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题名适温离子交换掺铒铌酸锂薄膜的制备研究
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作者
何雨轩
吴江威
陈玉萍
陈险峰
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机构
上海交通大学物理与天文学院
宁夏大学物理学院
山东师范大学
上海量子科学研究中心
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出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2024年第3期441-448,共8页
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基金
国家自然科学基金重点项目(12134009)。
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文摘
本文通过制备KNO_(3)和Er(NO_(3))_(3)熔融混合物,将其与铌酸锂薄膜在高温管式炉中混合进行适温热扩散,并结合退火工艺,发明了一种直接在铌酸锂薄膜上掺杂Er^(3+)的方法。通过不断变换热扩散温度、掺杂试剂浓度比例和晶体切向等参数,用控制变量法探究了不同参数对适温离子交换法掺杂Er^(3+)效果的影响,在热扩散和退火温度360℃及KNO_(3)和Er(NO_(3))_(3)质量比25∶1的参数设置下获得了表面形貌较佳的Z切掺铒铌酸锂薄膜。通过飞行时间二次离子质谱仪并利用已知掺杂浓度的薄膜进行定标,检测了所获得的掺铒铌酸锂薄膜中的Er^(3+)浓度情况,对所采用适温离子交换法的有效性进行了验证。这一方法大幅简化了铌酸锂薄膜掺杂的工艺,同时节约了成本,有助于后续在铌酸锂薄膜平台上实现分区掺杂的工作,为未来定制化铌酸锂光子集成平台的搭建提供参考。
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关键词
铌酸锂薄膜
Er^(3+)
适温离子交换
二次离子质谱仪
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Keywords
thin film lithium niobate
Er^(3+)
low temperature ion exchange
secondary ion mass spectrometry
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分类号
O734
[理学—晶体学]
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