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褶皱衍射光栅提升绿光量子点发光二极管的光耦合输出效率
1
作者 戚辉 陈铃 +5 位作者 郭鹏 袁佩玲 臧帅普 丁星星 张莹 曾灏宪 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第10期1572-1577,共6页
为了解决绿光量子点发光二极管(QLED)基底模式陷入光问题,首先通过在柔性聚二甲基硅氧烷基底上蒸镀铝层,自发形成了准周期褶皱结构。这种简单、有效的方法可以制作大面积的褶皱结构,所制作的褶皱结构具有随机取向和宽周期分布的特点。然... 为了解决绿光量子点发光二极管(QLED)基底模式陷入光问题,首先通过在柔性聚二甲基硅氧烷基底上蒸镀铝层,自发形成了准周期褶皱结构。这种简单、有效的方法可以制作大面积的褶皱结构,所制作的褶皱结构具有随机取向和宽周期分布的特点。然后,将褶皱结构作为外结构引入到QLED中,构筑了高效的绿光QLED。与参考QLED相比,褶皱QLED的外量子效率(EQE)从12.09%增加到16.06%,提升了32.8%;最大亮度从184600cd·m^(-2)增加到226500cd·m^(-2),在不改变发光峰位的情况下实现了基底模式陷入光的高效提取,为提升绿光QLED性能提供了一种新的选择。 展开更多
关键词 量子点发光二极管(QLED) 褶皱结构 衍射光栅 柔性材料 光耦合输出效率 基底模式陷入光
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基于衍射光栅的LED光源光谱检测系统设计
2
作者 张熙宇 许涌 +2 位作者 夏金池 陈振宇 刘琼 《电子制作》 2023年第23期46-49,共4页
针对当前LED光源的光谱检测设备的便携化、低成本化的发展现状,该文设计了一款以树莓派4b作为主控的简易LED光源光谱检测系统。利用透射衍射光栅、狭缝制成分光附件,将光源辐射的可见光进行色散;由CMOS摄像头获取衍射光谱图,再通过基于P... 针对当前LED光源的光谱检测设备的便携化、低成本化的发展现状,该文设计了一款以树莓派4b作为主控的简易LED光源光谱检测系统。利用透射衍射光栅、狭缝制成分光附件,将光源辐射的可见光进行色散;由CMOS摄像头获取衍射光谱图,再通过基于Python语言的数字图像处理技术,获取光源的可见光波段的光谱分布曲线,可应用于日常LED光源光谱的简单检测、实验教学等场景。 展开更多
关键词 光谱仪 衍射光栅 PYTHON LED
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蚀刻衍射光栅波分复用器件的设计与模拟 被引量：7
3
作者 盛钟延 何赛灵 +1 位作者 何建军 方蕴 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期567-571,共5页
近年来光通信飞速发展 ,波分复用技术 (WDM)是满足要求的有效手段 .密集波分复用技术已经得到成功商用 ,其扩展信息传输容量的能力也在不断增强 .作为波分复用中最关键的器件 ,蚀刻衍射光栅 (EDG)是平面波导密集波分复用器件中很有发展... 近年来光通信飞速发展 ,波分复用技术 (WDM)是满足要求的有效手段 .密集波分复用技术已经得到成功商用 ,其扩展信息传输容量的能力也在不断增强 .作为波分复用中最关键的器件 ,蚀刻衍射光栅 (EDG)是平面波导密集波分复用器件中很有发展潜力的一种 .本文分析了 EDG器件的解复用原理 ,参量设计 ,工艺过程 .文章最后 ,建立了一个光栅干涉的简单模型 ,对设计好的器件参量进行模场形状、谱响应、色散等光栅性能的模拟 ,得到基本的器件解复用特性 。 展开更多
关键词 平面波导 密集波分复用 蚀刻衍射光栅 光通信 蚀刻衍射光栅波分复用器件
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用拼接法获取大面积衍射光栅 被引量：23
4
作者 赵博 郝德阜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第5期503-507,共5页
近年来大面积衍射光栅已成为许多大型高技术工程项目的关键元件 ,它的获取方法也一直是光栅界探求的目标 ,本文简要回顾衍射光栅研制技术的发展历史 ,介绍了衍射光栅的发展趋势以及国内外研制大面积衍射光栅的技术现状 ,说明了拼接光栅... 近年来大面积衍射光栅已成为许多大型高技术工程项目的关键元件 ,它的获取方法也一直是光栅界探求的目标 ,本文简要回顾衍射光栅研制技术的发展历史 ,介绍了衍射光栅的发展趋势以及国内外研制大面积衍射光栅的技术现状 ,说明了拼接光栅的原理、方法以及利用这种方法来获取大面积衍射光栅的诸多优点。目前拼接光栅中各小光栅的衍射波阵面的位相还没有做到完全一致 ,要做到一致还需做很多工作 ,但用拼接手段来获取大面积光栅已是一种非常有效的方法。 展开更多
关键词 衍射光栅 拼接光栅 大面积衍射光栅
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衍射光栅机械刻划成槽的预控试验 被引量：14
5
作者 张宝庆 史国权 +2 位作者 石广丰 蔡洪彬 张善文 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1666-1675,共10页
由于目前机械刻划衍射光栅加工仍依赖操作者经验,故存在成槽质量差、无法预控等问题。本文结合铝薄膜蒸镀工艺现状,采用X射线衍射法(XRD)、扫描电子显微镜法(SEM)及纳米压痕实验揭示不同薄膜样本的微观结构与力学属性,提出了制作衍射光... 由于目前机械刻划衍射光栅加工仍依赖操作者经验,故存在成槽质量差、无法预控等问题。本文结合铝薄膜蒸镀工艺现状,采用X射线衍射法(XRD)、扫描电子显微镜法(SEM)及纳米压痕实验揭示不同薄膜样本的微观结构与力学属性,提出了制作衍射光栅的"薄膜分类试刻法"。研究结果表明,光栅刻划过程可近似等效为楔体下压过程,对"低弹性模量类"薄膜,可采用滑移线场进行解析求解并一次试刻成槽;对"弹塑性类"薄膜,可采用有限元模拟实验进行成槽预控。该方法可预先对薄膜甄别分类,用不同的计算方法确定不同种类薄膜的工装参数,进而刻划出近乎完美的槽形;同时减少了试验刻划耗时与浪费,提高了成槽质量与刻划效率;为刻划更加精密的光栅奠定了基础。 展开更多
关键词 衍射光栅 机械刻划 成槽工艺 预控技术
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衍射光栅刻划机的闭环控制系统 被引量：14
6
作者 蔡锦达 王英 +2 位作者 颜廷萌 秦绪祥 王亮 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2416-2423,共8页
以S3C2440A为控制核心,设计了衍射光栅刻划机的高精度运动控制系统,实现了现场显示、实时控制等功能。用S3C2440A微控制器控制伺服电机和步进电机完成光栅刻划的分度运动和刻划运动,通过SiGNUMTM RELM直线光栅尺反馈和PD加前馈控制算法... 以S3C2440A为控制核心,设计了衍射光栅刻划机的高精度运动控制系统,实现了现场显示、实时控制等功能。用S3C2440A微控制器控制伺服电机和步进电机完成光栅刻划的分度运动和刻划运动,通过SiGNUMTM RELM直线光栅尺反馈和PD加前馈控制算法补偿由于惯性等原因造成的分度误差,并用MATLAB对使用PD加前馈控制算法的分度运动进行仿真。采用RON225增量式角度编码器反馈以补偿执行刻划运动的步进电机因失步造成的误差,通过分析和处理实验数据获得分度运动最佳速度和伺服电机在此分度运动速度下停止时的过冲距离。最后,对可能产生控制误差的原因进行了初步分析,并提出了需要进一步改进和完善之处。 展开更多
关键词 衍射光栅 刻划机 运动控制 S3C2440A 刻划光栅 PD加前馈控制
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液晶衍射光栅的理论分析 被引量：8
7
作者 王丽 张成 +2 位作者 幺周石 黄子强 卢亚雄 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期113-118,共6页
在液晶指向矢计算的基础上,得到了向列相液晶在电场下折射率分布和相位延迟。并在矩形光栅和正弦相位光栅的基础上,分析了液晶衍射光栅对入射光一级衍射情况及其衍射效率,得到了15°左右的衍射角,且衍射效率达到40%。
关键词 液晶衍射光栅 折射率 相位差 衍射效率 衍射角
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高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展 被引量：18
8
作者 时轮 郝德阜 齐向东 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z1期438-439,共2页
采用高精度的衍射光栅刻划机刻划依然是制作高质量母光栅最重要的手段 ,因此 ,跟踪世界光栅刻划机的最新技术进展具有重要的现实意义。文中主要对工件台的双重定位技术和分度运动中的间歇式与连续式的技术融合进行了阐述 。
关键词 衍射光栅刻划机 双重定位 间歇式 连续式
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透射衍射光栅内全反射级次 被引量：6
9
作者 邬融 田玉婷 +3 位作者 赵东峰 李大为 华能 邵平 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期98-106,共9页
当前高功率激光装置系统中,国内使用透射式衍射光栅进行光束采样,国外甚至使用光栅聚焦并同时结合谐波分离和采样功能.高功率激光辐照下,除了0级透射打靶光以及目标取样光外,其他级次衍射光的影响也不可忽视,可能造成诸如鬼像聚焦破坏... 当前高功率激光装置系统中,国内使用透射式衍射光栅进行光束采样,国外甚至使用光栅聚焦并同时结合谐波分离和采样功能.高功率激光辐照下,除了0级透射打靶光以及目标取样光外,其他级次衍射光的影响也不可忽视,可能造成诸如鬼像聚焦破坏、时间脉宽测量不稳定、近远场测量噪声等问题.尤其是透射衍射光栅内部全反射级次会导致光栅出射一系列规律的衍射花样,造成上述干扰和危害.首先理论上针对透射式光栅(包括取样光栅和聚焦光栅)进行了相应的计算和分析,然后从实验上观察并测量了取样光栅内部全反射级次的现象,并且结合镀减反膜前后的衍射现象进行了讨论,最后分析并给出了如何消除或规避全反射级次和其他冗余级次影响的方法. 展开更多
关键词 衍射光栅 全内反射 光束取样光栅 鬼像
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变栅距衍射光栅的原理及应用 被引量：35
10
作者 时轮 郝德阜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第3期284-287,共4页
变栅距衍射光栅 (VLS)在像差校正等方面具有突出优点 ,采用不同的栅距变化规律的变栅距光栅具有不同的光谱特性 ,因而在众多的高技术领域获得了广泛应用。本文从VLS的像差校正原理出发 ,较全面地阐述了VLS在真空紫外和软X射线、高分辨... 变栅距衍射光栅 (VLS)在像差校正等方面具有突出优点 ,采用不同的栅距变化规律的变栅距光栅具有不同的光谱特性 ,因而在众多的高技术领域获得了广泛应用。本文从VLS的像差校正原理出发 ,较全面地阐述了VLS在真空紫外和软X射线、高分辨率光电探测器、表面干涉计量以及光纤通讯等领域的应用 ,并针对其技术特点指出了它的发展趋势。 展开更多
关键词 变栅距 衍射光栅 像差校正 VLS
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以正交衍射光栅为计量标准器的二维微位移工作台 被引量：13
11
作者 王选择 郭军 谢铁邦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第5期492-496,共5页
提出以正交衍射光栅作为X Y二维位移工作台计量标准器的思想,阐述了正交衍射光栅作为大量程二维位置检测传感器的工作原理及光路布置方法,推导了光栅运动位移与所产生干涉条纹的相移之间的关系。介绍了工作台粗、细两级定位系统的组成结... 提出以正交衍射光栅作为X Y二维位移工作台计量标准器的思想,阐述了正交衍射光栅作为大量程二维位置检测传感器的工作原理及光路布置方法,推导了光栅运动位移与所产生干涉条纹的相移之间的关系。介绍了工作台粗、细两级定位系统的组成结构:粗定位部分由磁悬浮平面直线电机驱动,细定位部分采用弹性铰支结构并由压电陶瓷驱动;通过分别对电机和压电陶瓷驱动范围与定位精度的分析,提出对工作台精密快速定位的方法。设计了一套对电机与压电陶瓷进行驱动控制和光栅信号进行处理的电路,并结合实际正交衍射光栅的刻线精度,计算了工作台位置检测的有效分辨率。最后,分析了当前几种典型压电陶瓷驱动电路的特点,提出选用直流放大电源的方式作为本系统高压驱动方法,并给出了高压驱动电路图。 展开更多
关键词 二维微位移工作台 正交衍射光栅 四象限探测器 压电陶瓷 计量标准器
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标量衍射理论模拟蚀刻衍射光栅 被引量：9
12
作者 盛钟延 何赛灵 何建军 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2001年第6期29-32,共4页
讨论用于光通信的集成波分复用/解复用器件蚀刻衍射光栅(EDG),它是波分复用光通信的核心器件的一种。EDG基于平面波导的Rowland圆结构,光栅面是平面。光栅的每一个齿面都垂直于齿面中心和输入波导端点的连线。基于标量散射场满足的Hemho... 讨论用于光通信的集成波分复用/解复用器件蚀刻衍射光栅(EDG),它是波分复用光通信的核心器件的一种。EDG基于平面波导的Rowland圆结构,光栅面是平面。光栅的每一个齿面都垂直于齿面中心和输入波导端点的连线。基于标量散射场满足的Hemholtz方程,推导出Rowland圆上场分布的精确表达式。利用这个模型对设计好的器件参数进行了模场形状、谱响应、色散等复用性能的模拟,并对插入损耗和串扰进行了简要分析。 展开更多
关键词 蚀刻衍射光栅 波分复用 平面波导 模拟 标量衍射理论
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衍射光栅机械刻划工艺理论分析与实验研究 被引量：4
13
作者 张宝庆 史国权 +1 位作者 石广丰 蔡洪彬 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期1-6,共6页
目前,"试刻划"加工光栅的工艺模式耗时长、效率低,且机械刻划光栅的槽形无法准确预控。通过纳米压痕实验对光栅刻划铝薄膜的微观结构及力学性能进行了表征,采用DEFORM有限元分析软件并结合正交试验对成槽过程进行了研究,通过... 目前,"试刻划"加工光栅的工艺模式耗时长、效率低,且机械刻划光栅的槽形无法准确预控。通过纳米压痕实验对光栅刻划铝薄膜的微观结构及力学性能进行了表征,采用DEFORM有限元分析软件并结合正交试验对成槽过程进行了研究,通过对数据进行极差分析和单因素影响规律实验分析,建立了槽底角数学工艺模型。研究结果表明,光栅刻划过程可转化为楔体下压过程,基于有限元模拟实验的槽底角数学工艺模型可用。 展开更多
关键词 衍射光栅 有限元 正交试验 模型 工艺 实验
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利用泽尼克系数求取衍射光栅的分辨本领 被引量：4
14
作者 于海利 齐向东 +1 位作者 巴音贺希格 唐玉国 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期264-267,共4页
光栅分辨本领检测设备的焦距通常达几米甚至十几米,采用直接测量法难度大、成本高,利用衍射波前间接求取光栅分辨本领是解决该问题的有效途径之一。在光栅光谱成像傅里叶变换理论基础上,建立了利用泽尼克多项式拟合系数求解衍射光栅分... 光栅分辨本领检测设备的焦距通常达几米甚至十几米,采用直接测量法难度大、成本高,利用衍射波前间接求取光栅分辨本领是解决该问题的有效途径之一。在光栅光谱成像傅里叶变换理论基础上,建立了利用泽尼克多项式拟合系数求解衍射光栅分辨本领的归一化模型,揭示了光栅衍射波前与分辨本领的求取关系,提出了依据泽尼克多项式拟合系数求取衍射光栅分辨本领的新方法。根据该方法实测了一块衍射光栅的分辨本领,并与直接测量法进行对比测试。结果表明该方法误差小于4.42%,降低了分辨本领的测试难度,是衍射光栅分辨本领求取的有效手段,应用于ZYGO干涉仪等仪器中,通过简单的波前测试即可得到定量的衍射光栅分辨本领指标。 展开更多
关键词 衍射光栅 分辨本领 衍射波前 泽尼克多项式
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衍射光栅外差激光干涉法角振动校准技术研究 被引量：5
15
作者 于梅 刘爱东 +3 位作者 何闻 杨丽峰 左爱斌 胡红波 《计量学报》 CSCD 北大核心 2015年第6期561-564,共4页
开展了角加速度校准方法的研究和基准装置的研制。介绍研制的稳态正弦角振动激励系统和衍射光栅马赫-泽德干涉仪，以及结合采用正弦逼近法外差测量技术。角加速度国家计量基准装置在角振动频率0．05Hz～1．2kHz、角位移大于300。和角加... 开展了角加速度校准方法的研究和基准装置的研制。介绍研制的稳态正弦角振动激励系统和衍射光栅马赫-泽德干涉仪，以及结合采用正弦逼近法外差测量技术。角加速度国家计量基准装置在角振动频率0．05Hz～1．2kHz、角位移大于300。和角加速度大于2000rad／s^2测量范围内，可实现角加速度幅值和相位的精确测量。实验数据和测量不确定度分析结果表明，装置校准高精度角加速度传感器的测量扩展不确定度优于1％（k=2）。 展开更多
关键词 计量学 正弦角振动 角振动激励器 角加速度计量基准 衍射光栅干涉仪 测量溯源
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时域有限差分法分析蚀刻衍射光栅的后向衍射效率(英文) 被引量：3
16
作者 文泓桥 吴良 +2 位作者 宋军 盛钟延 何赛灵 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1377-1381,共5页
采用时域有限差分法 (FDTD)结合理想匹配层 (PML)边界条件及周期性边界条件对两种结构槽面的后向衍射效率进行了分析 ,在P偏振和S偏振两种情况下 ,均得到了比传统差分方法和射线近似方法更精确的解 数值计算结果表明 :全内反射 (TIR)... 采用时域有限差分法 (FDTD)结合理想匹配层 (PML)边界条件及周期性边界条件对两种结构槽面的后向衍射效率进行了分析 ,在P偏振和S偏振两种情况下 ,均得到了比传统差分方法和射线近似方法更精确的解 数值计算结果表明 :全内反射 (TIR)结构在高折射率材料 (如InP)的蚀刻衍射光栅 (EDG)中很有效 ,而在低折射率材料 (如SiO2 ) 展开更多
关键词 后向衍射效率 时域有限差分法 FDTD 蚀刻衍射光栅 EDG 理想匹配层 波分复用 WDM 偏振 光通信
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五维自由度衍射光栅精密测量系统（英文） 被引量：3
17
作者 吕强 王玮 +5 位作者 刘兆武 宋莹 姜珊 刘林 巴音贺希格 李文昊 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期189-202,共14页
为了在保证结构简单的前提下,实现衍射光栅精密测量系统的大量程、高精度、多维度测量,设计了能够同时测量位移和角度的五维自由度衍射光栅精密测量系统。基于利特罗对称式光路结构,采用高刻线密度的一维衍射光栅以及外差干涉原理实现... 为了在保证结构简单的前提下,实现衍射光栅精密测量系统的大量程、高精度、多维度测量,设计了能够同时测量位移和角度的五维自由度衍射光栅精密测量系统。基于利特罗对称式光路结构,采用高刻线密度的一维衍射光栅以及外差干涉原理实现了沿光栅矢量方向和光栅法线方向的二维位移测量;通过引入高精度的位置灵敏探测器,结合±1级衍射光与光栅之间的角度变化关系实现了对光栅俯仰、偏摆和滚转三个维度的角度误差测量。实验结果表明:该衍射光栅精密测量系统能够实现分辨力优于4 nm的二维位移测量以及分辨力优于1″的三维角度测量,其位移测量范围只受限于光栅的尺寸,量程大大增加。该衍射光栅精密测量系统在精密测量领域有重要意义。 展开更多
关键词 衍射光栅 精密测量 五维自由度
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一维衍射光栅和一维光子晶体组成的硅薄膜太阳能电池背反射器 被引量：11
18
作者 沈宏君 卢辉东 程学珍 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期633-639,共7页
设计了一种由一维衍射光栅和一维光子晶体组成的用于薄膜硅太阳能电池的背反射器,采用勒让德多项式展开法对一维光子晶体和三角形光栅结构进行了参数优化,并对400～1 200 nm入射电磁波的反射率进行了模拟计算。结果表明:在高反射率的一... 设计了一种由一维衍射光栅和一维光子晶体组成的用于薄膜硅太阳能电池的背反射器,采用勒让德多项式展开法对一维光子晶体和三角形光栅结构进行了参数优化,并对400～1 200 nm入射电磁波的反射率进行了模拟计算。结果表明:在高反射率的一维光子晶体作用下,利用衍射光栅可以得到大倾角的反射光,有效地延长光子在电池吸收体的传播路径,使其得到充分吸收。衍射光栅加光子晶体结构的背反射器可以大幅提高电池的捕光能力,提高太阳能电池的转化效率。 展开更多
关键词 光子晶体 衍射光栅 硅薄膜太阳能电池 反射率
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用于大尺寸衍射光栅的光刻胶残余物的灰化系统研制 被引量：4
19
作者 洪义麟 刘良保 +2 位作者 周小为 徐向东 付绍军 《真空》 CAS 北大核心 2008年第3期25-27,共3页
在制作大尺寸厚基底衍射光学元件时,经常需要清除残余底胶,为此我们研制了大尺寸衍射光栅灰化装置.该装置可以在450 mm×450 mm(Ф650 mm)范围内产生均匀性良好的等离子体,通过气体辉光放电来达到去残胶的目的,辉光放电速率可通过... 在制作大尺寸厚基底衍射光学元件时,经常需要清除残余底胶,为此我们研制了大尺寸衍射光栅灰化装置.该装置可以在450 mm×450 mm(Ф650 mm)范围内产生均匀性良好的等离子体,通过气体辉光放电来达到去残胶的目的,辉光放电速率可通过调节工作气体的浓度来控制.已用该装置灰化处理了200 mm×400 mm×50mm的脉宽压缩光栅。 展开更多
关键词 大尺寸 衍射光栅 辉光放电 灰化
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光学波段量子点阵衍射光栅的衍射特性 被引量：2
20
作者 王传珂 况龙钰 +6 位作者 王哲斌 曹磊峰 刘慎业 丁永坤 王德强 朱效立 谢长青 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期607-611,共5页
概述了量子点阵衍射光栅的原理及制作方法,并设计标定实验,研究了不同角度及不同波长入射情况下量子点阵光栅的衍射特性。研究结果表明:量子点阵光栅不存在高级衍射,只保留了±1级和0级衍射,具有理想的单级衍射模式。光学波段量子... 概述了量子点阵衍射光栅的原理及制作方法,并设计标定实验,研究了不同角度及不同波长入射情况下量子点阵光栅的衍射特性。研究结果表明:量子点阵光栅不存在高级衍射,只保留了±1级和0级衍射,具有理想的单级衍射模式。光学波段量子点阵衍射光栅的成功研制为研制紫外、X光波段具有单级衍射特征的光栅提供了契机。 展开更多
关键词 衍射光栅 量子点阵光栅 衍射特性 标定
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