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Finder-1000 X射线能谱仪在半导体陶瓷电容器制程中的应用
1
作者
李静
王振平
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期528-529,共2页
关键词
Finder-1000X射线能谱仪
EDX
半导体
陶
瓷
电容器
表面层型半导体瓷片
表面
污染黑斑
表面
疵病
下载PDF
职称材料
题名
Finder-1000 X射线能谱仪在半导体陶瓷电容器制程中的应用
1
作者
李静
王振平
机构
广东南方宏明电子科技股份有限公司
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期528-529,共2页
关键词
Finder-1000X射线能谱仪
EDX
半导体
陶
瓷
电容器
表面层型半导体瓷片
表面
污染黑斑
表面
疵病
分类号
TM53 [电气工程—电器]
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作者
出处
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1
Finder-1000 X射线能谱仪在半导体陶瓷电容器制程中的应用
李静
王振平
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003
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