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基于RP技术的激光诱导选择性化学沉积微细加工技术的研究 被引量：2
1
作者 刘立兵 赵毅 +1 位作者 李明辉 潘伟 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期137-142,共6页
在介绍快速成形技术以及微机电系统与微细加工技术的基础之上,对比分析了一些基于快速成形技术微细加工方法的优缺点及其最新研究成果。对于激光诱导选择性化学液相沉积快速成形技术的研究,首先从整个的系统原理到工艺流程进行详细地论... 在介绍快速成形技术以及微机电系统与微细加工技术的基础之上,对比分析了一些基于快速成形技术微细加工方法的优缺点及其最新研究成果。对于激光诱导选择性化学液相沉积快速成形技术的研究,首先从整个的系统原理到工艺流程进行详细地论述,并指出此技术所存在的一些优缺点。在普通玻璃上进行了激光诱导选择性化学液相沉积铜的试验,成功地沉积出点、线和面并实现了分层累加的沉积。在从激光诱导化学液相沉积技术的沉积原理和反应机理的分析到反应速率及沉积速率模型的建立的基础之上,进一步论证了激光诱导选择性化学沉积快速成形技术在三维微细加工方面的应用上是可行的。 展开更多
关键词 RP技术 快速成形 激光诱导 选择性化学沉积 微细加工 微型部件
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数控选择性电化学沉积快速成型装置的设计 被引量：3
2
作者 黎建军 李湘生 +2 位作者 梁天长 陈里龙 李高飞 《机械工程师》 2008年第11期8-10,共3页
数控选择性电化学沉积(NSE)快速成型是将电化学沉积和快速成型工艺相结合的一种新的加工工艺。根据数控选择性电化学沉积快速制造工艺原理,对其基本工艺过程进行分析,建立了制造工艺过程与设备机械系统之间的关系。装置主要由主支撑架... 数控选择性电化学沉积(NSE)快速成型是将电化学沉积和快速成型工艺相结合的一种新的加工工艺。根据数控选择性电化学沉积快速制造工艺原理,对其基本工艺过程进行分析,建立了制造工艺过程与设备机械系统之间的关系。装置主要由主支撑架、运动执行机构、电铸液循环系统、电沉积等部分组成。在此基础上完成了数控选择性电化学沉积快速制造工艺设备的研制。 展开更多
关键词 选择性电化学沉积 快速成型 机械系统 工艺过程
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激光诱导化学沉积三维加工技术 被引量：2
3
作者 刘立兵 赵毅 +1 位作者 李明辉 潘伟 《应用激光》 CSCD 北大核心 2002年第2期160-164,共5页
本文提出了激光诱导化学液相沉积快速成型技术(LCLD＆RP)。CO_2激光经扩束,聚焦到浸入化学镀液(室温)中的衬底上,使得衬底局域升温,并发生化学反应沉积出固体物质。通过激光束逐点层扫描并沉积出所想要的三维形状实体。并就激光化学液... 本文提出了激光诱导化学液相沉积快速成型技术(LCLD＆RP)。CO_2激光经扩束,聚焦到浸入化学镀液(室温)中的衬底上,使得衬底局域升温,并发生化学反应沉积出固体物质。通过激光束逐点层扫描并沉积出所想要的三维形状实体。并就激光化学液相沉积快速成型技术的可行性进行了讨论。 展开更多
关键词 快速成型 激光诱导 选择性化学沉积 微细加工 微型部件
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纳米间隙电极的加工研究进展 被引量：1
4
作者 顾宁 黄岚 +2 位作者 徐丽娜 王孟 廖建辉 《微细加工技术》 2003年第4期1-8,26,共9页
分类介绍了国内外加工纳米间隙电极的主要研究进展,并特别介绍了近期发展起来的一般光刻技术结合选择性化学沉积方法制备纳米间隙电极的研究结果,对今后的相关研究问题进行了讨论。采用选择性化学沉积技术制备镍双电极的间隙已可小于10... 分类介绍了国内外加工纳米间隙电极的主要研究进展,并特别介绍了近期发展起来的一般光刻技术结合选择性化学沉积方法制备纳米间隙电极的研究结果,对今后的相关研究问题进行了讨论。采用选择性化学沉积技术制备镍双电极的间隙已可小于100nm。该技术对于制备纳米间隙电极具有一定的优势。 展开更多
关键词 纳米间隙电极 光刻 选择性化学沉积 镍双电极 电子束刻蚀
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低能电子束制备硅基纳米薄膜微结构研究
5
作者 陈炯枢 陈学康 +1 位作者 刘相 刘建喜 《真空》 CAS 北大核心 2007年第6期34-38,共5页
本文提出了一种新颖的结合自组装技术和电子束直写曝光以及选择性化学沉积制备图案化薄膜方法。利用X-射线光电子能谱(XPS),扫描电子显微镜(SEM),透射电子显微镜(TEM)紫外可见光谱仪(Analytic Jena AG)进行了表征。结果表明该方法取得... 本文提出了一种新颖的结合自组装技术和电子束直写曝光以及选择性化学沉积制备图案化薄膜方法。利用X-射线光电子能谱(XPS),扫描电子显微镜(SEM),透射电子显微镜(TEM)紫外可见光谱仪(Analytic Jena AG)进行了表征。结果表明该方法取得了选择性较好的图案化金薄膜微结构图形。文中对胶体金纳米颗粒尺寸的选择以及金薄膜图案的粘附性能也进行了探讨。该方法有望应用于微/纳电子工业中。 展开更多
关键词 电子束直写曝光 选择性化学沉积 图案化
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