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BOX-COX变换与微电路工艺设备表征
被引量：
2
1
作者
游海龙
贾新章
+1 位作者
徐岚
陈光炳
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期398-402,共5页
(利用部分要因试验设计与数据转换表征微电路工艺设备)。因为试验数据的尺度效应和测量的固有属性,试验数据常违反模型误差的正态和一致性假设。通过BOX-COX数据转换分析,确定热氧化工艺目标值的最优转换形式,针对转换后数据建立的回归...
(利用部分要因试验设计与数据转换表征微电路工艺设备)。因为试验数据的尺度效应和测量的固有属性,试验数据常违反模型误差的正态和一致性假设。通过BOX-COX数据转换分析,确定热氧化工艺目标值的最优转换形式,针对转换后数据建立的回归模型满足上述假设。结果表明:数据转换的建模方法能满足方差分析的假设(违反度减轻),并且能更多发掘数据信息,氧化膜厚的模型拟合修正判定系数R2由93.54%增加到98.64%。所得模型用于优化工艺条件,在满足膜厚目标下,非均匀性由0.2%减小到0.08%。文中讨论的基于数据转换的建模方法可以用于半导体制造其他工艺。
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关键词
部分要因试验设计
微电路工艺
Box—Cox转换
方差分析假设
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职称材料
题名
BOX-COX变换与微电路工艺设备表征
被引量：
2
1
作者
游海龙
贾新章
徐岚
陈光炳
机构
西安电子科技大学微电子学院
模拟集成电路国家重点实验室
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期398-402,共5页
基金
模拟集成电路国家重点实验室基金资助项目(51439040103DZ0102)
文摘
(利用部分要因试验设计与数据转换表征微电路工艺设备)。因为试验数据的尺度效应和测量的固有属性,试验数据常违反模型误差的正态和一致性假设。通过BOX-COX数据转换分析,确定热氧化工艺目标值的最优转换形式,针对转换后数据建立的回归模型满足上述假设。结果表明:数据转换的建模方法能满足方差分析的假设(违反度减轻),并且能更多发掘数据信息,氧化膜厚的模型拟合修正判定系数R2由93.54%增加到98.64%。所得模型用于优化工艺条件,在满足膜厚目标下,非均匀性由0.2%减小到0.08%。文中讨论的基于数据转换的建模方法可以用于半导体制造其他工艺。
关键词
部分要因试验设计
微电路工艺
Box—Cox转换
方差分析假设
Keywords
fractional factorial experimental design
microcircuit process
Box-Cox transformation
assumption for variance analysis
分类号
TN406 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN306 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
BOX-COX变换与微电路工艺设备表征
游海龙
贾新章
徐岚
陈光炳
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005
2
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