较为平整。溅射时间对镀Cu膜试样的表面粗糙度和紫外线防护性能影响最大,而溅射功率对镀Ag膜试样的表面粗糙度和紫外线防护性能影响最大,并分别给出了溅射Cu膜和Ag膜的最佳工艺参数。 展开更多

关键词 涤纶机织物 纳米金属薄膜 AFM分析 紫外线防护性能

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纳米金属薄膜材料电磁参数测量方法

3

作者 韦高 许家栋 +1 位作者 温浩 李建周 《微波学报》 CSCD 北大核心 2005年第6期39-42,共4页

提出了一种基于波导法的纳米薄膜材料电磁参数测量的新方法,给出了该方法的基本原理。与常规波导测量方法相比,该方法根据纳米金属薄膜材料的特点,简化了求解算法,只需测出加载薄膜波导开路与短路时的复反射系数,即可求出薄膜的介电常... 提出了一种基于波导法的纳米薄膜材料电磁参数测量的新方法,给出了该方法的基本原理。与常规波导测量方法相比,该方法根据纳米金属薄膜材料的特点,简化了求解算法,只需测出加载薄膜波导开路与短路时的复反射系数,即可求出薄膜的介电常数与导磁率,使测量过程简单高效并具有较高的精度。 展开更多

关键词 微波测量 纳米金属薄膜电磁参数测量 微波多端口反射计

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纳米金属薄膜中光子自旋霍尔效应的最佳弱测量 被引量：3

4

作者 李星 周新星 罗海陆 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期308-313,共6页

光子自旋霍尔效应是一种潜在的精密测量工具,在探测微结构材料结构参数变化的研究中具有重要的物理意义。基于光子自旋霍尔效应的弱测量模型研究了纳米金属薄膜中的光子自旋霍尔效应,研究结果表明当弱测量中放大角取相应的特殊值时(即... 光子自旋霍尔效应是一种潜在的精密测量工具,在探测微结构材料结构参数变化的研究中具有重要的物理意义。基于光子自旋霍尔效应的弱测量模型研究了纳米金属薄膜中的光子自旋霍尔效应,研究结果表明当弱测量中放大角取相应的特殊值时(即最佳弱测量点),纳米金属薄膜中光子自旋霍尔效应的放大后横移值可达到最大,大大提高了光子自旋霍尔效应的探测精度;在最佳弱测量点得到的放大后横移可以更精确地推断出金属薄膜的实际厚度。实验结果与理论分析符合较好,该方法为研制基于光子自旋霍尔效应的精密测量工具提供了理论与实验基础。 展开更多

关键词 量子光学 光子自旋霍尔效应 结构参数 弱测量 纳米金属薄膜

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金属纳米薄膜对大孔径光子晶体光纤传感特性的影响 被引量：3

5

作者 邴丕彬 邸志刚 +2 位作者 李忠洋 姚建铨 陆颖 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1291-1295,共5页

基于全矢量有限元法研究了金属纳米薄膜对大孔径光子晶体光纤(PCF)传感特性的影响。针对所设计的大孔径PCF传感模型,数值模拟了PCF材料中金属纳米薄膜厚度不同以及不均匀时所表现的吸收特性:当金属纳米薄膜的厚度为均匀的30 nm和40 nm时... 基于全矢量有限元法研究了金属纳米薄膜对大孔径光子晶体光纤(PCF)传感特性的影响。针对所设计的大孔径PCF传感模型,数值模拟了PCF材料中金属纳米薄膜厚度不同以及不均匀时所表现的吸收特性:当金属纳米薄膜的厚度为均匀的30 nm和40 nm时,分别在0.535μm和0.565μm处出现非常明显的吸收峰,且HEx11和HEy11两个模式完美简并;当有一个空气孔中的金属纳米薄膜厚度为30 nm,其他空气孔中的金属纳米薄膜厚度为40 nm时,HEx11和HEy11模式的损耗曲线明显不简并,能够表现出两种金属纳米薄膜厚度的吸收特性;模拟计算了所设计传感器不同测量方法所表达的灵敏度与分辨率。研究结果为PCF传感器中金属纳米镀膜的实际操作和使用提供了理论依据。 展开更多

关键词 金属纳米薄膜 光子晶体光纤 传感特性 有限元法

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金属纳米薄膜微尺度热输运过程实验研究 被引量：4

6

作者 韩鹏 唐大伟 +2 位作者 程光华 祝捷 赵卫 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期297-300,共4页

本文应用飞秒激光泵浦-探测技术对金属纳米薄膜微尺度能量输运过程进行了研究.在此系统中,我们采用低能量密度泵浦光进行加热,测量了纳米金膜在一个脉宽为140 fs的激光脉冲作用后,其非平衡电子温度在几个皮秒内随时间的变化.分别用一步... 本文应用飞秒激光泵浦-探测技术对金属纳米薄膜微尺度能量输运过程进行了研究.在此系统中,我们采用低能量密度泵浦光进行加热,测量了纳米金膜在一个脉宽为140 fs的激光脉冲作用后,其非平衡电子温度在几个皮秒内随时间的变化.分别用一步抛物模型、两步抛物模型以及双相滞模型和实验结果进行了对比.结果表明,实验结果和两步抛物模型数值模拟结果吻合良好. 展开更多

关键词 泵浦-探测系统 金属纳米薄膜 微尺度热输运

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Cu-MgF_2纳米金属陶瓷薄膜的微结构及吸收光谱特性研究 被引量：2

7

作者 孙兆奇 吴桂芳 +2 位作者 李爱侠 徐志元 孙大明 《安徽大学学报（自然科学版）》 CAS 2000年第3期64-69,共6页

对用蒸发技术制备的Cu -MgF2 纳米金属陶瓷薄膜微结构及吸收光谱特性进行了研究。微结构分析表明薄膜由fcc -Cu纳米晶粒镶嵌于主要呈非晶态的MgF2 基体中所组成 ,晶粒的平均粒度约为 1 4～ 1 6nm。Cu -MgF2 纳米金属陶瓷薄膜在 2 0 0～ ... 对用蒸发技术制备的Cu -MgF2 纳米金属陶瓷薄膜微结构及吸收光谱特性进行了研究。微结构分析表明薄膜由fcc -Cu纳米晶粒镶嵌于主要呈非晶态的MgF2 基体中所组成 ,晶粒的平均粒度约为 1 4～ 1 6nm。Cu -MgF2 纳米金属陶瓷薄膜在 2 0 0～ 80 0nm波段内的吸收光谱表明 :随着波长增加 ,吸收减小 ;Cu纳米晶粒的表面等离子共振吸收峰出现于 560nm处 ;短波长区呈现较强的Cu的带间跃迁吸收。用三维弥散系统的Maxwell-Garnett理论对Cu -MgF2 复合体系的实验吸收光谱特性作出了解释。 展开更多

关键词 纳米金属陶瓷薄膜 吸收光谱 微结构 铜 氟化镁

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离子注入对金属纳米薄膜微观结构的影响

8

作者 徐洮 杨生荣 +1 位作者 陈淼 薛群基 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期649-650,共2页

关键词 离子注入 金属纳米薄膜 微观结构 原子力显微镜 减摩涂层材料

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贵金属纳米颗粒复合薄膜光学特性理论研究

9

作者 张素伟 张波萍 +2 位作者 李顺 朱立峰 张雨桥 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2015年第11期2135-2142,共8页

采用经典Mie理论模拟计算了Ag、Au和Cu系纳米颗粒复合薄膜的吸收光谱。所有复合薄膜的吸收光谱均在可见光范围内出现表面等离子共振(surface plasmon resonance,SPR)吸收峰。Ag、Au和Cu系复合薄膜的SPR吸收峰峰位和峰强与金属介电常数实... 采用经典Mie理论模拟计算了Ag、Au和Cu系纳米颗粒复合薄膜的吸收光谱。所有复合薄膜的吸收光谱均在可见光范围内出现表面等离子共振(surface plasmon resonance,SPR)吸收峰。Ag、Au和Cu系复合薄膜的SPR吸收峰峰位和峰强与金属介电常数实部(εm1)和虚部(εm2)及介质折射率(refractive index,ns)之间存在强相关性,相比于εm1和εm2,ns的增大主导SPR吸收峰向长波方向移动且强度增强。通过改变金属和介质种类可以调节Ag、Au和Cu系复合薄膜的SPR吸收峰峰位和峰强,从而调节其光吸收特性。根据ns可以推测出金属纳米颗粒复合薄膜在可见光范围内的SPR吸收峰峰位。理论模拟吸收光谱与前人实验结果吻合,SPR吸收峰峰位的理论值与文献实验值接近。 展开更多

关键词 MIE理论 金属纳米颗粒复合薄膜 表面等离子共振 介质折射率

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纳米金属微粒M-Al_2O_3介孔复合薄膜的光谱特性 被引量：2

10

作者 梁燕萍 史启祯 +1 位作者 吴振森 卢敏 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第16期1524-1528,共5页

用电化学方法合成了纳米金属微粒M (M =Au ,Ag ,Cu ,Co ,Ni ,CuAg) Al2 O3 介孔复合薄膜 ,并研究了其在近紫外至可见光波范围的光谱特性 .研究结果表明 ,复合薄膜的光吸收峰位置与纳米金属微粒和Al2 O3 介孔薄膜的介电常数有关 ,且随... 用电化学方法合成了纳米金属微粒M (M =Au ,Ag ,Cu ,Co ,Ni ,CuAg) Al2 O3 介孔复合薄膜 ,并研究了其在近紫外至可见光波范围的光谱特性 .研究结果表明 ,复合薄膜的光吸收峰位置与纳米金属微粒和Al2 O3 介孔薄膜的介电常数有关 ,且随着膜层中纳米金属微粒复合量的增加 ,大幅度向红外波段移动 ;通过共沉积的方法形成的合金微粒复合膜也能使吸收边发生移动 .同时还发现Ag Al2 O3 ,Au Al2 O3 介孔复合薄膜分别在波长为 3 60 ,5 5 展开更多

关键词 纳米金属微粒-三氧化化二铝介孔复合薄膜 光谱特性 电化学 合成

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“纳米金属团簇复合薄膜的制备和研究”取得创造性成果

11

作者 王逸 《自然科学进展》 北大核心 2004年第7期781-781,共1页

关键词 纳米金属团簇复合薄膜 制备 非线性光学效应 高压电场 等离子体共振频率

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基于微波透射法的金属薄膜方块电阻测量理论及其应用

12

作者 王露 叶鸣 +1 位作者 赵小龙 贺永宁 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第20期270-278,共9页

依据矩形波导基模的场分布表达式和电磁边界条件,解析推导了插入金属薄膜后的矩形波导透射系数,建立了考虑介质衬底影响的金属纳米薄膜微波透射系数仿真计算方法及其方块电阻的微波测量方法.运用全波电磁仿真方法对金属纳米薄膜方块电... 依据矩形波导基模的场分布表达式和电磁边界条件,解析推导了插入金属薄膜后的矩形波导透射系数,建立了考虑介质衬底影响的金属纳米薄膜微波透射系数仿真计算方法及其方块电阻的微波测量方法.运用全波电磁仿真方法对金属纳米薄膜方块电阻的微波测量装置进行了仿真验证,结果表明透射系数幅度与方块电阻的对数之间呈线性关系.采用磁控溅射工艺分别在高阻硅和玻璃两种介质衬底表面制备了不同方块电阻值的银薄膜,并测量其微波透射系数.实测结果表明,提出的方法适用于方块电阻阻值为0.05—0.5?/square的金属薄膜.研究结果对于微纳制造领域的导电薄膜方块电阻表征具有参考价值. 展开更多

关键词 矩形波导 金属纳米薄膜 透射系数 方块电阻

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金属纳米粒子膜制备技术和方法研究

13

作者 李昌峰 杜丹丹 +2 位作者 洪昕 边琰 张国雄 《医疗卫生装备》 CAS 2007年第4期28-29,共2页

金属纳米粒子薄膜以其灵敏的非线性光学特性被广泛地应用于化学传感器和生物传感器。介绍了真空蒸发沉淀、脉冲激光沉积、化学气相沉淀、自组装模板法等不同制备金属纳米粒子膜方法的成膜原理、主要参数和工艺等,并分析了不同方法的优... 金属纳米粒子薄膜以其灵敏的非线性光学特性被广泛地应用于化学传感器和生物传感器。介绍了真空蒸发沉淀、脉冲激光沉积、化学气相沉淀、自组装模板法等不同制备金属纳米粒子膜方法的成膜原理、主要参数和工艺等,并分析了不同方法的优缺点。 展开更多

关键词 金属纳米粒子薄膜 脉冲激光沉积 自组装模板法

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纳米氧化物薄膜紫外光照下气敏性能研究进展

14

作者 张宏 林志东 艾华 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2008年第11期8-11,共4页

介绍了金属氧化物薄膜电极的制备方法与过程,阐述了紫外光作用于金属氧化物半导体的光照机理。基于实际应用和市场需求,就有关光照后金属氧化物薄膜的气敏性能的研究现状进行了探讨,并展望了其今后的应用与研究方向。

关键词 电子技术 紫外光 综述 纳米金属氧化物薄膜 气敏性能

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纳米Ti膜形成过程的扫描隧道显微镜观察 被引量：3

15

作者 谢天生 杜昊 +2 位作者 孟祥敏 孙超 闻立时 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期113-117,共5页

用磁控溅射方法在聚合物薄膜基体上制备出不同厚度的纳米 Ｔｉ膜．扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）的观察结果表明，初期膜是由直径小于２ｎｍ的形核粒子和粒子团聚体组成．粒子沉积呈岛状生长形成纳米晶粒结构随薄膜厚度增加，平均晶粒尺寸... 用磁控溅射方法在聚合物薄膜基体上制备出不同厚度的纳米 Ｔｉ膜．扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）的观察结果表明，初期膜是由直径小于２ｎｍ的形核粒子和粒子团聚体组成．粒子沉积呈岛状生长形成纳米晶粒结构随薄膜厚度增加，平均晶粒尺寸增加，形成大尺寸晶粒的连续薄膜.分析和讨论了薄膜生长过程的结构特征及溅射条件对薄膜结构的影响． 展开更多

关键词 磁控溅射 纳米TI膜 扫描隧道显微镜 纳米金属薄膜

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影响金属细米薄膜沉积初期因素的模拟研究

16

作者 宋鹏 《表面工程资讯》 2005年第1期9-9,共1页

昆明理工大学材料与冶金工程学院利用有限单元法对影响金属纳米薄膜生长初期的影响因素进行了计算机模拟。按膜料分为P1、P1-Ru、Pt-Ti、Pt-Ni、Pt-Al等5种模式，采用刚性球入射到C或Si基层．重点研究了基底的硬度、半径差异比、原子入... 昆明理工大学材料与冶金工程学院利用有限单元法对影响金属纳米薄膜生长初期的影响因素进行了计算机模拟。按膜料分为P1、P1-Ru、Pt-Ti、Pt-Ni、Pt-Al等5种模式，采用刚性球入射到C或Si基层．重点研究了基底的硬度、半径差异比、原子入射角和沉积原子能量等参数对薄膜沉积的影响，同时检验了有限元方法在微观领域中的合理性和适用性。 展开更多

关键词 昆明理工大学材料与冶金工程学院 有限单元法 金属纳米薄膜 沉积 半径差异比 原子入射角

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基于钽酸锂晶体材料镍铬薄膜在14～16μm波段红外增强吸收特性（英文）

17

作者 刘子骥 梁志清 +3 位作者 何璇 马振东 苟军 蒋亚东 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期389-392,共4页

纳米级金属薄膜能够作为热释电探测器红外吸收薄膜在14~16μm波段范围内有效应用已经得到证明.通过调节沉积在LT(钽酸锂)晶体材料上的纳米级镍铬(NiCr)薄膜的厚度和表面特征来改善纳米金属薄膜红外吸收特性.通过调节晶体材料的厚度,改... 纳米级金属薄膜能够作为热释电探测器红外吸收薄膜在14~16μm波段范围内有效应用已经得到证明.通过调节沉积在LT(钽酸锂)晶体材料上的纳米级镍铬(NiCr)薄膜的厚度和表面特征来改善纳米金属薄膜红外吸收特性.通过调节晶体材料的厚度,改变抗反射腔的深度,从而调节吸收波长.为进一步加强红外吸收,应用化学腐蚀,生成粗糙的纳米级薄膜表面结构,从而极大程度上增加吸收表面积.通过将这两种方法结合,可以明显增强指定波段的红外吸收,且其制造过程完全兼容,易于实现.可控的吸收性能的实验结果与仿真和设计情况相符合. 展开更多

关键词 NICR 热释电探测器 纳米金属薄膜 化学腐蚀 红外吸收

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激光诱导击穿光谱技术在半导体材料检测方面的应用进展

18

作者 武传奇 修俊山 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第3期24-29,共6页

对于半导体材料的研究来说,其在材料内部的元素组成以及含量是影响其性能的一个重要因素,常规的检测方法虽然能够检测出样品中成分以及含量信息,但是在这过程中存在成本高、效率低、耗时长、过程较为繁琐等问题。在分析技术领域不断发... 对于半导体材料的研究来说,其在材料内部的元素组成以及含量是影响其性能的一个重要因素,常规的检测方法虽然能够检测出样品中成分以及含量信息,但是在这过程中存在成本高、效率低、耗时长、过程较为繁琐等问题。在分析技术领域不断发展的今天,急需寻找一种便携、新颖、与当今材料相匹配的检测技术。正是基于以上需求,激光诱导击穿光谱(LIBS)技术逐步走进了大众的视野,对LIBS技术进行了简要介绍,在此基础上着重介绍了利用LIBS技术来分析半导体材料表面的微分析研究与半导体材料金属氧化物纳米薄膜方面的研究进展,介绍了LIBS技术在这两方面检测的优势以及未来LIBS技术在这些方面的发展。 展开更多

关键词 激光诱导击穿光谱 半导体材料表面微分析 金属氧化物纳米薄膜 定性定量分析

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分形理论及其在薄膜微结构研究中的应用

19

作者 吕建国 蔡琪 +1 位作者 宋学萍 孙兆奇 《安徽教育学院学报》 2007年第3期24-27,共4页

介绍分形的基本概念以及几种常用的计算简单分形维数的方法,用分形研究Au-MgF2纳米金属介质复合薄膜中Au颗粒和半连续Ag膜中Ag小岛的分布规律。结果表明:复合薄膜中Au颗粒的分形维数随Au含量的增加由1.5516逐渐增大到1.7671,表明金属介... 介绍分形的基本概念以及几种常用的计算简单分形维数的方法,用分形研究Au-MgF2纳米金属介质复合薄膜中Au颗粒和半连续Ag膜中Ag小岛的分布规律。结果表明:复合薄膜中Au颗粒的分形维数随Au含量的增加由1.5516逐渐增大到1.7671,表明金属介质复合薄膜中Au颗粒的平均尺寸随着Au含量的增加而增大;半连续Ag膜中Ag小岛的分形维数随厚度的增加从1.4051增大到1.7428,说明半连续Ag膜的覆盖率随着其厚度的增加而增大。这一结果与实验结果一致,因此分形可以用来定量表征薄膜显微结构的演化规律。 展开更多

关键词 Au-MgF2纳米金属介质复合薄膜 半连续Ag膜 分形 分形维数

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飞秒激光抽运探测热反射法对金属纳米薄膜超快非平衡传热的研究 被引量：2

20

作者 朱丽丹 孙方远 +1 位作者 祝捷 唐大伟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第13期266-272,共7页

随着微电子器件尺寸的减小、工作频率的提高,金属薄膜中电子与声子将处于非平衡状态,这将导致微电子器件的热阻增大.为准确地对这些微电子器件进行热管理,电子-声子耦合系数的测量变得越来越重要.本文采用飞秒激光抽运-探测热反射法研... 随着微电子器件尺寸的减小、工作频率的提高,金属薄膜中电子与声子将处于非平衡状态,这将导致微电子器件的热阻增大.为准确地对这些微电子器件进行热管理,电子-声子耦合系数的测量变得越来越重要.本文采用飞秒激光抽运-探测热反射法研究了不同厚度的金属纳米薄膜的非平衡传热过程.通过抛物两步模型对实验数据进行拟合,在拟合过程中引入电子温度与声子温度对反射率影响的比例关系,从而优化了拟合结果.通过对不同厚度的Ni膜与Al膜的电子-声子耦合系数的研究,表明金属薄膜中的电子-声子耦合系数并不随薄膜厚度的改变发生变化.实验结果还验证了探测光的反射率同时受到电子温度和声子温度的影响,并通过数据分析量化了电子温度和声子温度对反射率的影响系数. 展开更多

关键词 纳米金属薄膜 电子-声子耦合 飞秒激光 热反射

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