为了获得高性能单晶金刚石探测器,综述了一种制备高质量单晶金刚石的方法。在制备过程中,尝试使用了Lift-off剥离技术,使衬底可重复利用,大大降低了金刚石材料的成本。研究表明,通过该方法制备的金刚石材料质量优于商用"电子器件级...为了获得高性能单晶金刚石探测器,综述了一种制备高质量单晶金刚石的方法。在制备过程中,尝试使用了Lift-off剥离技术,使衬底可重复利用,大大降低了金刚石材料的成本。研究表明,通过该方法制备的金刚石材料质量优于商用"电子器件级"金刚石;利用该类材料制作的金刚石探测器性能优异:对14 Me V中子和5.486 Me Vα粒子的能量分辨率分别达到1.5%和0.3%,电荷收集效率接近100%。展开更多
文摘为了获得高性能单晶金刚石探测器,综述了一种制备高质量单晶金刚石的方法。在制备过程中,尝试使用了Lift-off剥离技术,使衬底可重复利用,大大降低了金刚石材料的成本。研究表明,通过该方法制备的金刚石材料质量优于商用"电子器件级"金刚石;利用该类材料制作的金刚石探测器性能优异:对14 Me V中子和5.486 Me Vα粒子的能量分辨率分别达到1.5%和0.3%,电荷收集效率接近100%。