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机械加工表面微观形貌激光测量分析仪的设计 被引量:1
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作者 朱静 陈良海 +1 位作者 伏乃林 王林高 《南通工学院学报(自然科学版)》 2002年第3期74-76,共3页
提出了用于测量加工表面微观轮廓高度的高频亮度调制、同源频率合成、软件鉴相的激光相位微距测量方法 ,提出了开放式PC系统结构。介绍了机械加工表面微观形貌激光测量评价仪的原理、测量电路设计与数字信号处理软件设计。该方法具有分... 提出了用于测量加工表面微观轮廓高度的高频亮度调制、同源频率合成、软件鉴相的激光相位微距测量方法 ,提出了开放式PC系统结构。介绍了机械加工表面微观形貌激光测量评价仪的原理、测量电路设计与数字信号处理软件设计。该方法具有分辨率高、动态响应快、评价指标参数多样且可扩充等特点。 展开更多
关键词 机械加工表面微观形貌激光测量分析仪 设计 高频亮度调制 激光相应测距 数字信号处理 频率合成
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基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪 被引量:19
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作者 何永辉 蒋剑峰 赵万生 《光学技术》 CAS CSCD 2001年第2期150-152,155,共4页
在强调表面三维形貌测量重要性的基础上 ,介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及三维轮廓仪测量系统的构成。通过给出的几个测量实例 ,反映了该三维轮廓仪的主要特点 ,适合于大范围、高精度、阶梯面的测量。最后分析了... 在强调表面三维形貌测量重要性的基础上 ,介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及三维轮廓仪测量系统的构成。通过给出的几个测量实例 ,反映了该三维轮廓仪的主要特点 ,适合于大范围、高精度、阶梯面的测量。最后分析了影响其测量精度的主要因素。 展开更多
关键词 表面三维微观形貌测量 白光干涉 扫描白光干涉法 三维轮廓仪
原文传递
非光学量测试与设备
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《中国光学》 EI CAS 2002年第2期92-94,共3页
TB92 2002021470基于投影栅相位法的透明体表面微观形貌测量=Mea-surement of transparence surface microtopographybased on phase - approaching of projected grating[刊,中]/司书春,王蕴珊,周灿林(山东工业大学数理系.山东,济南(25... TB92 2002021470基于投影栅相位法的透明体表面微观形貌测量=Mea-surement of transparence surface microtopographybased on phase - approaching of projected grating[刊,中]/司书春,王蕴珊,周灿林(山东工业大学数理系.山东,济南(250061))。 展开更多
关键词 山东工业大学 测量方法 投影栅相位法 光学技术 线结构激光 机器视觉 测量系统 表面微观形貌测量 华中科技大学 透明体
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