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拼接干涉仪在控制装校面形中的应用 被引量：1
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作者 叶海仙 熊召 +3 位作者 曹庭分 刘长春 张亮 易聪之 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期69-73,共5页
通过对比大口径光学元件夹持不当时全口径与局部口径之间的图像关系,研究局部面形控制的新方式。并与高精度的大口径干涉仪进行比对测试,验证拼接干涉仪的测试精度。实验表明,拼接干涉仪局部测试精度可达50 nm(PV值).空间分辨力高达5 mm... 通过对比大口径光学元件夹持不当时全口径与局部口径之间的图像关系,研究局部面形控制的新方式。并与高精度的大口径干涉仪进行比对测试,验证拼接干涉仪的测试精度。实验表明,拼接干涉仪局部测试精度可达50 nm(PV值).空间分辨力高达5 mm^(-1),可以实现中频段的装校临控。使用拼接干涉仪扫描测试全口径面形,测试不确定度小于100nm.与φ600 mm的大口径干涉仪测试结果差别小于0.04λ(波长λ=632.8 nm)。 展开更多
关键词 子孔径拼接 象散 局部面形 装校监测 全口径面形
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