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一种微型化制造的双腔结构芯片原子钟^(87)Rb蒸汽腔(英文) 被引量:5
1
作者 李绍良 徐静 +1 位作者 张志强 吴亚明 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第5期1463-1468,共6页
碱金属蒸汽腔是芯片原子钟(CSACs)中重要的核心部件之一,其微型化制造具有重要的实用价值,同时也非常具有挑战性。采用MEMS技术批量化制作了具有双腔结构的芯片原子钟87Rb蒸汽腔阵列。在阳极键合过程中,通过原位化学反应产生纯净的87Rb... 碱金属蒸汽腔是芯片原子钟(CSACs)中重要的核心部件之一,其微型化制造具有重要的实用价值,同时也非常具有挑战性。采用MEMS技术批量化制作了具有双腔结构的芯片原子钟87Rb蒸汽腔阵列。在阳极键合过程中,通过原位化学反应产生纯净的87Rb元素蒸汽,缓冲气体(N2)采用反充的方法充入到87Rb蒸汽腔内以保证缓冲气体的压强可以精确的控制。所设计的双腔结构可以防止原位化学反应中产生的杂质阻挡光路,从而能够提高探测到的光信号的强度。通过原子钟桌面系统测试,得到了87Rb元素D1线的光学吸收谱和用于芯片原子钟锁频的误差信号,在90℃时,87Rb元素D1线纠偏信号的线宽(波峰与波谷间距)可达到0.53 kHz。测试结果表明,双腔结构的87Rb蒸汽腔满足芯片原子钟或其他芯片级原子器件的设计要求。 展开更多
关键词 ^87Rb蒸汽腔 芯片原子钟 相干布居数囚禁(CPT) 双腔结构 MEMS技术
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芯片原子钟——CPT钟研究进展 被引量:9
2
作者 曹远洪 何庆 杨林 《电讯技术》 北大核心 2010年第6期125-131,共7页
介绍了基于激光与原子相干布局囚禁(CPT)理论的芯片原子钟(CSAC)钟。该原子钟代表了小型化原子钟未来发展方向,近年来在设计技术、制造工艺以及物理机制方面都取得了较大进展,并实现了芯片级的CPT钟原理样机。预计,在未来3~5年将会有... 介绍了基于激光与原子相干布局囚禁(CPT)理论的芯片原子钟(CSAC)钟。该原子钟代表了小型化原子钟未来发展方向,近年来在设计技术、制造工艺以及物理机制方面都取得了较大进展,并实现了芯片级的CPT钟原理样机。预计,在未来3~5年将会有芯片原子钟产品面世。 展开更多
关键词 芯片原子钟 相干布局囚禁钟 研究进展
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芯片原子钟MEMS原子气室数字温控系统设计 被引量:1
3
作者 刘召军 李坤 +3 位作者 李云超 胡旭文 闫树斌 张彦军 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第6期410-414,420,共6页
芯片原子钟(CSAC)可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC~?单片机和增量式比例-微分-积分(PID)算法设计了一种CSAC微电子机械系统(MEMS)原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡(I... 芯片原子钟(CSAC)可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC~?单片机和增量式比例-微分-积分(PID)算法设计了一种CSAC微电子机械系统(MEMS)原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡(ITO)加热玻璃。温度是影响CSAC稳定度的一个重要因素,解决了CSAC系统气室温控的加热不均匀问题,温控精度达到了0.10℃,达到了CSAC温控精度优于0.15℃的要求。通过饱和吸收光谱实验,获得了明显的饱和吸收谱线。实验结果为高性能CSAC的研究提供了参考。 展开更多
关键词 芯片原子钟(CSAC) 数字温控 饱和吸收 微电子机械系统(MEMS)原子气室 氧化铟锡(ITO)加热玻璃
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IIR滤波器在芯片原子钟中的应用
4
作者 阮恩梅 吴红卫 +1 位作者 陈杰华 顾思洪 《宇航计测技术》 CSCD 2017年第1期35-38,共4页
芯片原子钟是具有小体积,低功耗特点的原子钟。本文采用了IIR滤波器方案对芯片原子钟物理系统输出信号进行处理,该方案有利于减小芯片原子钟的体积、提高芯片原子钟短期频率稳定度。实验结果表明,与FIR滤波方案相比,IIR滤波器使用的FPG... 芯片原子钟是具有小体积,低功耗特点的原子钟。本文采用了IIR滤波器方案对芯片原子钟物理系统输出信号进行处理,该方案有利于减小芯片原子钟的体积、提高芯片原子钟短期频率稳定度。实验结果表明,与FIR滤波方案相比,IIR滤波器使用的FPGA资源减小了约58%;与现有模拟滤波方案相比,使用IIR滤波器方案的芯片原子钟频率稳定度提高了1.4×10^(-10)τ^(-1/2)(τ=1s-100s),电路面积减小了10%。 展开更多
关键词 IIR滤波器 芯片原子钟 数字滤波 级联型
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一种芯片原子钟专用锁相倍频器研究与设计实现 被引量:5
5
作者 刘类骥 赵海清 曹远洪 《宇航计测技术》 CSCD 2014年第1期37-41,共5页
分析了倍频器对芯片原子钟稳定度指标的影响,并以此提出了对倍频器的设计要求。介绍了国内外几种典型的原子钟倍频器,提出了一种基于Σ-!调制的芯片原子钟专用锁相倍频器方案,并采用分离器件对该方案进行了验证,实现了与传统铷钟物理系... 分析了倍频器对芯片原子钟稳定度指标的影响,并以此提出了对倍频器的设计要求。介绍了国内外几种典型的原子钟倍频器,提出了一种基于Σ-!调制的芯片原子钟专用锁相倍频器方案,并采用分离器件对该方案进行了验证,实现了与传统铷钟物理系统的闭环锁定,铷原子频标稳定度指标达4.7E-12/s,能满足原子钟的研制需求。基于该方案开展了倍频器芯片的设计和流片,实现了3.4GHz的芯片原子钟专用芯片,与物理系统进行联调锁定后稳定度指标达5.5E-11/s,表明该芯片可满足芯片原子钟的设计要求。 展开更多
关键词 +芯片原子钟 倍频器 专用芯片
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芯片原子钟磁屏蔽系统的设计与仿真
6
作者 胡旭文 李云超 +5 位作者 张璐 牟仕浩 张开放 刘召军 张彦军 闫树斌 《测试技术学报》 2019年第4期334-339,共6页
为解决外部杂散磁场引起芯片原子钟跃迁谱线频移的问题,设计一款可用于原子钟测试实验的磁屏蔽装置.利用Matlab软件研究各结构参数对圆柱体磁屏蔽轴向屏蔽效能和球体磁屏蔽屏蔽效能的影响并进行比较,得出球体屏蔽效果优于圆柱体轴向屏... 为解决外部杂散磁场引起芯片原子钟跃迁谱线频移的问题,设计一款可用于原子钟测试实验的磁屏蔽装置.利用Matlab软件研究各结构参数对圆柱体磁屏蔽轴向屏蔽效能和球体磁屏蔽屏蔽效能的影响并进行比较,得出球体屏蔽效果优于圆柱体轴向屏蔽效果的结论.使用有限元软件Maxwell对4个3层圆柱体和球体嵌套模型进行建模仿真,研究其内部剩余磁场大小和均匀度小于1%的区域.仿真结果表明,4个嵌套模型内部剩余磁场均小于10pT,满足原子钟对内部磁场的要求.其中,1层球体和2层圆柱体嵌套模型屏蔽效能可达139.04dB,具有最大的均匀度小于1%的范围约为22mm,可成为制作磁屏蔽的理想选择.该研究对磁屏蔽模型的设计提供了理论依据,为后续设计小尺寸磁屏蔽具有重要指导意义. 展开更多
关键词 芯片原子钟 频移 屏蔽效能 MAXWELL
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芯片级原子钟研究进展 被引量:3
7
作者 杨巧会 潘多 陈景标 《真空电子技术》 2023年第1期1-11,共11页
芯片级原子钟是一种小体积、低功耗的高精度时钟,适合作为便携式时频设备广泛应用于科学研究、生产生活、军事领域等方面。本文介绍了芯片级原子钟的国内外研究进展,阐述了芯片级原子钟的原理及研制的关键技术,介绍了芯片级原子钟的发... 芯片级原子钟是一种小体积、低功耗的高精度时钟,适合作为便携式时频设备广泛应用于科学研究、生产生活、军事领域等方面。本文介绍了芯片级原子钟的国内外研究进展,阐述了芯片级原子钟的原理及研制的关键技术,介绍了芯片级原子钟的发展方向,并对我国芯片级原子钟的战略发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 芯片原子钟 光钟 原子气室 频率稳定度
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应用于芯片原子钟的微碱金属气室制备与研究 被引量:4
8
作者 汤跃 任子明 +3 位作者 李云超 胡旭文 张彦军 闫树斌 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第4期29-35,共7页
利用感应耦合等离子体深硅刻蚀机与阳极键合机,制备出了应用于芯片原子钟的碱金属气室。以AZ4620光刻胶为硅片掩模,研究了深硅刻蚀后硅表面的形貌特征,对比了不同结构下深硅刻蚀速率。经过阳极键合,获得了三明治结构的微碱金属气室,并... 利用感应耦合等离子体深硅刻蚀机与阳极键合机,制备出了应用于芯片原子钟的碱金属气室。以AZ4620光刻胶为硅片掩模,研究了深硅刻蚀后硅表面的形貌特征,对比了不同结构下深硅刻蚀速率。经过阳极键合,获得了三明治结构的微碱金属气室,并检测其饱和吸收谱线。实验结果表明:制备出的微碱金属气室在温度为80℃条件下出现明显的饱和吸收现象。 展开更多
关键词 原子与分子物理学 芯片原子钟 碱金属气室 饱和吸收 感应耦合等离子体 阳极键合
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芯片原子钟原子气室的研究进展 被引量:9
9
作者 李云超 胡旭文 +4 位作者 刘召军 汤跃 张彦军 金文 闫树斌 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第6期23-34,共12页
在微型定位、导航、授时(Micro-PNT)系统中,芯片原子钟(CSAC)作为微型时钟模块的核心,其发展关乎到Micro-PNT系统的定位精度与授时能力。原子气室作为芯片原子钟的"心脏",其制备工艺直接决定着原子钟的体积、稳定度与功耗等... 在微型定位、导航、授时(Micro-PNT)系统中,芯片原子钟(CSAC)作为微型时钟模块的核心,其发展关乎到Micro-PNT系统的定位精度与授时能力。原子气室作为芯片原子钟的"心脏",其制备工艺直接决定着原子钟的体积、稳定度与功耗等多项性能指标。随着原子钟功耗的降低与体积的减小,加工制造出与之相适应的微型原子气室势在必行。从玻璃吹制法与微电子机械系统(MEMS)超精细加工法两个方面介绍了原子气室的加工工艺,综述了其研究进展,并分析了目前微型原子气室在制备工艺中存在的不足,对未来原子气室制备工艺的进一步优化具有一定的参考作用。 展开更多
关键词 原子与分子物理学 芯片原子钟 原子气室 导航 定位 授时
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芯片原子钟的工作原理及其研究进展 被引量:8
10
作者 李松松 张奕 +1 位作者 田原 陈杰华 《导航与控制》 2018年第6期10-15,41,共7页
作为导航设备的重要部件,芯片原子钟可作为战术导弹、卫星接收机、小型无人机等所用导航设备的时钟源,也可与陀螺仪和加速度计组合实现微型定位、导航与授时。介绍了相干布局囚禁(Coherent Population Trapping,CPT)现象,以及芯片原子... 作为导航设备的重要部件,芯片原子钟可作为战术导弹、卫星接收机、小型无人机等所用导航设备的时钟源,也可与陀螺仪和加速度计组合实现微型定位、导航与授时。介绍了相干布局囚禁(Coherent Population Trapping,CPT)现象,以及芯片原子钟的发展历程,阐述了CPT实现方案的缺点(产生极化暗态、降低原子利用率),并给出了优化方案。此外,分析了微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)加工工艺等用于芯片原子钟制造的关键技术,并对芯片原子钟的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 芯片原子钟 相干布局囚禁 频率稳定度 微机电系统 导航
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芯片级原子钟辅助的惯性/卫星组合导航系统欺骗检测方法 被引量:16
11
作者 刘洋 李四海 +1 位作者 付强文 周琪 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第5期654-660,共7页
商业化芯片级原子钟产品的出现,使其在惯性/卫星组合导航系统中的应用成为可能。针对卫星导航欺骗信号检测,提出利用芯片级原子钟高精度时间保持能力,从时间维度进行欺骗检测的方法。首先,介绍了芯片级原子钟的基本特点和时间保持能力,... 商业化芯片级原子钟产品的出现,使其在惯性/卫星组合导航系统中的应用成为可能。针对卫星导航欺骗信号检测,提出利用芯片级原子钟高精度时间保持能力,从时间维度进行欺骗检测的方法。首先,介绍了芯片级原子钟的基本特点和时间保持能力,然后通过分析欺骗干扰对接收机时间的影响,针对先压制后欺骗的典型模式,基于真实信号和欺骗信号下的钟差预测误差分布,构造了芯片级原子钟辅助的欺骗检测模型。实测数据表明,芯片级原子钟的钟差预测精度高出接收机内部时钟精度一个数量级以上。通过检测概率分析,证明了芯片级原子钟在卫星欺骗检测上的优异性能。 展开更多
关键词 芯片原子钟 卫星导航 组合导航 欺骗检测
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894nm高温垂直腔面发射激光器及其芯片级铯原子钟系统的应用 被引量:10
12
作者 张星 张奕 +6 位作者 张建伟 张建 钟础宇 黄佑文 宁永强 顾思洪 王立军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第13期129-137,共9页
报道了自行研制的894 nm高温垂直腔面发射激光器(VCSEL)以及基于此类器件的芯片级铯原子钟系统的应用实验结果.根据芯片级铯原子钟对VCSEL在特定高温环境下产生894.6 nm线偏振激光的要求,对器件的量子阱增益及腔模位置等材料结构参数进... 报道了自行研制的894 nm高温垂直腔面发射激光器(VCSEL)以及基于此类器件的芯片级铯原子钟系统的应用实验结果.根据芯片级铯原子钟对VCSEL在特定高温环境下产生894.6 nm线偏振激光的要求,对器件的量子阱增益及腔模位置等材料结构参数进行了优化,确定增益-腔模失谐量为-15 nm,使器件的基本性能在高温环境下保持稳定.研制的VCSEL器件指标为:20—90?C温度范围内阈值电流保持在0.20—0.23 m A,0.5 m A工作电流下输出功率>0.1 mW;85.6?C温度环境下激光波长894.6 nm,偏振选择比59.8:1;采用所研制的VCSEL与铯原子作用,获得了芯片级铯原子钟实施激光频率稳频的吸收谱线和实施微波频率稳频的相干布居囚禁谱线. 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 芯片原子钟 高温 相干布居囚禁
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芯片级原子钟的气密性能分析 被引量:3
13
作者 张志强 徐静 +1 位作者 李绍良 吴亚明 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期132-139,共8页
基于相干布居囚禁(CPT)原理芯片级原子钟(CSAC)原子腔体积小、采用微电子机械系统硅-玻璃键合工艺制造,其气密性是决定CSAC寿命的关键因素。本文提出了"多层缓冲原子腔"方案大幅度提高原子腔的气密性能,从而提高CPT CSAC的稳... 基于相干布居囚禁(CPT)原理芯片级原子钟(CSAC)原子腔体积小、采用微电子机械系统硅-玻璃键合工艺制造,其气密性是决定CSAC寿命的关键因素。本文提出了"多层缓冲原子腔"方案大幅度提高原子腔的气密性能,从而提高CPT CSAC的稳定性和寿命。建立了一个"毛细管等效气流模型"模拟多层缓冲原子腔的泄漏以分析原子腔的气密性能,应用Matlab仿真对比了单层密封、多层密封、添加保护腔等不同方式下气密性能的改善幅度。仿真结果验证了"多层缓冲原子腔"在提高CPT CSAC物理系统气密性能方面的可行性和有效性,为原子腔的设计提供指导。 展开更多
关键词 芯片原子钟 多层缓冲原子 气密性 毛细管等效气流模型 MATLAB仿真
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用于铯芯片级原子钟的4.596GHz射频源研制(英文) 被引量:2
14
作者 季磊 汤亮 张忠山 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期160-164,共5页
芯片级原子钟主要包括射频模块、物理封装模块以及其他的外围控制模块。射频模块的设计关系到芯片级原子钟的短期稳定度,所以射频模块在芯片级原子钟的设计时是非常重要的一部分。本文利用数字锁相环技术实现频率为4.596GHz的射频源,射... 芯片级原子钟主要包括射频模块、物理封装模块以及其他的外围控制模块。射频模块的设计关系到芯片级原子钟的短期稳定度,所以射频模块在芯片级原子钟的设计时是非常重要的一部分。本文利用数字锁相环技术实现频率为4.596GHz的射频源,射频源由三部分组成,包括小数分频频率综合器、压控振荡器和环路滤波器。数字锁相环具有相位噪声低,频谱稳定度高等特点。此外,由于小数分频频率综合器是可编程的,可以通过配置N分频器与R分频器实现输出频率的快速扫描。与此同时,根据相关公式,可以计算出三阶无源环路滤波器的近似参数值,所设计的环路滤波器具有300kHz的环路带宽以及55°的相位裕度。最后,整个基于数字锁相环技术实现的射频源通过仿真、硬件实现以及测试。测试结果显示,射频源的相位噪声为-74.02dBc/Hz@300Hz,符合芯片级原子钟射频源的设计要求。 展开更多
关键词 芯片原子钟 射频源 环路滤波器 压控振荡器 锁相环
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芯片原子钟对SoC北斗导航接收机定位精度影响 被引量:1
15
作者 顾得友 陈帅 +1 位作者 温哲君 陈德潘 《导航与控制》 2021年第1期44-50,共7页
在卫星导航领域,接收机的工作时钟普遍为石英晶振,靠石英晶振来驱动射频前端采样并完成后续的定位解算功能。但是,晶振在长期稳定性上存在很大的不足,作为系统工作时钟时会对接收机的定位精度以及整个系统的稳定性造成一定的影响。提出... 在卫星导航领域,接收机的工作时钟普遍为石英晶振,靠石英晶振来驱动射频前端采样并完成后续的定位解算功能。但是,晶振在长期稳定性上存在很大的不足,作为系统工作时钟时会对接收机的定位精度以及整个系统的稳定性造成一定的影响。提出了利用芯片级原子钟替换石英晶振作为系统时钟源进行定位解算,并利用最小二乘法对钟差信息进行估计预测,在SoC北斗导航处理板上进行实验验证。实验结果表明,该方法能够有效改善北斗导航接收机的定位精度。芯片原子钟作为系统工作时钟后,接收机位置误差分别减小了9.4%、41.8%、64.3%,速度误差分别减小了36.3%、30.7%、62.3%。 展开更多
关键词 卫星导航 石英晶振 芯片原子钟 定位精度
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GNSS驯服芯片级原子钟方法研究 被引量:2
16
作者 乔广欣 张慧君 +1 位作者 李博 李孝辉 《导航定位与授时》 CSCD 2022年第2期153-159,共7页
芯片级原子钟是一种体积小且功耗低的高精度时钟源,具有广泛的用途。针对这一特点,设计了基于GNSS的芯片级原子钟驾驭算法。以GNSS系统时作为参考,测量芯片级原子钟与GNSS系统时间的钟差,并对芯片级原子钟进行钟差建模,获取其特征参数... 芯片级原子钟是一种体积小且功耗低的高精度时钟源,具有广泛的用途。针对这一特点,设计了基于GNSS的芯片级原子钟驾驭算法。以GNSS系统时作为参考,测量芯片级原子钟与GNSS系统时间的钟差,并对芯片级原子钟进行钟差建模,获取其特征参数。通过乒乓法计算出钟驾驭调整量,对芯片级原子钟进行控制,最终将芯片级原子钟驾驭到GNSS系统时间上。经过实验验证,在驾驭时间常数为100s的情况下,芯片级原子钟与GNSS系统时间的时钟同步误差在-7.5~7.5ns之间;1h频率准确度为5.8×10-13;平均时间为10000s时的频率稳定度为3×10-13。 展开更多
关键词 GNSS可驯钟 芯片原子钟 最小二乘法 时钟同步
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芯片级原子钟的研究进展 被引量:8
17
作者 刘雅丽 李维 +1 位作者 武腾飞 李新良 《计测技术》 2021年第4期7-12,共6页
芯片级原子钟是一种小型、低功耗、高精度的时间频率设备,与微惯性测量组合和卫星导航技术相结合,形成微型导航定位授时单元,可广泛应用于国民经济、军事领域和国家安全等方面。本文介绍了国内外芯片级原子钟的研究进展及现状,阐述了芯... 芯片级原子钟是一种小型、低功耗、高精度的时间频率设备,与微惯性测量组合和卫星导航技术相结合,形成微型导航定位授时单元,可广泛应用于国民经济、军事领域和国家安全等方面。本文介绍了国内外芯片级原子钟的研究进展及现状,阐述了芯片级原子钟研制的难点及需要突破的关键技术,包括微型原子气室制备技术、微机电系统集成技术和芯片级光学频率梳技术等,最后对芯片级原子钟的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 芯片原子钟 微型原子气室 微机电系统 芯片级光学频率梳
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芯片级原子钟在Micro-PNT中的应用 被引量:2
18
作者 郭平 赵建业 《数字通信世界》 2018年第12期22-25,共4页
将CPT芯片原子钟与高精度的微惯性测量元件组合成单片授时和惯性测量单元(TIMU),再与高精度的GNSS系统相结合,可以弥补GNSS和INS单一系统的不足,组合成适用性更广、鲁棒性更强的微型PNT系统(micro-PNT)。
关键词 PNT Micro-PNT 芯片原子钟 微型定位导航授时系统
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芯片级铯原子钟MEMS气室的气密性封装 被引量:1
19
作者 王锦曦 闫树斌 +4 位作者 苏浩 杨啸宇 罗云霞 郭京 华尔天 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第4期342-349,共8页
为适应芯片级原子钟(CSAC)微型化和高精度的发展趋势,介绍了一种面向CSAC微型系统的碱金属原子气室的微电子机械系统(MEMS)工艺流程,设计了一种能够提供光反应所需的碱金属原子气氛且气密性好的气室结构,氦气真空泄漏率小于5.0×10^... 为适应芯片级原子钟(CSAC)微型化和高精度的发展趋势,介绍了一种面向CSAC微型系统的碱金属原子气室的微电子机械系统(MEMS)工艺流程,设计了一种能够提供光反应所需的碱金属原子气氛且气密性好的气室结构,氦气真空泄漏率小于5.0×10^(-9)Pa·cm^(3)/s。采用L-Edit软件设计掩膜版,通过光刻工艺在光刻胶上制作所需图形,采用感应耦合等离子体刻蚀(ICPE)法将结构转移到硅片表面,刻蚀出微通道和两个腔室,其中一个腔室为反应腔,另一个为光学腔。通过低温阳极键合工艺封装原子气室,划片后即可得到玻璃-硅-玻璃三明治结构的气室。按照GJB548A-96标准(方法1014.2密封)的相关规定对MEMS气室先后进行了氦气细检和氟油粗检,测试结果验证了工艺的适用性,成品率达到96.08%。同时,搭建实验平台,测试了吸收谱线,得到了良好的谱线图。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 芯片原子钟(CSAC) 微通道 铯(Cs)原子气室 气密性
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基于MEMS技术的原子气室封装工艺 被引量:2
20
作者 李云超 党峰 +2 位作者 辛红强 李璐 杜剑英 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第2期22-26,共5页
在基于MEMS技术原子气室的制备工艺中,难度较大的是碱金属的填充技术及阳极键合封装工艺,该工艺流程直接影响原子气室的质量。为进一步简化原子气室的制备工艺,设计了“双腔式”原子气室结构,采用先阳极键合,再化学反应的方法实现了原... 在基于MEMS技术原子气室的制备工艺中,难度较大的是碱金属的填充技术及阳极键合封装工艺,该工艺流程直接影响原子气室的质量。为进一步简化原子气室的制备工艺,设计了“双腔式”原子气室结构,采用先阳极键合,再化学反应的方法实现了原子气室批量化的封装。单个原子气室体积为6 mm×4 mm×2.5 mm,经氦气细检漏气率平均达到5×10^(-8)Pa·m^(3)·s^(-1),通过搭建实验平台,测得了不同温度下的原子气室D1线吸收谱线图,实验结果表明原子气室封装成功。 展开更多
关键词 芯片原子钟 原子气室 MEMS 阳极键合 吸收谱线
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