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激光清洗——微电子元件 被引量:4
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作者 宋峰 邹万芳 +1 位作者 刘淑静 田彬 《清洗世界》 CAS 2006年第1期38-43,共6页
简单介绍了激光清洗在微电子领域应用的优势,分析了激光清洗微电子元件的主要机理以及影响微电子元件清洗的主要因素,最后指出了这方面的应用情况。
关键词 细小微粒 近场光学聚焦 紫外激光
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Fabrication of Windowed Very-Small-Aperture Laser Diodes
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作者 康香宁 徐云 +2 位作者 宋国峰 叶晓军 陈良惠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1145-1148,共4页
A windowed very small aperture laser (VSAL) source for use in high resolution near field optical data storage is fabricated.The windowed regions are introduced to avoid shorting the pn junction with metal coating a... A windowed very small aperture laser (VSAL) source for use in high resolution near field optical data storage is fabricated.The windowed regions are introduced to avoid shorting the pn junction with metal coating and suppress the COD effect.It facilitates producing VSAL by simplified technology and improves the laser performance.A VSAL with 400nm small aperture is demonstrated by focused ion beam (FIB) and the output power is 0 3mW at 31mA. 展开更多
关键词 very small aperture laser optical near field ridge waveguide focused ion beam
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