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在多晶金属基片上制备双轴织构YSZ膜 被引量：1
1
作者 石东奇 杨坚 +2 位作者 袁冠森 郝建民 雷廷权 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期277-279,共3页
采用调制偏压射频磁控溅射技术在多晶ＨａｓｔｅｌｏｙＣ金属基带上制备钇稳定的ＺｒＯ２薄膜（ＹＳＺ），得到了ｃ轴织构和部分平面内双轴织构的ＹＳＺ薄膜。用Ｘ射线衍射θ２θ扫描、ω扫描和扫描对ＹＳＺ薄膜的织构进行了测... 采用调制偏压射频磁控溅射技术在多晶ＨａｓｔｅｌｏｙＣ金属基带上制备钇稳定的ＺｒＯ２薄膜（ＹＳＺ），得到了ｃ轴织构和部分平面内双轴织构的ＹＳＺ薄膜。用Ｘ射线衍射θ２θ扫描、ω扫描和扫描对ＹＳＺ薄膜的织构进行了测量，并研究了沉积条件对织构形成的影响。 展开更多
关键词 YSA膜 双轴织构 调制偏压溅射 YBCO 超导薄膜
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