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先进光刻材料
被引量：
5
1
作者
李自力
徐兴冉
+3 位作者
湛江浩
胡晓华
张子英
熊诗圣
《应用化学》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期859-870,共12页
随着半导体产业的技术发展与进步,芯片制造在摩尔定律的推动下也在不断向先进工艺节点推进。与此同时,我们迫切需要开发与之相匹配的光刻材料来满足光刻图形化的快速发展需求。本文从光刻材料的成分和性能出发,介绍了光刻图形化技术所...
随着半导体产业的技术发展与进步,芯片制造在摩尔定律的推动下也在不断向先进工艺节点推进。与此同时,我们迫切需要开发与之相匹配的光刻材料来满足光刻图形化的快速发展需求。本文从光刻材料的成分和性能出发,介绍了光刻图形化技术所用的从紫外光刻胶、深紫外光刻胶、极紫外光胶、共轭聚合物光刻材料到导向自组装光刻材料,分析了光刻材料的发展现状,最后总结全文并对国内光刻材料的未来发展趋势进行展望。
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关键词
先进
光刻
技术
导向自组装
光刻
光刻
胶
共轭
聚合物光刻
材料
化学放大胶
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职称材料
超疏水功能材料用于食品非法添加的超灵敏SERS检测
2
作者
李磊
蒋伊帆
汪腾飞
《科技创新与应用》
2018年第23期17-18,共2页
本研究采用聚合物光刻方法在铜表面均匀覆盖一层聚合物薄膜,逐步洗脱,分步改性,通过化学修饰获得可用于食品中非法添加的超疏水SERS检测平台。实验主要利用接触角测量仪对材料表面的接触角,弹跳和表面自清洁功能进行表征,同时利用SERS...
本研究采用聚合物光刻方法在铜表面均匀覆盖一层聚合物薄膜,逐步洗脱,分步改性,通过化学修饰获得可用于食品中非法添加的超疏水SERS检测平台。实验主要利用接触角测量仪对材料表面的接触角,弹跳和表面自清洁功能进行表征,同时利用SERS技术对结晶紫信号在疏水表面的增强效果进行分析并成功实现了罗丹明6G的痕量检测。
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关键词
聚合物光刻
超疏水
化学修饰
SERS
食品非法添加
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职称材料
日本Toyo Gosei公司五倍扩产氟化氩生产能力
3
《无机化工信息》
2004年第2期43-43,共1页
关键词
日本ToyoGosei公司
氟化氩
生产能力
激光
光刻
法
氟化氩激态复合物
光刻
胶
聚合物
原文传递
题名
先进光刻材料
被引量：
5
1
作者
李自力
徐兴冉
湛江浩
胡晓华
张子英
熊诗圣
机构
复旦大学信息科学与工程学院
上海工程技术大学材料工程学院
出处
《应用化学》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期859-870,共12页
基金
国家自然科学基金(Nos.U20A20227,61974030)
复旦大学科研启动项目(No.JIH1232090)资助。
文摘
随着半导体产业的技术发展与进步,芯片制造在摩尔定律的推动下也在不断向先进工艺节点推进。与此同时,我们迫切需要开发与之相匹配的光刻材料来满足光刻图形化的快速发展需求。本文从光刻材料的成分和性能出发,介绍了光刻图形化技术所用的从紫外光刻胶、深紫外光刻胶、极紫外光胶、共轭聚合物光刻材料到导向自组装光刻材料,分析了光刻材料的发展现状,最后总结全文并对国内光刻材料的未来发展趋势进行展望。
关键词
先进
光刻
技术
导向自组装
光刻
光刻
胶
共轭
聚合物光刻
材料
化学放大胶
Keywords
Advanced lithography
Directed self-assembly lithography
Photoresist
Semiconductingphotoresist
Chemically amplified photoresists
分类号
O649 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
超疏水功能材料用于食品非法添加的超灵敏SERS检测
2
作者
李磊
蒋伊帆
汪腾飞
机构
合肥工业大学食品科学与工程学院
出处
《科技创新与应用》
2018年第23期17-18,共2页
基金
安徽省重点研究与开发计划项目合同书(编号:1704a07020067)
文摘
本研究采用聚合物光刻方法在铜表面均匀覆盖一层聚合物薄膜,逐步洗脱,分步改性,通过化学修饰获得可用于食品中非法添加的超疏水SERS检测平台。实验主要利用接触角测量仪对材料表面的接触角,弹跳和表面自清洁功能进行表征,同时利用SERS技术对结晶紫信号在疏水表面的增强效果进行分析并成功实现了罗丹明6G的痕量检测。
关键词
聚合物光刻
超疏水
化学修饰
SERS
食品非法添加
Keywords
polymer photolithography
superhydrophobie
ehenfieal modification
SERS
illegal additives in food
分类号
TS207 [轻工技术与工程—食品科学]
下载PDF
职称材料
题名
日本Toyo Gosei公司五倍扩产氟化氩生产能力
3
出处
《无机化工信息》
2004年第2期43-43,共1页
关键词
日本ToyoGosei公司
氟化氩
生产能力
激光
光刻
法
氟化氩激态复合物
光刻
胶
聚合物
分类号
F431.37 [经济管理—产业经济]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
先进光刻材料
李自力
徐兴冉
湛江浩
胡晓华
张子英
熊诗圣
《应用化学》
CAS
CSCD
北大核心
2022
5
下载PDF
职称材料
2
超疏水功能材料用于食品非法添加的超灵敏SERS检测
李磊
蒋伊帆
汪腾飞
《科技创新与应用》
2018
0
下载PDF
职称材料
3
日本Toyo Gosei公司五倍扩产氟化氩生产能力
《无机化工信息》
2004
0
原文传递
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