期刊文献+
共找到113篇文章
< 1 2 6 >
每页显示 20 50 100
单晶硅激光辅助超精密切削工艺优化与表面特性 被引量:2
1
作者 陈肖 柯金洋 +2 位作者 佘中迪 张建国 许剑锋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期99-108,共10页
为了获得优化的单晶硅激光辅助超精密切削工艺,探究切削加工后单晶硅元件的表面特性,采用正交实验方法对单晶硅的激光原位辅助单点金刚石切削工艺参数进行优化,并对切削加工单晶硅表面质量、面形精度、残余应力和光学透过率等表面特性... 为了获得优化的单晶硅激光辅助超精密切削工艺,探究切削加工后单晶硅元件的表面特性,采用正交实验方法对单晶硅的激光原位辅助单点金刚石切削工艺参数进行优化,并对切削加工单晶硅表面质量、面形精度、残余应力和光学透过率等表面特性进行了测量与分析。通过正交实验数据的表面粗糙度方差分析和信噪比分析,获得的优化工艺参数组合为主轴转速为1 500 r/min、进给速率为5 mm/min、切削深度为3 μm、激光功率为4.5 W。采用上述工艺参数加工的165 mm口径单晶硅非球面光学元件的表面粗糙度和面形精度PV分别为2.74 nm和0.52 μm。激光辅助切削加工后的单晶硅表面存在(-1 760.8±362.1) MPa的残余压应力。激光辅助超精密切削加工的单晶硅光学元件在3~5 μm中红外波段镀膜前后的透过率分别为55%和98%,折射率为3.43。实验结果表明,激光辅助超精密切削技术可作为单晶硅光学元件的半精加工或最终精加工工序,以提升复杂面形单晶硅元件的制造效率。 展开更多
关键词 激光辅助超精密切削 单晶硅 工艺优化 表面粗糙度 面形精度 残余应力 透过率
下载PDF
基于纳米压痕与纳米划痕实验的单晶硅超精密切削特性研究 被引量:2
2
作者 崔杰 杨晓京 +2 位作者 李云龙 张高赞 李宗睿 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第9期1651-1659,共9页
为研究单晶硅超精密切削特性,采用纳米压痕仪配合Berkovich金刚石压头对单晶硅<100>晶面进行纳米压痕与纳米划痕实验。纳米压痕实验分别以10、30和50 mN载荷将压头压入单晶硅表面,发现30 mN载荷下载荷-位移曲线产生微小波动,而在5... 为研究单晶硅超精密切削特性,采用纳米压痕仪配合Berkovich金刚石压头对单晶硅<100>晶面进行纳米压痕与纳米划痕实验。纳米压痕实验分别以10、30和50 mN载荷将压头压入单晶硅表面,发现30 mN载荷下载荷-位移曲线产生微小波动,而在50 mN载荷下发生“pop-out”现象,说明材料此时有突然的应力变化并有脆性破坏发生,预测了单晶硅脆塑转变的临界载荷略小于30 mN。开展变载荷纳米划痕实验,用0~100 mN的载荷刻划单晶硅表面,根据载荷-位移曲线观察到单晶硅在变载荷刻划中分为弹塑性去除和脆性去除阶段。弹塑性去除阶段,载荷-位移曲线波动平稳,而脆性去除阶段曲线波动较大,得到单晶硅脆塑转变的临界载荷为27 mN,临界深度为392 nm。通过恒载荷纳米划痕实验,在塑性加工域内分别以5、10和20 mN的恒载荷刻划单晶硅表面,并通过扫描电子显微镜(SEM)观察恒载荷划痕后的单晶硅表面形貌,分析刻划数据发现切削力和弹性回复率随着载荷的增加而增大,摩擦系数则先增大后减小。因此单晶硅超精密切削加工应选择合理的载荷,并充分考虑弹性回复的影响。 展开更多
关键词 单晶硅 超精密切削 纳米压痕 纳米划痕 脆塑转变 切削 弹性回复率 摩擦系数
下载PDF
6061铝合金超精密切削仿真与实验研究 被引量:1
3
作者 王海龙 王素娟 《机械设计与制造》 北大核心 2023年第7期147-150,共4页
利用单晶金刚石超精密切削6061铝合金(Al6061)实验与有限元仿真计算方法(FEM),研究Al6061的单晶金刚石超精密切削机理。通过构建不考虑Al6061材料中杂质与二次相特性的超精密切削2D有限元模型(Al6061 FEM),与相同切削条件下Al6061单晶... 利用单晶金刚石超精密切削6061铝合金(Al6061)实验与有限元仿真计算方法(FEM),研究Al6061的单晶金刚石超精密切削机理。通过构建不考虑Al6061材料中杂质与二次相特性的超精密切削2D有限元模型(Al6061 FEM),与相同切削条件下Al6061单晶金刚石切削实验对比,切屑形态与切削力等参数两者较吻合。研究发现,当切削深度为2μm,切削速度为500mm/min时,模型计算的切屑为锯齿形层层叠加在一起;切削力受切屑形态的影响,随单个锯齿形成过程先增加后减小,呈周期变化;切削表面出现单元格损伤缩颈变形和塑性恢复变形,两者综合作用生成切削表面,而实际Al6061切削加工生成表面受材料中杂质与二次相的影响,不考虑Al6061材料中杂质与二次相的切削生成表面计算结果无法评估实际切削表面生成过程;切削热主要受Al6061切屑层挤压变形作用产生,切屑与前刀面以及新生成的表面与后刀面摩擦生热量相对较小。对比有限元计算结果,实验切削力波动范围大,主要受材料特性的影响。 展开更多
关键词 单晶金刚石 超精密切削 Al6061 FEM 切削机理
下载PDF
电脉冲处理对钛合金超精密切削的影响 被引量:7
4
作者 吴红兵 史云龙 +2 位作者 杜雪 熊瑞斌 石松 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第2期218-221,共4页
钛合金材料由于难加工性限制其在各种工业领域的应用。为了改善钛合金材料Ti6Al4V在超精密切削过程中的加工性能,采用电脉冲处理的方法对钛合金材料进行了处理。电脉冲处理改变了钛合金的微结构和力学性能,经其处理后的钛合金材料弹性... 钛合金材料由于难加工性限制其在各种工业领域的应用。为了改善钛合金材料Ti6Al4V在超精密切削过程中的加工性能,采用电脉冲处理的方法对钛合金材料进行了处理。电脉冲处理改变了钛合金的微结构和力学性能,经其处理后的钛合金材料弹性模量、硬度及塑性等均有一定程度的降低。对电脉冲处理后的钛合金材料进行超精密切削实验,结果表明电脉冲处理能够降低钛合金超精密切削过程中的切削力,同时还可以提高钛合金材料在超精密切削后的表面质量。研究结果证明了电脉冲处理可以作为一种有效改善钛合金加工性能的处理方法。 展开更多
关键词 钛合金 电脉冲处理 超精密切削 力学性能
原文传递
超精密切削时刀具切削刃的作用机理分析 被引量:6
5
作者 张文生 张飞虎 +2 位作者 李立军 于信伟 董申 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第15期1320-1322,共3页
分析了金刚石刀具切削刃的切削作用、脆性材料超精密切削时切屑形成机理 ;对金刚石刀具切削刃钝圆半径、切削厚度、切削角三者之间的关系进行了描述。结果表明 :脆性材料可以实现塑性域超精密切削加工 ;控制切削参数可以加工出满足要求... 分析了金刚石刀具切削刃的切削作用、脆性材料超精密切削时切屑形成机理 ;对金刚石刀具切削刃钝圆半径、切削厚度、切削角三者之间的关系进行了描述。结果表明 :脆性材料可以实现塑性域超精密切削加工 ;控制切削参数可以加工出满足要求的表面粗糙度和表面波纹度 ,为生产实际提供可靠的工艺条件及技术参数。 展开更多
关键词 脆性材料 金刚石刀具 钝圆半径 切削厚度 超精密切削
下载PDF
基于FEM-SPH耦合方法的AISI4340钢超精密切削过程仿真 被引量:6
6
作者 郭晓光 魏延军 +2 位作者 张小冀 金洙吉 郭东明 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期526-531,共6页
数值模拟是研究金属切削的重要手段,但有限元方法(FEM)由于依赖网格而存在一定的局限性,不适宜处理大变形问题.光滑粒子动力学(SPH)是一种无网格法,可以避免网格畸变,解决切削过程中材料大变形问题.结合两种方法的各自优点,建立了AISI4... 数值模拟是研究金属切削的重要手段,但有限元方法(FEM)由于依赖网格而存在一定的局限性,不适宜处理大变形问题.光滑粒子动力学(SPH)是一种无网格法,可以避免网格畸变,解决切削过程中材料大变形问题.结合两种方法的各自优点,建立了AISI4340钢金刚石超精密切削过程的FEM-SPH耦合模型,研究切削过程中材料的去除机理.仿真结果表明:随着切削过程的进行工件内部应力逐渐增大,当达到屈服极限时,工件材料沿前刀面塑性流动,形成切屑,刀尖钝圆的推挤起了决定性的作用;成形表面下存在较为严重的残余应力;切削热主要来源于切削过程中塑性功的转换且大部分被切屑带走;增大刀尖钝圆半径将会使切削力尤其是切削抗力显著增大. 展开更多
关键词 超精密切削 无网格法 FEM—SPH耦合 仿真
下载PDF
超精密切削切屑形成过程的三维有限元仿真 被引量:9
7
作者 王洪祥 汤敬计 +2 位作者 廖世宾 徐志强 刘俊利 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期293-295,共3页
基于大变形有限元理论,建立了超精密切削的三维有限元模型,利用通用的商业有限元软件实现了超精密切削切屑形成过程的三维仿真.并对正交直角切削和斜角切削切屑的形成过程进行了比较深入的分析研究.结果表明:在同样切削条件下,斜角切削... 基于大变形有限元理论,建立了超精密切削的三维有限元模型,利用通用的商业有限元软件实现了超精密切削切屑形成过程的三维仿真.并对正交直角切削和斜角切削切屑的形成过程进行了比较深入的分析研究.结果表明:在同样切削条件下,斜角切削过程中产生的切削热、塑性应变和等效应力小于正交直角切削时产生的切削热、塑性应变和等效应力. 展开更多
关键词 超精密切削 有限元分析 仿真
下载PDF
超精密切削氟化钙单晶金刚石刀具磨损研究 被引量:6
8
作者 陈浩锋 王建敏 +2 位作者 戴一帆 郑子文 焦飞飞 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第13期1519-1522,1526,共5页
为了研究氟化钙(CaF2)单晶超精密切削过程中的金刚石刀具磨损及其对切削过程的影响,对CaF2晶体进行了超精密切削实验,系统观测了刀具磨损形貌随切削路程的变化趋势,分析了刀具磨损机理,同时通过分析不同切削路程下切削表面微观形貌和切... 为了研究氟化钙(CaF2)单晶超精密切削过程中的金刚石刀具磨损及其对切削过程的影响,对CaF2晶体进行了超精密切削实验,系统观测了刀具磨损形貌随切削路程的变化趋势,分析了刀具磨损机理,同时通过分析不同切削路程下切削表面微观形貌和切削力的变化,对刀具磨损与切削模式之间的关系进行了探讨。研究表明,超精密切削CaF2晶体时刀具磨损模式为沟槽磨损和缺口破损,刀具磨损随切削路程的演变过程为后刀面沟槽磨损扩展到前刀面缺口破损,同时相应的切削模式由延性去除转变为脆性去除。该研究结果为大口径CaF2晶体纳米尺度延性域切削提供了技术支持。 展开更多
关键词 超精密切削 刀具磨损 CaF2晶体 延性域 金刚石刀具
下载PDF
硬脆光学晶体材料超精密切削理论研究综述 被引量:31
9
作者 卢泽生 王明海 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期15-21,共7页
硬脆光学晶体材料在航空航天、光学和光电子等领域得到了广泛应用,其超精密切削加工技术越来越受到重视,从切削模型、脆塑转变机理和研究方法等三个方面介绍了硬脆光学晶体材料超精密切削技术的发展和国内外研究现状,并对今后的研究方... 硬脆光学晶体材料在航空航天、光学和光电子等领域得到了广泛应用,其超精密切削加工技术越来越受到重视,从切削模型、脆塑转变机理和研究方法等三个方面介绍了硬脆光学晶体材料超精密切削技术的发展和国内外研究现状,并对今后的研究方向作了阐述。 展开更多
关键词 硬脆光学晶体材料 切削模型 脆塑转变 超精密切削
下载PDF
纳米级超精密切削表面粗糙度若干影响因素分析 被引量:6
10
作者 赵惠英 蒋庄德 田世杰 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期190-194,共5页
介绍了W-M函数和分形分维数的结构函数法求法,采用分形理论对影响纳米级超精密切削表面质量的若干因素进行了初步分析,并进行了相关的试验和统计分析,特别是对其中主要的影响因素及其影响程度进行了分析,得出并验证了集合与子集的分维... 介绍了W-M函数和分形分维数的结构函数法求法,采用分形理论对影响纳米级超精密切削表面质量的若干因素进行了初步分析,并进行了相关的试验和统计分析,特别是对其中主要的影响因素及其影响程度进行了分析,得出并验证了集合与子集的分维数求法及其影响关系,并对将上述理论应用于设计实际的相关问题进行了探讨。 展开更多
关键词 超精密切削 表面粗糙度 表面质量 分形理论 结构函数
下载PDF
基于遗传算法的超精密切削表面粗糙度预测模型参数辨识及切削用量优化 被引量:16
11
作者 卢泽生 王明海 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期158-162,共5页
建立易于分析各切削用量对粗糙度影响关系的表面粗糙度预测模型和最优的切削用量组合,是超精密切削加工技术的不断发展的需要。针对最小二乘法和传统优化方法的不足,提出了将遗传算法用于超精密切削表面粗糙度预测模型的参数辨识,并用... 建立易于分析各切削用量对粗糙度影响关系的表面粗糙度预测模型和最优的切削用量组合,是超精密切削加工技术的不断发展的需要。针对最小二乘法和传统优化方法的不足,提出了将遗传算法用于超精密切削表面粗糙度预测模型的参数辨识,并用于求解最优切削用量,给出了金刚石刀具超精密切削铝合金的表面粗糙度预测数学模型和切削用量优化结果,进行了遗传算法和常规优化算法的比较,结果表明遗传算法较最小二乘法和传统的优化方法更适合于粗糙度预测模型的参数辨识及保证切削用量的最优。 展开更多
关键词 超精密切削 遗传算法 表面粗糙度预测模型 优化
下载PDF
超精密切削面临的课题 被引量:5
12
作者 赵清亮 王景贺 +1 位作者 李旦 董申 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 1999年第11期5-8,共4页
文章对在光学、电子和机械元器件的加工达到微米或亚微米级型面精度及纳米级表面粗糙度的超精密切削技术进行了综述。讨论了机床、测量及控制、刀具及其它相关技术,对于切屑的去除过程和与微切削相关的现象进行了物理特性的讨论分析。
关键词 超精密切削 切屑 切削 切削
下载PDF
基于有限元法分析超精密切削中的摩擦问题 被引量:3
13
作者 宗文俊 王洪祥 +2 位作者 李旦 程凯 董申 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第8期88-91,共4页
基于更新的拉格朗日公式 ,建立了热 -机械耦合的平面应变大变形正交切削模型。根据此模型 ,对金刚石车削过程中的摩擦问题进行了仿真研究。对两种摩擦模型仿真所得的切削力与实验数据进行了比较 ,验证了前刀面上的摩擦状态应是粘结 -滑... 基于更新的拉格朗日公式 ,建立了热 -机械耦合的平面应变大变形正交切削模型。根据此模型 ,对金刚石车削过程中的摩擦问题进行了仿真研究。对两种摩擦模型仿真所得的切削力与实验数据进行了比较 ,验证了前刀面上的摩擦状态应是粘结 -滑移摩擦同时存在 ,并研究了刀具摩擦系数各向异性对超精密切削中切屑变形、切削力、剪切角的影响。 展开更多
关键词 超精密切削 有限元法 各向异性 粘结-滑移 摩擦 金刚石车削 切削
下载PDF
切削条件对超精密切削过程影响的数值模拟 被引量:4
14
作者 景秀并 林滨 张大卫 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期1100-1105,共6页
基于大变形Lagrange有限元理论、修正的JC本构关系和Cockroft-Latham切削断裂标准建立了超精密切削的三维有限元模型.采用此模型研究切削条件对超精密切削表面质量的影响.仿真结果表明:适当增大刀具后角,可使工件表面的最大位移变化量... 基于大变形Lagrange有限元理论、修正的JC本构关系和Cockroft-Latham切削断裂标准建立了超精密切削的三维有限元模型.采用此模型研究切削条件对超精密切削表面质量的影响.仿真结果表明:适当增大刀具后角,可使工件表面的最大位移变化量有所下降,提高加工质量;刀尖半径对加工表面质量影响较大,刀尖半径越小,加工表面质量越好;切削深度对加工表面质量的影响不明显,为了保证加工效率,切削深度一般和刀尖半径相当;切削速度影响表面质量和切削效率,速度太大或太小都会影响加工表面质量,加工铝合金时切削速度为150,m/min左右.最后试验结果验证了模型的正确性. 展开更多
关键词 有限元 超精密切削 表面质量 切削条件
下载PDF
金刚石刀具刀尖几何形状对超精密切削加工质量的影响 被引量:6
15
作者 张文生 张飞虎 《工具技术》 北大核心 2005年第8期38-39,共2页
指出超精密切削实际上是刀具刀尖部分与工件的相互作用,分析了金刚石刀具刀尖几何形状和切削刃的锋利度对超精密切削加工质量的影响。认为正确地选择刀尖部分几何形状和修光刃钝圆半径是获得高质量加工表面的有力保证。
关键词 金刚石刀具 超精密切削 刀尖 修光刃 加工质量 几何形状 相互作用 加工表面 钝圆半径 锋利度
下载PDF
单晶硅超精密切削的刀具磨损试验研究 被引量:3
16
作者 王明海 张枢南 +2 位作者 郑耀辉 王奔 印文典 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2017年第5期133-136,共4页
针对单晶硅超精密切削过程中金刚石刀具磨损问题,对单晶硅进行超精密车削试验。通过观察金刚石刀具磨损演变过程,分析刀具的磨损过程对表面加工质量的影响,得到刀具磨损机理。结果表明,在超精密切削单晶硅过程中,随着切削距离的增加,刀... 针对单晶硅超精密切削过程中金刚石刀具磨损问题,对单晶硅进行超精密车削试验。通过观察金刚石刀具磨损演变过程,分析刀具的磨损过程对表面加工质量的影响,得到刀具磨损机理。结果表明,在超精密切削单晶硅过程中,随着切削距离的增加,刀具磨损面积逐渐增加,加工过程中产生的碳化硅及类似金刚石碳颗粒与刀具后刀面发生划擦造成磨粒磨损;同时,由于交变载荷作用导致的应力疲劳现象,进而伴有解理断裂产生。当切削路程小于4km时,加工表面的粗糙度Ra值在200nm以内,切削路程大于8km时,表面粗糙度Ra值在350nm^400nm之间。 展开更多
关键词 单晶硅 超精密切削 类金刚石碳原子 磨粒磨损 应力疲劳
下载PDF
碳钢材料超精密切削的最新研究进展 被引量:3
17
作者 李占杰 宫虎 +2 位作者 靳刚 卢振丰 陈达任 《工具技术》 2018年第7期10-16,共7页
碳钢材料作为应用最广的工程材料,以成本低廉、应用广泛而倍受超精密加工领域的重视。然而碳钢材料在超精密切削过程中会导致金刚石刀具严重磨损,被认为是金刚石不可切削材料。本文首先对金刚石刀具磨损机理研究进行了综合评述;其次分... 碳钢材料作为应用最广的工程材料,以成本低廉、应用广泛而倍受超精密加工领域的重视。然而碳钢材料在超精密切削过程中会导致金刚石刀具严重磨损,被认为是金刚石不可切削材料。本文首先对金刚石刀具磨损机理研究进行了综合评述;其次分别从加工工艺、刀具、工件材料以及它们的复合改善等四个方面对各种解决方法进行分类述评和比较分析,并对最有前景的方法进行了展望,以期为化学性质相似的其他元素金属(元素周期表第Ⅳ-Ⅷ族过渡元素Nb、Co、Mn、Ni、Cr、Ti等及其合金)的超精密切削研究提供参考。 展开更多
关键词 碳钢材料 超精密切削 金刚石刀具 磨损 研究进展
下载PDF
切削深度对超精密切削过程影响的有限元分析 被引量:4
18
作者 王洪祥 孟庆鑫 +1 位作者 高群涛 庄文义 《工具技术》 北大核心 2004年第7期6-9,共4页
基于大变形有限元理论和更新的拉格朗日方程式 ,建立了热耦合的平面应变正交切削有限元仿真模型。采用通用的商业非线性有限元软件 ,对无氧铜超精密切削加工过程进行了仿真 ,研究超精密切削过程中切削深度对切削力、残余应力、等效应力... 基于大变形有限元理论和更新的拉格朗日方程式 ,建立了热耦合的平面应变正交切削有限元仿真模型。采用通用的商业非线性有限元软件 ,对无氧铜超精密切削加工过程进行了仿真 ,研究超精密切削过程中切削深度对切削力、残余应力、等效应力、等效应变和切削温度的影响。通过对超精密切削有限元仿真结果的分析 ,可以优选出合理的切削参数。 展开更多
关键词 金刚石刀具 超精密切削 切削深度 有限元分析 拉格朗日方程 热耦合 仿真
下载PDF
精密、超精密切削时PCD刀具后刀面的错位熨压作用 被引量:2
19
作者 张雷 周祖德 王立江 《工具技术》 北大核心 2000年第1期10-12,共3页
根据精密、超精密切削的特点,对PCD刀具后刀面的熨压作用进行了分析,提出了错位强度的概念,并通过试验获得了PCD刀具后刀面错位熨压的规律。
关键词 超精密切削 PCD刀具 后刀面 错位熨压 精密切削
下载PDF
金刚石超精密切削加工技术 被引量:3
20
作者 张锦亮 李军琪 《应用光学》 CAS CSCD 2003年第B08期80-87,共8页
简要介绍超精密金刚石切削技术的概念及应用。介绍超精密金刚石加工技术应用实例。详细阐述影响金刚石超精密切削加工的因素。
关键词 金刚石 超精密切削加工技术 影响因素 机床 单晶金刚石刀具 纳米加工技术 衍射光学元件
下载PDF
上一页 1 2 6 下一页 到第
使用帮助 返回顶部