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减压模拟设备迅速抽真空技术研究及实现 被引量:5
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作者 高海朋 刘猛 王浚 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1191-1198,共8页
为实现迅速抽真空,提出负压储备舱技术。结合流导方程和气体热力学理论,推导出舱体间气流平衡的数学方程式,揭示了气流平衡过程中,舱体间瞬时压差与起始状态压差、舱体容积成正比,与持续时间存在指数关系,与连接管路流导存有反比关系。... 为实现迅速抽真空,提出负压储备舱技术。结合流导方程和气体热力学理论,推导出舱体间气流平衡的数学方程式,揭示了气流平衡过程中,舱体间瞬时压差与起始状态压差、舱体容积成正比,与持续时间存在指数关系,与连接管路流导存有反比关系。基于流体微分方程和湍流模型建立非定常流场模型,对压力平衡过程进行动态仿真,从流场角度揭示了瞬时压力与时间的关系。为使负压储备舱实现技术要求,从气压和时间角度进行影响因素分析,研究表明,负压储备舱容积至少为70倍试验舱容积,且连通口面积须有可调性。通过模型结果与试验结果对比,验证了所建两种模型的正确性,也验证了试验装置的可行性。 展开更多
关键词 真空技术 负压储备 力平衡 数学表达式 有限元模型
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