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机器人磨抛复杂曲面加工轨迹对表面质量的影响研究
1
作者 田凤杰 张彦智 +1 位作者 朱光 齐子建 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第5期60-65,共6页
为了探究不同加工轨迹及其排布对工件磨抛加工表面质量的影响,本文进行了机器人磨抛轨迹对工件表面质量影响规律的研究。基于Preston去除方程和Hertz接触理论建立了砂带磨抛加工材料去除深度模型,分析了表面残留纹理的生成机理。以曲面... 为了探究不同加工轨迹及其排布对工件磨抛加工表面质量的影响,本文进行了机器人磨抛轨迹对工件表面质量影响规律的研究。基于Preston去除方程和Hertz接触理论建立了砂带磨抛加工材料去除深度模型,分析了表面残留纹理的生成机理。以曲面航空发动机叶片为试验样件,利用自行搭建的机器人磨抛系统,分别使用等距轨迹、摆线轨迹进行加工试验,分析材料去除效果及表面纹理情况。试验结果表明,采用传统直线加工的等距轨迹于搭接处产生条带状纹理;摆线因其多方向性的加工动作,均化了表面纹理,提高了加工表面一致性。 展开更多
关键词 机器人磨抛 复杂曲面 加工轨迹 摆线轨迹 表面质量
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钴铬钼合金超声振动辅助抛光力与表面质量的探究
2
作者 于保军 吴爽 +2 位作者 辛成磊 贾茹 谷岩 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2024年第3期497-503,共7页
针对钴铬钼合金的难加工性,采用超声振动辅助抛光的加工方法改善其加工效果。根据超声振动装置的运动特性,分析了单磨粒运动速度、单磨粒与工件接触轨迹坐标和单磨粒受力,建立了抛光系统的抛光力预测模型,讨论了主轴转速、进给速度和抛... 针对钴铬钼合金的难加工性,采用超声振动辅助抛光的加工方法改善其加工效果。根据超声振动装置的运动特性,分析了单磨粒运动速度、单磨粒与工件接触轨迹坐标和单磨粒受力,建立了抛光系统的抛光力预测模型,讨论了主轴转速、进给速度和抛光深度对钴铬钼合金表面质量的影响并用实验验证了预测模型的合理性。结果表明:抛光力预测模型和实验的变化趋势一致,抛光力随着主轴转速和抛光深度的增大而增大,随着进给速度的增大而减小。本研究将为超声振动辅助抛光工艺提供理论基础。 展开更多
关键词 超声振动辅助抛光 钴铬钼合金 抛光力 表面质量
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微生物去除加工晶体铜的表面质量实验研究
3
作者 徐洪烟 黄辉 林炜民 《工具技术》 北大核心 2024年第3期49-54,共6页
通过跟踪微生物去除加工两类不同晶粒尺寸纯铜的表面粗糙度和表面形貌的变化规律,研究了微生物去除加工表面的形成机理。结果表明,纯铜加工表面质量会随着微生物去除加工时间的增加而变差,晶粒粒度会对其微生物加工表面质量产生影响;不... 通过跟踪微生物去除加工两类不同晶粒尺寸纯铜的表面粗糙度和表面形貌的变化规律,研究了微生物去除加工表面的形成机理。结果表明,纯铜加工表面质量会随着微生物去除加工时间的增加而变差,晶粒粒度会对其微生物加工表面质量产生影响;不同的工件原始表面质量对微生物去除加工初始阶段的表面质量有明显影响;前期机械加工所形成的划痕会随着微生物去除加工而逐渐变小,当机械作用表面被去除后,影响微生物加工表面质量的主要因素是工件的晶界及亚晶界。 展开更多
关键词 微生物去除加工 晶体铜 表面质量 晶粒粒度
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碳化硅单晶加工对晶片表面质量的影响
4
作者 张序清 刘晓双 +6 位作者 张玺 朱如忠 高煜 吴琛 王蓉 杨德仁 皮孝东 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期9-13,共5页
碳化硅(4H-SiC)晶片加工是制备高品质衬底晶圆的关键工艺,衬底晶圆的表面质量直接影响外延薄膜以及后续器件的性能。本研究通过对4H-SiC晶片经线切割、磨削、研磨、抛光等不同加工工序后对应的表面形貌、粗糙度、机械性质和晶体质量的分... 碳化硅(4H-SiC)晶片加工是制备高品质衬底晶圆的关键工艺,衬底晶圆的表面质量直接影响外延薄膜以及后续器件的性能。本研究通过对4H-SiC晶片经线切割、磨削、研磨、抛光等不同加工工序后对应的表面形貌、粗糙度、机械性质和晶体质量的分析,发现晶片加工通过逐步去除线切割引入的表面损伤层,提高了晶片表面质量。4H-SiC晶片C面和Si面机械性质存在各向异性,C面材料韧性相对较差,加工过程中发生脆性断裂的程度更大,导致C面材料去除速率较快,表面形貌和粗糙度相对较差。 展开更多
关键词 碳化硅 晶片加工 表面质量 各向异性
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工艺参数对7050铝合金铣削表面质量的影响
5
作者 王昱晨 何利华 +2 位作者 罗冬妮 潘建峰 倪敬 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2024年第4期660-666,共7页
为了探究7050铝合金铣削表面质量的关键影响因素,寻找最优工艺参数,对7050铝合金在浇注冷却条件下进行了正交试验,建立了表面粗糙度与切削深度、主轴转速之间的回归模型,分析了加工过程中刀具-工件相对接触状态不同时所产生的刀痕差异... 为了探究7050铝合金铣削表面质量的关键影响因素,寻找最优工艺参数,对7050铝合金在浇注冷却条件下进行了正交试验,建立了表面粗糙度与切削深度、主轴转速之间的回归模型,分析了加工过程中刀具-工件相对接触状态不同时所产生的刀痕差异。结果表明:切削深度对表面粗糙度的影响最大,主轴转速其次,进给量的影响最小;刀痕的表现形式与刀具-工件相对接触状态存在直接联系,刀具切入工件位置主要受切削深度的影响产生单向圆弧状刀痕,刀具完全进入铣削工件后则会形成交错的圆弧状刀痕,在刀具离开工件位置主要受进给量影响产生较浅刀痕。 展开更多
关键词 工艺参数 7050铝合金 铣削表面质量 刀痕
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考虑螺杆转子表面质量与硬度的铣削参数优化
6
作者 林泽利 孙兴伟 +2 位作者 杨赫然 刘寅 赵泓荀 《制造技术与机床》 北大核心 2024年第4期107-112,共6页
为提高多头螺杆转子的加工质量,文章探究了外包络铣削工艺参数对表面粗糙度和硬度的影响,并对工艺参数进行优化。以主轴转速、间歇进给量及加工倍率作为因素进行正交试验,试验结果表明:加工倍率是影响表面粗糙度值最主要的因素,间歇进... 为提高多头螺杆转子的加工质量,文章探究了外包络铣削工艺参数对表面粗糙度和硬度的影响,并对工艺参数进行优化。以主轴转速、间歇进给量及加工倍率作为因素进行正交试验,试验结果表明:加工倍率是影响表面粗糙度值最主要的因素,间歇进给量是影响显微硬度值最主要的因素。采用多目标优化算法对工艺参数进行优化,得到最优工艺参数组合如下:主轴转速为191 r/min,间歇进给量为3.1 mm,加工倍率为15%。用该组参数加工可使表面粗糙度值降低17.15%,显微硬度值提高7.60%。文章提出的方法可为工艺参数的优化提供参考。 展开更多
关键词 螺杆转子 外包络铣削 表面质量 显微硬度 参数优化
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超声纵扭辅助铣削TiAl合金表面质量及刀具磨损研究
7
作者 宋阳轩 汪振华 黄雷 《制造技术与机床》 北大核心 2024年第2期31-37,共7页
TiAl合金属于典型难加工材料,采用传统方式加工难以获得良好的表面质量,因此文章提出采用超声纵扭辅助铣削TiAl合金。试验采用单因素对照方法,研究了超声纵扭铣削(ULTM)与普通铣削(CM)加工TiAl合金时工艺参数对表面粗糙度、表面形貌及... TiAl合金属于典型难加工材料,采用传统方式加工难以获得良好的表面质量,因此文章提出采用超声纵扭辅助铣削TiAl合金。试验采用单因素对照方法,研究了超声纵扭铣削(ULTM)与普通铣削(CM)加工TiAl合金时工艺参数对表面粗糙度、表面形貌及显微硬度的影响规律。研究结果表明,ULTM铣削可以改善TiAl合金的表面粗糙度,获得普遍较低的粗糙度值(Ra<0.6μm);ULTM对TiAl合金表面硬化具有强化作用,能使表面硬度平均提升超过10%,并且采用ULTM加工得到的工件和切屑表面质量都较好。此外,铣削150 mm3的TiAl合金时发现ULTM的刀具底刃磨损量明显减小,刀具主要发生氧化磨损和扩散磨损。 展开更多
关键词 TIAL合金 超声纵扭铣削 表面质量 刀具磨损
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铣削减材工艺对激光熔覆增材Fe45合金表面质量的影响研究
8
作者 周俊 舒林森 王家胜 《制造技术与机床》 北大核心 2024年第3期36-43,共8页
针对激光熔覆增材再制造Fe45合金表面质量差,不能满足精密机械零部件的功能和装配要求,对激光熔覆层进行铣削减材加工。文章研究了铣削减材工艺对铣削力、表面粗糙度以及微观形貌的影响规律,采用正交试验方法进行了铣削减材试验。通过... 针对激光熔覆增材再制造Fe45合金表面质量差,不能满足精密机械零部件的功能和装配要求,对激光熔覆层进行铣削减材加工。文章研究了铣削减材工艺对铣削力、表面粗糙度以及微观形貌的影响规律,采用正交试验方法进行了铣削减材试验。通过方差和极差分析方法,评价了主轴转速S、进给速度F、切削深度ap对熔覆成型件铣削力和表面粗糙度的影响规律;从微观角度分析了铣削减材工艺对表面形貌和切屑的影响。结果表明,铣削减材工艺参数对成型表面质量影响较大,其中对铣削力影响最大的是铣削深度,对表面粗糙度影响最显著的是进给速度;Fe45激光增材成型件经过铣削加工后,表面粗糙度Ra由13.68μm最低可降至1.7μm,降低了87.6%。由实验可知,铣削减材工艺能够大幅提高激光熔覆增材再制造Fe45合金表面质量,对激光熔覆涂层机械加工具有指导意义。 展开更多
关键词 铣削减材工艺 激光熔覆 铣削参数 铣削力 表面质量
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KDP晶体潮解抛光表面质量的模拟分析
9
作者 郭少龙 刘佳航 +2 位作者 李阳 徐泽林 晏祖根 《佳木斯大学学报（自然科学版）》 CAS 2024年第2期76-79,共4页
通过运动学分析,得到了KDP晶体表面上一点相对于抛光垫的运动方程。分别绘制了载样盘转数、载样盘圆心与抛光垫圆心之间的水平距离、载样盘圆心与其摆动圆心之间的水平距离、摆动周期取不同值时KDP晶体表面上一点相对于抛光垫的运动轨... 通过运动学分析,得到了KDP晶体表面上一点相对于抛光垫的运动方程。分别绘制了载样盘转数、载样盘圆心与抛光垫圆心之间的水平距离、载样盘圆心与其摆动圆心之间的水平距离、摆动周期取不同值时KDP晶体表面上一点相对于抛光垫的运动轨迹仿真图形,得到了这些参数对KDP晶体抛光表面质量的影响规律,并据此确定了这些参数的优化方向。 展开更多
关键词 KDP晶体 抛光 潮解 表面质量
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加工45钢下切削力对表面质量的影响
10
作者 侯献军 《山西冶金》 CAS 2024年第1期25-26,共2页
在机械制造中,切削力对加工质量有较大影响,不规则的切削力会加剧刀具磨损、降低表面光洁度。为了延长刀具寿命、提高零件的表面质量,进行45号钢切削实验研究。在加工过程中采用切削力分析仪进行数据采集,通过三维轮廓仪进行零件表面质... 在机械制造中,切削力对加工质量有较大影响,不规则的切削力会加剧刀具磨损、降低表面光洁度。为了延长刀具寿命、提高零件的表面质量,进行45号钢切削实验研究。在加工过程中采用切削力分析仪进行数据采集,通过三维轮廓仪进行零件表面质量检测,对二者的相互关联进行对比分析,得出合理的车削力与表面质量的关联性。 展开更多
关键词 切削力 切削力分析仪 表面质量 三维轮廓仪
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中断时效对7075铝合金切削表面质量及刀具磨损影响研究
11
作者 岳修杰 王优强 +2 位作者 张平 于晓 王雪兆 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期152-161,共10页
目的探究中断时效工艺对7075铝合金切削加工性能的影响,为中断时效工艺对材料切削加工性能的改善提供理论依据。方法选取仅进行T6时效处理的试样作为对照组,通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)等手段对已加工表面质量、切削力及刀具... 目的探究中断时效工艺对7075铝合金切削加工性能的影响,为中断时效工艺对材料切削加工性能的改善提供理论依据。方法选取仅进行T6时效处理的试样作为对照组,通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)等手段对已加工表面质量、切削力及刀具磨损进行分析。结果经不同时效处理后,7075铝合金的主要析出相为η(MgZn_(2))相,且相较于T6热处理工艺的7075铝合金,7075-T6I4铝合金表现出更高的衍射峰强度及更大的半高宽。在不同的时效处理条件下,表面粗糙度Ra均与切削速度呈负相关关系,而与切削深度、进给量呈正相关关系,仅T6时效处理时,表面粗糙度Ra随切削深度的增大呈先增大后减小再增大的变化趋势,在不同切削速度下,与T6时效处理相比,T6I4中断时效处理的表面粗糙度Ra最大降低了5.8%,而在不同切削深度和进给量下最大降低了1.9%和17.1%,且工件表面主要存在切屑黏附、微裂纹以及微孔洞等缺陷;切削力在切削速度为500~750m/min时呈增大趋势,随后又逐渐减小,然而与切削深度、进给量之间则呈正相关关系,仅经T6I4中断时效处理后的y向切削力在进给量为0.06~0.08 mm/z时逐渐减小,随后呈增大的变化趋势。增大切削速度以及减小进给量均可有效改善刀具磨损程度,且在切削过程中刀具磨损形式主要表现为崩刃和黏结磨损。结论与T6时效处理相比,T6I4中断时效处理表现出更好的表面质量、更小的切削力及更轻的刀具磨损,较大的切削速度和较小的进给量、切削深度有助于提高7075铝合金的切削加工性。 展开更多
关键词 7075铝合金 中断时效 XRD 表面质量 切削力 刀具磨损
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阴极铜表面质量缺陷把控关键性技术实践
12
作者 周楠 《有色金属（冶炼部分）》 CAS 北大核心 2024年第2期28-34,共7页
阴极铜质量的稳定关系到企业品牌形象的稳固和产量任务的顺利完成。获得板面平整、结晶致密、化学成分合格、物理外观良好的阴极铜一直是贵溪冶炼厂电解车间提升工艺技术水平的重点工作。通过对阴极铜表面质量影响因素的综合分析,深入... 阴极铜质量的稳定关系到企业品牌形象的稳固和产量任务的顺利完成。获得板面平整、结晶致密、化学成分合格、物理外观良好的阴极铜一直是贵溪冶炼厂电解车间提升工艺技术水平的重点工作。通过对阴极铜表面质量影响因素的综合分析,深入追踪阴极铜电解生产环节中由物料指标控制、循环系统生产环境、产品输出洗涤质量所带来的一系列不足之处,从中总结归纳出阴极铜表面质量缺陷把控关键性技术措施,为阴极铜电解生产质量的提高做出进一步的保障。 展开更多
关键词 阴极铜 表面质量 电解 工艺 生产实践
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切削液对金刚石线锯切割β-Ga_(2)O_(3)晶片表面质量的影响
13
作者 王晓龙 高鹏程 +2 位作者 檀柏梅 杜浩毓 王方圆 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期133-142,共10页
为了开发出更适合β-Ga_(2)O_(3)晶片切片的切削液,探讨金刚石线锯切片过程中不同切削液对β-Ga_(2)O_(3)晶片表面质量的影响,通过测量接触角和表面张力,研究不同切削液对β-Ga_(2)O_(3)晶片表面的润湿性。采用粗糙度测量仪、非接触式... 为了开发出更适合β-Ga_(2)O_(3)晶片切片的切削液,探讨金刚石线锯切片过程中不同切削液对β-Ga_(2)O_(3)晶片表面质量的影响,通过测量接触角和表面张力,研究不同切削液对β-Ga_(2)O_(3)晶片表面的润湿性。采用粗糙度测量仪、非接触式测厚仪和扫描电镜(SEM)对晶片表面进行测试表征,研究去离子水、添加AEO-9的水基切削液和乳化切削液在不同工艺参数下对切割(010)面β-Ga_(2)O_(3)晶片的表面粗糙度、表面形貌、总厚度变化以及亚表面损伤层深度的影响。结果表明:与去离子水相比,添加AEO-9的水基切削液和乳化切削液均能有效降低β-Ga_(2)O_(3)表面的接触角和表面张力,表明2种切削液均可提高晶片表面润滑性;乳化切削液的效果随着工艺参数的变化而波动很大,只有在低切削热和大切削力的条件下,才能明显优化晶圆表面质量,而水基切削液可稳定地获得较高的晶片表面质量,更适用于β-Ga_(2)O_(3)晶片切割。 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3)单晶 线锯切割 切削液 润滑能力 表面质量
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精益六西格玛在提高异型铜带表面质量的应用研究
14
作者 韩振斌 赵昭 +2 位作者 于国军 刘冬 齐啸天 《冶金与材料》 2024年第1期133-135,共3页
针对公司异型铜带产品因表面质量缺陷引起的报废量居高不下,给生产带来较大困难。结合现场实际,采用六西格玛DMAIC模型制定了一套改善方案,并使用Mintab软件对质量数据统计分析。通过方案实施,带材因表面质量引起的报废率由5.44%降低至2... 针对公司异型铜带产品因表面质量缺陷引起的报废量居高不下,给生产带来较大困难。结合现场实际,采用六西格玛DMAIC模型制定了一套改善方案,并使用Mintab软件对质量数据统计分析。通过方案实施,带材因表面质量引起的报废率由5.44%降低至2.53%,DPMO值由999971降至36599,取得显著效果。实践表明,DMAIC模型在铜带质量改进中的应用成功实现了预期目标。 展开更多
关键词 精益六西格玛 异型铜带 表面质量 硌伤
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Si_(3)N_(4)陶瓷球研磨轨迹分析及其对表面质量的影响机制 被引量：2
15
作者 孙健 陈伟 +2 位作者 姚金梅 李颂华 田军兴 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期253-265,共13页
目的明确在相同的研磨液配比、磨料类型,不同的研磨盘转速、研磨装置施加的载荷、磨粒粒径下,陶瓷球研磨轨迹对陶瓷球表面质量的影响,确定锥形研磨法加工的氮化硅陶瓷球的最优研磨参数,提高陶瓷球的表面质量。方法首先建立研磨盘和氮化... 目的明确在相同的研磨液配比、磨料类型,不同的研磨盘转速、研磨装置施加的载荷、磨粒粒径下,陶瓷球研磨轨迹对陶瓷球表面质量的影响,确定锥形研磨法加工的氮化硅陶瓷球的最优研磨参数,提高陶瓷球的表面质量。方法首先建立研磨盘和氮化硅陶瓷球的相对运动模型,利用MATLAB模拟不同研磨参数的下氮化硅陶瓷球的研磨轨迹,分析得到研磨参数和研磨轨迹的变化关系;再利用锥形研磨装置进行单因素实验验证,参与实验的3个变量设定为磨粒型号(粒径)、研磨盘转速和研磨装置施加载荷,将实验结果取样,通过粗糙度仪测量球体的表面粗糙度,用扫描电镜和超景深三维显微镜检测研磨后的陶瓷球表面形貌,结合仿真分析和实验结果探究研磨参数对加工后表面质量的影响。结果将不同仿真轨迹下得到的研磨参数变化规律与实验结果相结合,得到了最佳的研磨参数,即研磨盘转速为50 r/min,施加的载荷为1.30 N,磨粒类型为W7。在此条件下得到的陶瓷球表面的粗糙度为0.0096μm,基本能达到实际生产中对G3级精度全陶瓷球的质量要求。结论陶瓷球的表面质量受到研磨盘转速、研磨装置施加载荷及磨粒粒径的影响较大,由仿真分析和实验结合可知,在研磨过程中随着磨粒粒径的减小,以及研磨盘转速和载荷的下降,陶瓷球的研磨轨迹趋于稀疏,表面粗糙度Ra呈下降趋势。研磨氮化硅陶瓷球时取粒径较小的磨粒,以较低的研磨盘转速和较小的研磨装置施加载荷有利于提高其表面质量。此研究成果对提高陶瓷球的表面质量具有重要的指导意义。 展开更多
关键词 氮化硅陶瓷球 锥形研磨法 研磨参数 研磨轨迹 单因素实验 表面质量
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高体分铝基碳化硅超声振动钻削的内孔表面质量试验研究 被引量：1
16
作者 马利杰 屈海涛 +3 位作者 马尊严 逄明华 冯启高 王占奎 《工具技术》 北大核心 2023年第2期33-38,共6页
针对高体分铝基碳化硅精密钻削加工技术难题,利用普通超声振动钻削(UVD)和超声振动啄式钻削(UVPD)两种工艺,通过均匀试验设计,对高体分铝基碳化硅套料钻削的内孔表面质量的变化规律及产生原因进行了深入的直观分析和回归分析。结果表明... 针对高体分铝基碳化硅精密钻削加工技术难题,利用普通超声振动钻削(UVD)和超声振动啄式钻削(UVPD)两种工艺,通过均匀试验设计,对高体分铝基碳化硅套料钻削的内孔表面质量的变化规律及产生原因进行了深入的直观分析和回归分析。结果表明:高体分铝基碳化硅套料钻削时,内孔表面缺陷表现为SiC颗粒拔出、SiC颗粒破裂、Al基体塑性变形三种形式;采用UVD能够获得比普通钻削更好的内孔质量,而采用UVPD的表面粗糙度可比UVD降低20%以上,各工艺条件下表面缺陷特征的差异是导致内孔质量变化的根本原因;无论UVD还是UVPD,超声振幅和进给速度都是影响内孔质量的重要因素,增大超声振幅或降低进给速度都有利于提高内孔质量。 展开更多
关键词 高体分铝基碳化硅 超声振动钻削 内孔表面质量 均匀试验设计
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纳米二氧化硅含量对PES基激光烧结件表面质量和力学性能的影响
17
作者 陈晖 钱伟栋 +1 位作者 孙玲胜 谭博 《中国塑料》 CAS CSCD 北大核心 2023年第11期10-14,共5页
以聚醚砜树脂(PES)为基体材料,纳米二氧化硅(nano-SiO_(2))为填料,采用选择性激光烧结技术(SLS)制备PES/nano-SiO_(2)复合材料烧结件,研究了nano-SiO_(2)含量为0~3%(质量分数,下同)时对烧结件表面质量和力学性能的影响。结果表明,烧结... 以聚醚砜树脂(PES)为基体材料,纳米二氧化硅(nano-SiO_(2))为填料,采用选择性激光烧结技术(SLS)制备PES/nano-SiO_(2)复合材料烧结件,研究了nano-SiO_(2)含量为0~3%(质量分数,下同)时对烧结件表面质量和力学性能的影响。结果表明,烧结件的轮廓算术平均偏差(Ra)在nano-SiO_(2)含量为0.1%~1%时变化较小,当nano-SiO_(2)含量超过1%后显著上升;烧结件拉伸强度、弯曲强度和冲击强度随着nano-SiO_(2)含量的增加均呈先增大后减小的趋势。当nanoSiO_(2)含量为0.5%时,烧结件的拉伸强度和弯曲强度均达到最大值,相较于纯PES烧结件,拉伸强度和弯曲强度分别提升了22.66%和41.51%;烧结件的冲击强度在nano-SiO_(2)含量为0.7%时达到最大值,提升了12.10%。 展开更多
关键词 选择性激光烧结 纳米二氧化硅 聚醚砜树脂 表面质量 力学性能
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细粒度金刚石砂轮超精密磨削硅片的表面质量 被引量：3
18
作者 王紫光 刘金鑫 +3 位作者 尹剑 周平 沙智华 康仁科 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期245-251,共7页
为实现硅片高质量表面的超精密磨削,研究了5000目、8000目和30000目金刚石砂轮磨削硅片的表面质量。利用数学模型预测了硅片磨削表面的粗糙度Ra并对预测结果进行了试验验证,分析了硅片磨削表面的形貌特征;通过磨床主轴电机的电流变化对... 为实现硅片高质量表面的超精密磨削,研究了5000目、8000目和30000目金刚石砂轮磨削硅片的表面质量。利用数学模型预测了硅片磨削表面的粗糙度Ra并对预测结果进行了试验验证,分析了硅片磨削表面的形貌特征;通过磨床主轴电机的电流变化对比分析了5000目、8000目和30000目砂轮磨削过程中的磨削力变化趋势。研究结果表明:8000目砂轮磨削后的单晶硅表面粗糙度Ra小于10 nm,亚表面损伤深度小于150 nm,磨削过程中的磨削力稳定,磨削质量优于5000目砂轮,磨削过程的稳定性优于30000目砂轮。 展开更多
关键词 磨削 金刚石 砂轮 单晶硅 表面质量
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基于响应曲面法的C/SiC磨削表面质量预测
19
作者 朱传敏 庾贻清 +1 位作者 陈旭 叶子程 《现代制造技术与装备》 2023年第1期90-92,共3页
二维编织碳纤维增强碳化硅复合材料在航空航天领域应用广泛。作为反射镜的基体材料,人们对它的表面质量要求较高,需要提高磨削加工后材料表面的质量。因此,设计并开展磨削工艺参数3因素3水平正交实验,分析各参数对表面质量的影响。以面... 二维编织碳纤维增强碳化硅复合材料在航空航天领域应用广泛。作为反射镜的基体材料,人们对它的表面质量要求较高,需要提高磨削加工后材料表面的质量。因此,设计并开展磨削工艺参数3因素3水平正交实验,分析各参数对表面质量的影响。以面粗糙度Sa为表面质量评价指标,基于响应曲面法建立面粗糙度Sa预测模型,对磨削表面质量进行预测。根据建立的预测模型,以材料去除率为约束条件,以表面粗糙度为目标,优化磨削工艺参数,并开展磨削实验,以验证预测模型的有效性。 展开更多
关键词 C/SIC 响应曲面法 表面质量 预测模型
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轧钢过程中板材表面质量的影响因素与改进策略
20
作者 姚东超 《冶金与材料》 2023年第9期16-18,共3页
本文研究了轧钢过程中板材表面质量的影响因素及改进策略。首先,分析了轧制工艺参数、辊型与轧辊磨损、冷却与除鳞工艺、板材成分与预处理以及轧钢润滑等因素对板材表面质量的影响。其次,探讨了优化工艺参数、改进辊型与轧辊管理、优化... 本文研究了轧钢过程中板材表面质量的影响因素及改进策略。首先,分析了轧制工艺参数、辊型与轧辊磨损、冷却与除鳞工艺、板材成分与预处理以及轧钢润滑等因素对板材表面质量的影响。其次,探讨了优化工艺参数、改进辊型与轧辊管理、优化冷却与除鳞技术、改进表面预处理和优选润滑剂的策略,以提高板材表面质量。进一步介绍了表面质量检测技术和控制系统在轧钢过程中的应用。最后,总结了影响因素与改进策略,并展望了轧钢过程中板材表面质量改进的前景。 展开更多
关键词 轧钢过程 板材表面质量 影响因素 改进策略 表面质量检测 控制系统
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