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题名12dB微波薄膜衰减器的设计与制备
被引量：5
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作者
李凌
王磊
彭斌
张万里
蒋洪川
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机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期64-66,共3页
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基金
教育部支撑技术资助项目(No.625010305)
四川省支撑计划资助项目(No.2010GZ0156)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.ZYGX2010X007)
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文摘
基于T型衰减网络结构设计并仿真了工作频率为DC^3GHz的微波薄膜衰减器,并采用磁控溅射法在BeO基片上制备了TaN微波薄膜衰减器。仿真结果表明,所设计的微波薄膜衰减器在DC^3GHz工作频率内,衰减量为12 dB,输入端口电压驻波比小于1.1。测试结果表明,所制备的微波薄膜衰减器在DC^3GHz工作频率内,衰减量为(12.0±0.5)dB。
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关键词
微波薄膜衰减器
TaN薄膜
T型衰减网络
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Keywords
microwave thin-film attenuator
TaN thin film
T-attenuation network
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分类号
TN61
[电子电信—电路与系统]
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题名TT Electronics薄膜衰减器
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出处
《电子产品世界》
2004年第09B期39-39,共1页
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关键词
TT
Electronics公司
薄膜衰减器
高频性能
PFC
A1206
频谱范围
技术规格
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分类号
TN715
[电子电信—电路与系统]
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题名变角度薄膜衰减器的应用研究
被引量：5
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作者
黄杰
蔡希洁
林尊琪
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机构
高功率激光物理国家实验室
中国科学院上海光学精密机械研究所
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第8期1008-1011,共4页
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基金
国家科委 863高科技资助课题
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文摘
对可应用于神光Ⅱ精密化项目的变角度薄膜衰减器进行了理论分析、数值计算 ,在小激光装置上进行了闭环自动衰减控制实验。模拟实验证实了该衰减器具有精密连续可调、大口径、高能量负载、高光束质量的特点 。
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关键词
变角度薄膜衰减器
误减器
闭环自动控制
精密能量控制
惯性约束核聚变
“神光Ⅱ”
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Keywords
Attenuation
Numerical analysis
Optical films
Power control
Simulation
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分类号
TL632
[核科学技术—核技术及应用]
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题名电气和电子工程用材料科学
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出处
《中国无线电电子学文摘》
1996年第2期2-5,共4页
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关键词
电子束蒸发沉积
材料科学
单分子层膜
复合膜
复合薄膜
复合靶
电子科技大学学报
直流共溅射
薄膜衰减器
化学吸附
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分类号
TN
[电子电信]
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