为了满足3300 V FRD反向漏电低,反向恢复软度大的应用要求,本文介绍了一种新的FRD设计。该设计通过优化阳极掺杂,采用轻离子辐照和电子辐照相结合的寿命控制方式来增加FRD的反向恢复软度,降低FRD的漏电流,通过台阶形场板保护环结构来降...为了满足3300 V FRD反向漏电低,反向恢复软度大的应用要求,本文介绍了一种新的FRD设计。该设计通过优化阳极掺杂,采用轻离子辐照和电子辐照相结合的寿命控制方式来增加FRD的反向恢复软度,降低FRD的漏电流,通过台阶形场板保护环结构来降低保护环的漏电流。采用8英寸平面栅加工工艺得到的芯片封装成了3300 V/1500 A FRD模块。模块在高温150℃下的V_(F)为2.18 V,漏电流I_(R)为10 mA,反向恢复能量(E_(rec))为1665 mJ,关断软度为3.67,反向恢复极限di/dt为8000A/us时承受的功率可达3210 kW。展开更多
文摘为了满足3300 V FRD反向漏电低,反向恢复软度大的应用要求,本文介绍了一种新的FRD设计。该设计通过优化阳极掺杂,采用轻离子辐照和电子辐照相结合的寿命控制方式来增加FRD的反向恢复软度,降低FRD的漏电流,通过台阶形场板保护环结构来降低保护环的漏电流。采用8英寸平面栅加工工艺得到的芯片封装成了3300 V/1500 A FRD模块。模块在高温150℃下的V_(F)为2.18 V,漏电流I_(R)为10 mA,反向恢复能量(E_(rec))为1665 mJ,关断软度为3.67,反向恢复极限di/dt为8000A/us时承受的功率可达3210 kW。
