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一种新型多波长绝对距离干涉测量系统的研究 被引量：10
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作者 梁晶 龙兴武 张斌 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期681-683,686,共4页
介绍了一种新型多波长绝对距离干涉测量系统。系统采用633nm的双纵模He-Ne激光器和629nm的He-Ne激光器,组成三级合成波长链对较大距离进行精密测量,并作了误差分析。系统采用高稳定度的声光晶体对各波长分别进行偏频,再用外差探测法测... 介绍了一种新型多波长绝对距离干涉测量系统。系统采用633nm的双纵模He-Ne激光器和629nm的He-Ne激光器,组成三级合成波长链对较大距离进行精密测量,并作了误差分析。系统采用高稳定度的声光晶体对各波长分别进行偏频,再用外差探测法测量出光束通过参考光路和测量光路后的位相差。简要介绍了629nm的He-Ne激光器的设计方案。 展开更多
关键词 激光干涉仪 绝对距离干涉术 多波长 相位测量
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