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电子级Ⅲ族金属有机化合物的制备与应用进展
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作者 陈飞彪 谢贤清 +1 位作者 刘德永 郭晓红 《江西师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2021年第4期426-431,共6页
该文介绍了Ⅱ族、Ⅲ族金属有机化合物的合成方法、性质及其应用领域,特别对当前应用广泛的电子级Ⅲ族金属有机化合物的提纯方法做了系统介绍,指出目前电子级Ⅲ族金属有机化合物在应用过程中存在的不足及需改进的方向.重点阐述了迭氮类... 该文介绍了Ⅱ族、Ⅲ族金属有机化合物的合成方法、性质及其应用领域,特别对当前应用广泛的电子级Ⅲ族金属有机化合物的提纯方法做了系统介绍,指出目前电子级Ⅲ族金属有机化合物在应用过程中存在的不足及需改进的方向.重点阐述了迭氮类Ⅲ族金属有机化合物在MOCVD技术的未来应用中的优势及其研究进展,展望了电子级Ⅲ族金属有机化合物对于促进半导体技术科技进步的重要意义和需要进一步研究发展的方向. 展开更多
关键词 电子级金属有机化合物 制备方法 化合物半导体 配合物提纯技术
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