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题名轴向应变放大式谐振温度传感器研究
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作者
滕飞
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机构
中国飞行试验研究院
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出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2024年第6期111-116,共6页
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文摘
试验机专用改装系统成为开展民机适航、审定试飞的重要手段之一。为进一步提升系统性能,满足高精度高可靠性要求,该文提出一种基于轴向应变放大结构的谐振式温度传感器。基于应变放大结构建立频率-温度模型,推导频率温度系数作为衡量灵敏度的物理量。为降低理论模型与仿真模型的相对误差,该文进行仿真分析与误差修正,将二者误差降低至0.5%。测试结果表明,当外界温度在273~293 K范围内变化时,器件的频率温度系数为13104×10^(−6)K^(-1),仿真结果为12935×10^(−6)K^(-1),二者相比,相对误差为1.3%。与以往谐振式温度传感器比较,相对灵敏度最大提高了83倍。该结构可用于高灵敏度谐振式温度传感器的优化设计,满足试验机改装系统的应用需求。
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关键词
轴向应变放大
频率温度系数
谐振式温度传感器
高灵敏度
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Keywords
axial strain amplification
frequency-temperature coefficient
resonant temperature sensor
high sensitivity
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分类号
TB9
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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