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热交换法中氦气循环利用的装置和方法研究
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作者 秦俊 《山西化工》 CAS 2024年第2期120-121,137,共3页
可用于LED衬底的材料主要有硅、碳化硅、蓝宝石、氮化镓等。由于硅单晶和氮化镓晶格匹配太差无法商业化应用;碳化硅单晶成本价格较高,目前市价约是蓝宝石晶体的5倍以上;氮化镓单晶制备更困难,虽然同质外延质量最好,但价格是蓝宝石晶体... 可用于LED衬底的材料主要有硅、碳化硅、蓝宝石、氮化镓等。由于硅单晶和氮化镓晶格匹配太差无法商业化应用;碳化硅单晶成本价格较高,目前市价约是蓝宝石晶体的5倍以上;氮化镓单晶制备更困难,虽然同质外延质量最好,但价格是蓝宝石晶体的数百倍。综上所述,预计未来30年内,蓝宝石单晶还是LED衬底材料的理想选择。目前,蓝宝石的生长方法主要有提拉法(Cz)、导模法(EFG)、泡生法(Ky)、热交换法(HEM)等。本文介绍了各种蓝宝石长晶方法,并对其优缺点进行了分析。通过分析热交换法在生长大尺寸无缺陷晶体具有明显优势,结合热交换法原理开发了氦气管道,为降低热交换法生长蓝宝石成本提供了一种可行装置和方法。 展开更多
关键词 蓝宝石生长 热交换法 氦气循环利用装置
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氧化锆纤维制品的制备及其在高效节能电炉中的应用研究 被引量：3
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作者 刘和义 崔宏亮 +1 位作者 朱玉龙 乔健 《真空电子技术》 2015年第4期15-20,共6页
本文采用溶胶-凝胶法制备出性能稳定、纺丝性能优良的醋酸聚锆纺丝液,经离心甩丝和热处理,得到强度高、韧性好的多晶ZrO2纤维。进一步以ZrO2纤维为原料制备出耐高温、隔热好的ZrO2纤维板,测试了纤维板的隔热性能和耐高温性能,并成功将Z... 本文采用溶胶-凝胶法制备出性能稳定、纺丝性能优良的醋酸聚锆纺丝液,经离心甩丝和热处理,得到强度高、韧性好的多晶ZrO2纤维。进一步以ZrO2纤维为原料制备出耐高温、隔热好的ZrO2纤维板,测试了纤维板的隔热性能和耐高温性能,并成功将ZrO2纤维板应用于蓝宝石单晶生长炉和陶瓷烧结用高温电炉,取得了极好的节能效果(节能分别为40%和88%左右)。 展开更多
关键词 ZrO2纤维 ZrO2纤维板 蓝宝石晶体生长炉 高温电炉 节能
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