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薄膜及镀层织构定量分析
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作者 王沿东 刘沿东 徐家桢 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 1996年第5期467-471,共5页
针对薄膜及镀层织构分析的特殊困难(衍射峰特宽、强度测量偶然误差严重、散焦补正困难等),基于熵最大与极密度差最小二乘优化应同步进行的原则,提出了织构分析中熵最大处理模式的新的约束条件,修正了以往约束条件与取向非负性之间... 针对薄膜及镀层织构分析的特殊困难(衍射峰特宽、强度测量偶然误差严重、散焦补正困难等),基于熵最大与极密度差最小二乘优化应同步进行的原则,提出了织构分析中熵最大处理模式的新的约束条件,修正了以往约束条件与取向非负性之间的不自洽性[1],从而克服了薄膜织构定量分析的困难.模拟研究表明:新方法可以自动补偿测量偶然误差及散焦误差、应用实例指出,此法可成功进行实际镀层材料的织构定量分析。 展开更多
关键词 薄膜 织构定量分析 最大熵原则
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织构定量分析新方法—SEAN应用
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作者 尤世武 陈洪荪 马琳 《理化检验(物理分册)》 CAS 1989年第4期40-42,共3页
关键词 织构定量分析 SEAN 极图织构
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银薄膜织构变化的定量研究 被引量:1
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作者 辛晓天 张建民 马飞 《理化检验(物理分册)》 CAS 2004年第8期395-397,403,共4页
利用X射线衍射(XRD)织构分析技术研究了未退火及在400℃温度条件下经4h真空退火处理后的银薄膜织构。结果表明,银薄膜主要存在(111)和(100)面织构组份。银沉积薄膜(未退火)中(111)取向的晶粒多于(100)取向的晶粒。经退火处理后的硅基银... 利用X射线衍射(XRD)织构分析技术研究了未退火及在400℃温度条件下经4h真空退火处理后的银薄膜织构。结果表明,银薄膜主要存在(111)和(100)面织构组份。银沉积薄膜(未退火)中(111)取向的晶粒多于(100)取向的晶粒。经退火处理后的硅基银薄膜表现更强的(111)和(100)面织构,而且(111)和(100)取向的晶粒数量基本相当。用表面能和应变能各向异性驱动晶粒生长的机理对此给予了解释。 展开更多
关键词 银薄膜 退火 织构定量分析
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