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一种新的快速成形技术——选择性电铸
被引量：
13
1
作者
吴安德
王帮峰
+3 位作者
吕益艳
云乃彰
黄因慧
余承业
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第z1期81-82,共3页
快速成形能在不需要工具或模具的情况下，迅速制造出任意复杂形状又具有一定功能的三维实体模型或零件，电铸用电沉积的方法加工或复制零件。介绍了将电铸和快速成形技术结合在一起而形成的新的加工艺——选择性电铸，介绍如解决选择性...
快速成形能在不需要工具或模具的情况下，迅速制造出任意复杂形状又具有一定功能的三维实体模型或零件，电铸用电沉积的方法加工或复制零件。介绍了将电铸和快速成形技术结合在一起而形成的新的加工艺——选择性电铸，介绍如解决选择性电铸中存在的电铸速度过慢的问题，并提供了提高电铸速度的方案。
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关键词
快速成形
电铸
选择性电铸
喷嘴
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职称材料
选择性电铸的分层切片算法研究
被引量：
1
2
作者
张建华
赵剑峰
+3 位作者
田宗军
黄因慧
余承业
胡育文
《南京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期590-594,共5页
选择性电铸是近几年来出现的一种快速成型工艺。在介绍选择性电铸工艺原理与成型设备基础上 ,本文分析了选择性电铸的分层切片处理特点 ,提出了一种适于选择性电铸工艺特点的数据处理方法并详细论述了其实现过程。这种算法综合了简单扫...
选择性电铸是近几年来出现的一种快速成型工艺。在介绍选择性电铸工艺原理与成型设备基础上 ,本文分析了选择性电铸的分层切片处理特点 ,提出了一种适于选择性电铸工艺特点的数据处理方法并详细论述了其实现过程。这种算法综合了简单扫描与螺旋线扫描两种扫描线填充算法的优点 ,采用所提出的扫描线共区判据 ,将加工层面的所有扫描线划分为若干个相互独立的加工扫描区 ,相邻扫描线间的进给线为层面边界 ,不同扫描区之间通过电铸喷嘴的快速移动线相连 。
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关键词
选择性电铸
数据处理
分层切片算法
快速成型工艺
扫描线生成算法
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职称材料
微陀螺仪敏感芯片的选择性电铸技术研究
3
作者
单光宝
刘佑宝
+1 位作者
李兴凯
陈福山
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004年第2期4-7,共4页
介绍了一种新的MEMS器件敏感芯片的制备技术———选择性电铸技术。以金为检测电极、铜为牺牲层、正胶作为电铸胎膜,在牺牲层上经过数次电铸形成MEMS器件敏感芯片的各组成部分,腐蚀掉牺牲层后便得到了所需的敏感芯片。以微机械陀螺仪敏...
介绍了一种新的MEMS器件敏感芯片的制备技术———选择性电铸技术。以金为检测电极、铜为牺牲层、正胶作为电铸胎膜,在牺牲层上经过数次电铸形成MEMS器件敏感芯片的各组成部分,腐蚀掉牺牲层后便得到了所需的敏感芯片。以微机械陀螺仪敏感芯片的制备为例,介绍了选择性电铸技术的工艺流程,进行了工艺流片,所制备的微机械陀螺仪敏感芯片结构完整、侧壁陡直、表面平整。该技术在电容式微加速度计及微机械陀螺仪等多种MEMS器件敏感芯片的制作中有广泛的应用前景。
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关键词
MEMS器件
敏感芯片
微机械陀螺仪
选择性电铸
结构
工作原理
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职称材料
选择性电铸扫描轨迹的研究
4
作者
吴安德
黄因慧
+1 位作者
张建华
余承业
《电加工与模具》
2001年第4期18-20,共3页
选择性电铸是将快速成形技术与电铸结合在一起而形成的一种新的快速成形方法。在讨论快速成形制造技术切片算法的基础上 ,介绍如何将三维实体的STL文件变成选择性电铸中的喷嘴分区连续扫描轨迹 ,以满足选择性电铸的特殊工艺要求。
关键词
选择性电铸
快速成形
数据处理
扫描轨迹
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职称材料
一种解决传统电铸缺陷的新方法
被引量：
1
5
作者
王帮峰
吴安德
+2 位作者
吕益艳
黄因慧
余承业
《机械设计与制造工程》
2001年第3期66-68,共3页
电铸作为一种精密制造技术 ,在许多高技术领域得到成功的应用 ,然而电铸存在的缺陷严重制约了其应用和发展。对此分析了导致电铸缺陷的主要原因和解决方法 ,提出了一种新的解决方案———选择性射流电铸工艺方案。试验结果表明 。
关键词
电铸
射流
选择性电铸
快速成型
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职称材料
微电铸技术及其工艺优化进展研究
被引量：
18
6
作者
李冠男
黄成军
+3 位作者
罗磊
郭旻
于中尧
于军
《微细加工技术》
EI
2006年第6期1-5,27,共6页
随着微机电系统(MEMS)和微影微电铸微模铸(LIGA)两种技术的发展,微电铸工艺正逐渐展现着其独特的魅力和发展潜力。然而,现有工艺中存在的缺陷也严重阻碍了其进一步发展。因此,对微电铸工艺进行深入研究,突破其工艺瓶颈,将对微加工工艺...
随着微机电系统(MEMS)和微影微电铸微模铸(LIGA)两种技术的发展,微电铸工艺正逐渐展现着其独特的魅力和发展潜力。然而,现有工艺中存在的缺陷也严重阻碍了其进一步发展。因此,对微电铸工艺进行深入研究,突破其工艺瓶颈,将对微加工工艺的应用和推广起着重要作用。着眼于目前微电铸工艺中存在的不足,从工艺缺陷的理论形成机理出发,总结了近期微电铸领域在工艺缺陷的改进方面所做出的努力及成果,并对微电铸工艺未来的发展趋势提出了一些看法。
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关键词
微
电铸
工艺
微影微
电铸
微模铸
微机电系统
选择性
射流
电铸
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职称材料
题名
一种新的快速成形技术——选择性电铸
被引量：
13
1
作者
吴安德
王帮峰
吕益艳
云乃彰
黄因慧
余承业
机构
南京航空航天大学南京市
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第z1期81-82,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目（59935110）
文摘
快速成形能在不需要工具或模具的情况下，迅速制造出任意复杂形状又具有一定功能的三维实体模型或零件，电铸用电沉积的方法加工或复制零件。介绍了将电铸和快速成形技术结合在一起而形成的新的加工艺——选择性电铸，介绍如解决选择性电铸中存在的电铸速度过慢的问题，并提供了提高电铸速度的方案。
关键词
快速成形
电铸
选择性电铸
喷嘴
分类号
TG622 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
下载PDF
职称材料
题名
选择性电铸的分层切片算法研究
被引量：
1
2
作者
张建华
赵剑峰
田宗军
黄因慧
余承业
胡育文
机构
南京航空航天大学自动化学院
南京航空航天大学机电学院
出处
《南京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期590-594,共5页
基金
国家自然科学基金 ( 5 993 5 1 1 0
5 0 1 75 0 5 3 )资助项目
文摘
选择性电铸是近几年来出现的一种快速成型工艺。在介绍选择性电铸工艺原理与成型设备基础上 ,本文分析了选择性电铸的分层切片处理特点 ,提出了一种适于选择性电铸工艺特点的数据处理方法并详细论述了其实现过程。这种算法综合了简单扫描与螺旋线扫描两种扫描线填充算法的优点 ,采用所提出的扫描线共区判据 ,将加工层面的所有扫描线划分为若干个相互独立的加工扫描区 ,相邻扫描线间的进给线为层面边界 ,不同扫描区之间通过电铸喷嘴的快速移动线相连 。
关键词
选择性电铸
数据处理
分层切片算法
快速成型工艺
扫描线生成算法
Keywords
selective electroforming
data process
rapid prototyping
algorithm
分类号
TQ153.4 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
微陀螺仪敏感芯片的选择性电铸技术研究
3
作者
单光宝
刘佑宝
李兴凯
陈福山
机构
西安微电子技术研究所
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004年第2期4-7,共4页
基金
十五"预研<航天支撑技术>(41701020501)
文摘
介绍了一种新的MEMS器件敏感芯片的制备技术———选择性电铸技术。以金为检测电极、铜为牺牲层、正胶作为电铸胎膜,在牺牲层上经过数次电铸形成MEMS器件敏感芯片的各组成部分,腐蚀掉牺牲层后便得到了所需的敏感芯片。以微机械陀螺仪敏感芯片的制备为例,介绍了选择性电铸技术的工艺流程,进行了工艺流片,所制备的微机械陀螺仪敏感芯片结构完整、侧壁陡直、表面平整。该技术在电容式微加速度计及微机械陀螺仪等多种MEMS器件敏感芯片的制作中有广泛的应用前景。
关键词
MEMS器件
敏感芯片
微机械陀螺仪
选择性电铸
结构
工作原理
Keywords
MEMS
micro-gyroscope
selectively electroforming
分类号
TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
选择性电铸扫描轨迹的研究
4
作者
吴安德
黄因慧
张建华
余承业
机构
南京航空航天大学
出处
《电加工与模具》
2001年第4期18-20,共3页
基金
国家自然科学基金重点资助项目!(5 9935 110 )
文摘
选择性电铸是将快速成形技术与电铸结合在一起而形成的一种新的快速成形方法。在讨论快速成形制造技术切片算法的基础上 ,介绍如何将三维实体的STL文件变成选择性电铸中的喷嘴分区连续扫描轨迹 ,以满足选择性电铸的特殊工艺要求。
关键词
选择性电铸
快速成形
数据处理
扫描轨迹
分类号
TQ153.4 [化学工程—电化学工业]
下载PDF
职称材料
题名
一种解决传统电铸缺陷的新方法
被引量：
1
5
作者
王帮峰
吴安德
吕益艳
黄因慧
余承业
机构
南京航空航天大学智能材料结构研究所
南京航空航天大学机电工程学院
出处
《机械设计与制造工程》
2001年第3期66-68,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目 (5 9935 110 )
文摘
电铸作为一种精密制造技术 ,在许多高技术领域得到成功的应用 ,然而电铸存在的缺陷严重制约了其应用和发展。对此分析了导致电铸缺陷的主要原因和解决方法 ,提出了一种新的解决方案———选择性射流电铸工艺方案。试验结果表明 。
关键词
电铸
射流
选择性电铸
快速成型
Keywords
Electroforming
Jet
Selective Electroforming
Rapid Prototyping
分类号
TQ153.4 [化学工程—电化学工业]
TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
微电铸技术及其工艺优化进展研究
被引量：
18
6
作者
李冠男
黄成军
罗磊
郭旻
于中尧
于军
机构
华中科技大学电子科学与技术系
生物芯片北京国家工程研究中心
出处
《微细加工技术》
EI
2006年第6期1-5,27,共6页
基金
国家863计划基金资助项目(2002AA2Z2011)
文摘
随着微机电系统(MEMS)和微影微电铸微模铸(LIGA)两种技术的发展,微电铸工艺正逐渐展现着其独特的魅力和发展潜力。然而,现有工艺中存在的缺陷也严重阻碍了其进一步发展。因此,对微电铸工艺进行深入研究,突破其工艺瓶颈,将对微加工工艺的应用和推广起着重要作用。着眼于目前微电铸工艺中存在的不足,从工艺缺陷的理论形成机理出发,总结了近期微电铸领域在工艺缺陷的改进方面所做出的努力及成果,并对微电铸工艺未来的发展趋势提出了一些看法。
关键词
微
电铸
工艺
微影微
电铸
微模铸
微机电系统
选择性
射流
电铸
Keywords
microelectroforming technology
LIGA
MEMS
selective jet electroforming
分类号
TQ153.4 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新的快速成形技术——选择性电铸
吴安德
王帮峰
吕益艳
云乃彰
黄因慧
余承业
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
13
下载PDF
职称材料
2
选择性电铸的分层切片算法研究
张建华
赵剑峰
田宗军
黄因慧
余承业
胡育文
《南京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
下载PDF
职称材料
3
微陀螺仪敏感芯片的选择性电铸技术研究
单光宝
刘佑宝
李兴凯
陈福山
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004
0
下载PDF
职称材料
4
选择性电铸扫描轨迹的研究
吴安德
黄因慧
张建华
余承业
《电加工与模具》
2001
0
下载PDF
职称材料
5
一种解决传统电铸缺陷的新方法
王帮峰
吴安德
吕益艳
黄因慧
余承业
《机械设计与制造工程》
2001
1
下载PDF
职称材料
6
微电铸技术及其工艺优化进展研究
李冠男
黄成军
罗磊
郭旻
于中尧
于军
《微细加工技术》
EI
2006
18
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职称材料
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