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硅基钽酸锂异质晶圆键合工艺研究
1
作者 陈哲明 丁雨憧 +3 位作者 邹少红 龙勇 石自彬 马晋毅 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第4期634-640,共7页
5G移动通信的发展对声表面波滤波器提出了高频、小型化、集成化的要求。相较于传统压电体单晶材料,采用硅基压电单晶薄膜材料制备的声表面波滤波器具有高频、低插入损耗、高温稳定性等优势,是高性能声表面波器件发展的核心基础材料。Sma... 5G移动通信的发展对声表面波滤波器提出了高频、小型化、集成化的要求。相较于传统压电体单晶材料,采用硅基压电单晶薄膜材料制备的声表面波滤波器具有高频、低插入损耗、高温稳定性等优势,是高性能声表面波器件发展的核心基础材料。Smart-Cut^(TM)是制备硅基压电单晶薄膜材料的主要方法,键合工艺是其中的核心工序,键合质量决定了硅基压电单晶薄膜晶圆材料的质量,并影响器件性能。本文通过低温直接键合工艺,对等离子活化、兆声清洗、预键合、键合加固四道工序展开优化,最终实现了键合强度高达1.84 J/m^(2)、键合面积超过99.9%的高质量硅基钽酸锂异质晶圆键合。 展开更多
关键词 硅基钽酸锂 低温直接键合 等离子活化 兆声清洗 预键合 键合加固 声表面波滤波器
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硅基钽酸锂压电单晶复合薄膜材料及应用
2
作者 丁雨憧 何杰 +3 位作者 陈哲明 龙勇 毛世平 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第1期66-71,81,共7页
绝缘体上压电基板(POI)是一种新兴的压电单晶复合薄膜结构材料。POI基板由压电单晶材料薄层(单晶钽酸锂/铌酸锂)、二氧化硅层及高阻硅衬底构成,采用Smart-Cut工艺制备,可保证板层高均匀度及高质量的批量生产。通过这种基板可设计满足5G... 绝缘体上压电基板(POI)是一种新兴的压电单晶复合薄膜结构材料。POI基板由压电单晶材料薄层(单晶钽酸锂/铌酸锂)、二氧化硅层及高阻硅衬底构成,采用Smart-Cut工艺制备,可保证板层高均匀度及高质量的批量生产。通过这种基板可设计满足5G通信要求的高性能集成声表面波(SAW)谐振器和滤波器。基于POI材料制备的SAW器件具有高频、高品质因数(Q)值、低温度敏感性及较大带宽等优良特性,同时还能在同一芯片上集成多个SAW滤波器,具有广阔的市场应用前景。该文介绍了POI基板的制备、国内外的研究现状及POI基板在高性能SAW滤波器中的应用,综述了制备POI基板的关键技术并展望了未来的发展趋势。 展开更多
关键词 绝缘体上单晶钽酸锂薄膜(LTOI) POI基板 声表面波 智能剥离技术 晶体离子注入剥离(CIS) 晶圆键合
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基于36°Y-X钽酸锂的扇形声表滤波器设计与研究
3
作者 蒋道军 吴燕 +3 位作者 张显洪 肖强 董加和 蒋国宇 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第5期674-676,共3页
该文提出了基于钽酸锂漏波材料设计的扇形声表滤波器。钽酸锂在36°Y-X切向时,其机电耦合系数(ΔV/V)为2.4%、频率温度系数(TCF)为-32×10^(-6)/℃。36°Y-X钽酸锂具有较强的压电耦合性和适中的温度稳定性,用它设计相对带宽... 该文提出了基于钽酸锂漏波材料设计的扇形声表滤波器。钽酸锂在36°Y-X切向时,其机电耦合系数(ΔV/V)为2.4%、频率温度系数(TCF)为-32×10^(-6)/℃。36°Y-X钽酸锂具有较强的压电耦合性和适中的温度稳定性,用它设计相对带宽5%~10%的滤波器可以实现较小的插入损耗和适中的温度稳定性,器件实测结果与仿真相符。 展开更多
关键词 扇形声表滤波器 漏波材料 36°Y-X钽酸锂 插入损耗 温度稳定性
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42°Y钽酸锂晶体生长及性能研究
4
作者 于明晓 龙勇 +3 位作者 石自彬 陈哲明 邹少红 丁雨憧 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第1期26-28,共3页
钽酸锂晶体具有优异的压电性能,是声表面波(SAW)滤波器广泛使用的衬底材料。该文采用自主研制的提拉单晶炉,成功生长出4英寸、42°Y方向、外观完整的钽酸锂晶体。经可见及近红外分光光度计测试,晶体透过率接近80%;经X线摇摆测试,其... 钽酸锂晶体具有优异的压电性能,是声表面波(SAW)滤波器广泛使用的衬底材料。该文采用自主研制的提拉单晶炉,成功生长出4英寸、42°Y方向、外观完整的钽酸锂晶体。经可见及近红外分光光度计测试,晶体透过率接近80%;经X线摇摆测试,其半高全峰宽(FWHM)为28.4″,单晶性较好;采用差热分析仪对生长的晶体头尾进行居里温度测试,居里温度偏差为4.4℃。声表面波性能测试结果表明,钽酸锂晶体的声表面波速度、机电耦合系数和频率温度系数等指标均满足SAW滤波器的使用要求。 展开更多
关键词 钽酸锂 晶体 提拉法 声表面波滤波器
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钽酸锂晶体及其应用分析
5
作者 孔辉 张忠伟 +4 位作者 钱煜 沈浩 曹焕 徐秋峰 王勤峰 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第3期429-438,共10页
钽酸锂作为一种优良的多功能晶体材料,具有良好的压电、电光和热释电等性能,已被广泛应用于通信、电子等行业。该文介绍了钽酸锂晶体的结构、缺陷及性能调控方式,总结了钽酸锂晶体的制备方法及优缺点,分析了钽酸锂晶体在各应用领域的国... 钽酸锂作为一种优良的多功能晶体材料,具有良好的压电、电光和热释电等性能,已被广泛应用于通信、电子等行业。该文介绍了钽酸锂晶体的结构、缺陷及性能调控方式,总结了钽酸锂晶体的制备方法及优缺点,分析了钽酸锂晶体在各应用领域的国内外研究进展,并对钽酸锂晶体的发展进行了展望,以期对钽酸锂晶体的应用及研究提供帮助。 展开更多
关键词 钽酸锂 晶体 化学计量比 晶体制备 滤波器
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基于混合气体活化的硅基钽酸锂晶圆键合研究
6
作者 刘等等 帅垚 +2 位作者 黄诗田 吴传贵 张万里 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2023年第6期693-698,共6页
集成在硅基衬底上的钽酸锂薄膜在新型声学器件上具有重要应用,等离子体活化键合是其主要的集成方式,相关研究报道众多但仍缺乏对等离子体活化工艺的深入研究。本文研究了LT和Si衬底晶圆在不同活化气氛、频率和时间下的亲水性接触角变化... 集成在硅基衬底上的钽酸锂薄膜在新型声学器件上具有重要应用,等离子体活化键合是其主要的集成方式,相关研究报道众多但仍缺乏对等离子体活化工艺的深入研究。本文研究了LT和Si衬底晶圆在不同活化气氛、频率和时间下的亲水性接触角变化情况,探索了一套可以显著提高键合强度的活化参数。研究结果发现,对晶圆表面采用N_(2)加O_(2)混合活化60 s后,LT和Si衬底晶圆亲水性接触角达到最小值,分别为4.244°和3.859°。键合后用SEM扫描了样片的横截面,发现键合质量良好。最后对比了用O_(2)、N_(2)和Ar活化60 s,以及N_(2)加O_(2)混合活化60 s后键合片的键合强度,发现混合气体活化后键合强度最大,达到了9.05 MPa。 展开更多
关键词 晶圆键合 亲水角 活化 钽酸锂 硅基 键合强度
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溶胶凝胶法制备钽酸锂薄膜及其离子电导率性能研究
7
作者 苏文静 甘治平 +3 位作者 金克武 汤永康 李刚 沈洪雪 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第S02期88-91,共4页
利用溶胶凝胶法,以无水醋酸锂和乙氧基钽为反应前驱物合成了钽酸锂溶胶,将部分溶胶干燥后形成的粉末在600℃的高温下煅烧60 min。分别在石英玻璃、钠钙玻璃和不锈钢衬底上进行了旋涂镀膜,并分别在600℃和400℃下退火处理60 min。利用XR... 利用溶胶凝胶法,以无水醋酸锂和乙氧基钽为反应前驱物合成了钽酸锂溶胶,将部分溶胶干燥后形成的粉末在600℃的高温下煅烧60 min。分别在石英玻璃、钠钙玻璃和不锈钢衬底上进行了旋涂镀膜,并分别在600℃和400℃下退火处理60 min。利用XRD对煅烧粉末和薄膜进行物相分析,利用SEM、AFM分别对薄膜的膜厚、形貌和粗糙度进行分析,由其形貌图得出薄膜是由大小较为均匀的粒径约几十纳米的颗粒组成,其中膜表面粗糙度小于1 nm。对不锈钢衬底上厚度约500 nm的薄膜在400℃下处理后进行磁控溅射制备不锈钢上电极,利用电化学工作站进行电化学阻抗谱测试,并分析拟合得到LiTaO_(3)薄膜的离子电导率。结果表明,其室温离子电导率可达6.75×10^(-7)S/cm以上,比目前电致变色器件中常用的无机固体电解质的离了电导率要高。 展开更多
关键词 溶胶凝胶 钽酸锂 固体电解质 旋涂 电化学阻抗谱 离子电导率
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近化学计量比钽酸锂晶体的拉曼光谱研究 被引量：8
8
作者 师丽红 孔勇发 +11 位作者 阎文博 刘宏德 李晓春 谢翔 许京军 孙军 陈绍林 张玲 孙磊 赵迪 张万林 张光寅 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1024-1029,共6页
本文研究了不同组分钽酸锂晶体的拉曼散射光谱,我们发现,在谱线的形状和数量方面,近化学计量比晶体与同成分晶体存在明显差异。通过实验,我们得到了钽酸锂晶体完整的长波长光学模式,并首次给出了钽酸锂晶体拉曼线宽和晶体组分的定量关... 本文研究了不同组分钽酸锂晶体的拉曼散射光谱,我们发现,在谱线的形状和数量方面,近化学计量比晶体与同成分晶体存在明显差异。通过实验,我们得到了钽酸锂晶体完整的长波长光学模式,并首次给出了钽酸锂晶体拉曼线宽和晶体组分的定量关系。另外,我们还发现了两个与本征缺陷相关的局域模,278 cm-1和750 cm-1峰,它们的强度与晶体中本征缺陷的数量成正比。 展开更多
关键词 近化学计量比 钽酸锂晶体 拉曼光谱 缺陷
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基于钽酸锂晶体薄片的红外探测器设计及应用 被引量：4
9
作者 谭秋林 张文栋 +2 位作者 刘俊 薛晨阳 熊继军 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2011年第1期73-77,共5页
通过减薄、键合、抛光等技术加工成厚度达到10μm左右的超薄晶片,然后通过蒸金、黑化等处理技术将其制备成红外敏感元件.根据红外光谱吸收原理,为提高分辨率和选择性吸收性能,在敏感元件前段集成了窄带滤光片.制备的敏感元件与选用的窄... 通过减薄、键合、抛光等技术加工成厚度达到10μm左右的超薄晶片,然后通过蒸金、黑化等处理技术将其制备成红外敏感元件.根据红外光谱吸收原理,为提高分辨率和选择性吸收性能,在敏感元件前段集成了窄带滤光片.制备的敏感元件与选用的窄带滤光片,以及CMOS放大器与电阻和电容各一个都被封装和集成在一个TO-18型管壳内,最终被设计加工成为单一通道的红外探测器,其滤光片可根据要求的波带范围进行更换.利用两个吸收波长分别为(3 310±90)nm和(3 910±60)nm的单元探测器,设计并制作了一个微型气体传感器.该气体传感器能实现检测一些烃类气体,文中对乙烯气体进行了实验测试,并进行了实验数据分析.分析结果表明:这种气体传感器具备较好的检测气体浓度的能力,能检测的最大量程为30 000×10-6,达到分辨100×10-6的检测能力,且具有较好的重复性. 展开更多
关键词 钽酸锂 晶体薄片 红外吸收 气体传感器
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弱热释电效应黑色铌酸锂、钽酸锂晶体研究 被引量：9
10
作者 夏宗仁 崔坤 徐家跃 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2004年第2期126-128,共3页
采用化学还原工艺,在CO2与H2混合气氛下对LN和LT晶片分别进行700°C和450°C退火处理,成功地制备了LN和LT黑色晶片。静电位差、光透过率测量结果表明,还原处理后LN和LT晶片的热释电现象基本消失,其光透过率也显著降低。居里温... 采用化学还原工艺,在CO2与H2混合气氛下对LN和LT晶片分别进行700°C和450°C退火处理,成功地制备了LN和LT黑色晶片。静电位差、光透过率测量结果表明,还原处理后LN和LT晶片的热释电现象基本消失,其光透过率也显著降低。居里温度测试表明,还原处理对晶体的居里温度没有影响。 展开更多
关键词 铌酸锂 钽酸锂 热释电效应 晶片
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钽酸锂晶体滤波器的离子束刻蚀技术研究 被引量：8
11
作者 张永川 彭胜春 徐阳 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第3期474-475,共2页
以钽酸锂晶体作为晶体滤波器压电材料。通过优化离子束刻蚀工艺参数,采用间歇式离子束刻蚀方法,解决了刻蚀区微裂纹工艺问题,使厚度为60μm钽酸锂晶片减薄至30μm。利用反台阶结构晶片制作出了中心频率为70MHz、3dB带宽为1 109kHz的高... 以钽酸锂晶体作为晶体滤波器压电材料。通过优化离子束刻蚀工艺参数,采用间歇式离子束刻蚀方法,解决了刻蚀区微裂纹工艺问题,使厚度为60μm钽酸锂晶片减薄至30μm。利用反台阶结构晶片制作出了中心频率为70MHz、3dB带宽为1 109kHz的高基频宽带钽酸锂晶体滤波器。 展开更多
关键词 晶体滤波器 钽酸锂 离子束刻蚀 高频 宽带
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小型化宽带钽酸锂晶体滤波器 被引量：7
12
作者 陈湘渝 周哲 彭胜春 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第3期386-389,共4页
介绍比较了钽酸锂（LiTaO3,简称LT）晶体和其他几种常用压电体波材料的物理特性,并从电路结构设计、寄生和谐波抑制及温度性能等方面详细介绍了单片钽酸锂晶体滤波器的设计方法并根据该方案设计了一种11.2 MHz单片式晶体滤波器。结果表... 介绍比较了钽酸锂（LiTaO3,简称LT）晶体和其他几种常用压电体波材料的物理特性,并从电路结构设计、寄生和谐波抑制及温度性能等方面详细介绍了单片钽酸锂晶体滤波器的设计方法并根据该方案设计了一种11.2 MHz单片式晶体滤波器。结果表明,钽酸锂晶体能方便地实现相对带宽0.8%~4.0%、频率温度稳定性好、体积小的宽带晶体滤波器,具有广泛的应用价值。 展开更多
关键词 单片晶体滤波器 钽酸锂 小型化 宽带 能陷 机电耦合系数
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钽酸锂薄膜材料及其热释电红外传感器应用研究进展 被引量：3
13
作者 张德银 黄大贵 +2 位作者 李金华 董政 陈敏 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期10-12,20,共4页
介绍了钽酸锂薄膜材料及其热释电红外传感器应用研究概况;简要阐述了热释电红外传感器的工作原理;着重分析了钽酸锂薄膜材料的新制备技术,以及在热释电红外传感器应用方面的研究现状;指出了钽酸锂薄膜材料及其热释电红外传感器应用研究... 介绍了钽酸锂薄膜材料及其热释电红外传感器应用研究概况;简要阐述了热释电红外传感器的工作原理;着重分析了钽酸锂薄膜材料的新制备技术,以及在热释电红外传感器应用方面的研究现状;指出了钽酸锂薄膜材料及其热释电红外传感器应用研究发展前景。 展开更多
关键词 钽酸锂薄膜 制备技术 热释电红外传感器 应用
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表面还原处理对钽酸锂晶片电学性质的影响 被引量：3
14
作者 颜涛 姚淑华 +3 位作者 刘宏 王继扬 左致远 夏宗仁 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期713-717,共5页
以Y36°钽酸锂(LiTaO3,LT)晶片为研究对象,通过对同成分LT晶片(CLT)和深度还原黑色LT晶片(BLT)的比较研究,探讨了表面还原处理对钽酸锂晶片电学性能的影响。X射线衍射研究显示,还原处理对晶体结构没有明显影响。BLT的电导率比CLT明... 以Y36°钽酸锂(LiTaO3,LT)晶片为研究对象,通过对同成分LT晶片(CLT)和深度还原黑色LT晶片(BLT)的比较研究,探讨了表面还原处理对钽酸锂晶片电学性能的影响。X射线衍射研究显示,还原处理对晶体结构没有明显影响。BLT的电导率比CLT明显高4个数量级,达到7.7×10-12Ω-.1cm-1,其压电常数d33、居里温度和介电常数与CLT相差不大,介电损耗有所提高。研究结果表明,还原处理不改变晶体结构,但能提高晶片表面的电导率,从而改善和消除晶片在器件制备过程中因热释电效应引起的放电现象。 展开更多
关键词 钽酸锂 还原 电导率 压电性能 介电性能
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溶胶凝胶钽酸锂薄膜热释电红外探测器的设计与制备(英文) 被引量：6
15
作者 张德银 黄大贵 董政 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期113-118,共6页
在带微桥结构的石英玻璃基底上设计了一种新型Al-LiTaO3-ITO红外探测结构。在响应／参考双单元结构框架下，由振动、环境温度变化和日照变化引起的无效信号输出在前置放大电路处被消除掉了。用醋酸锂和乙醇钽作为起始反应物，通过溶胶... 在带微桥结构的石英玻璃基底上设计了一种新型Al-LiTaO3-ITO红外探测结构。在响应／参考双单元结构框架下，由振动、环境温度变化和日照变化引起的无效信号输出在前置放大电路处被消除掉了。用醋酸锂和乙醇钽作为起始反应物，通过溶胶凝胶工艺生成了对红外敏感的钽酸锂薄膜，并详细讨论了基于钽酸锂薄膜的红外探测器件制备工艺。用ITO衬底作下电极，蒸镀的Al点作上电极，在室温条件下测试了薄膜的介电特性，在1kHz处，介电常数为53．28，在40～10kHz内，介电损耗和介电系数呈下降趋势。器件的电压响应和比探测率测试结果表明75Hz处得到响应电压峰值9685V／W，器件的比探测率在70-100Hz区域保持在6．12×10^8cmHz^1／2 W^-1附近。 展开更多
关键词 钽酸锂薄膜 红外探测器 结构设计 溶胶凝胶
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基于超薄钽酸锂晶片及炭黑红外吸收层的热释电探测器 被引量：3
16
作者 赵玲 赵燕 +3 位作者 何秀丽 贾建 高晓光 李建平 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2014年第1期44-50,共7页
基于钽酸锂（LiTaO3）的热释电探测器具有灵敏度高、热释电系数大、响应范围宽等优点而被广泛应用于非分光红外气体检测．在nTaO3，热释电探测器制备过程中，采用预置沟槽方法制备出约20μm厚的超薄LiTaO3晶片，该方法既能控制晶片厚度... 基于钽酸锂（LiTaO3）的热释电探测器具有灵敏度高、热释电系数大、响应范围宽等优点而被广泛应用于非分光红外气体检测．在nTaO3，热释电探测器制备过程中，采用预置沟槽方法制备出约20μm厚的超薄LiTaO3晶片，该方法既能控制晶片厚度又能实现自动解片，简化了探测器制备工艺；采用电喷雾方法制备出炭黑红外吸收层，该方法工艺简便，制备的吸收层分布均匀，结构疏松．电喷雾时间为20rain时制备的吸收层在常用气体吸收波段（2．5～10μm）的红外吸收率达98％以上，使探测器信号幅值提高了约2．6倍．热释电探测器性能测试结果表明：单元结构探测器的黑体探测率可达1．78×10。cm·Hz1/2。／W；二元补偿结构探测器信噪比为单元器件的2倍；将二元补偿结构探测器应用于非分光红外气体测试系统，进行了SO2气体检测，等噪声检测下限约为1×10^-6． 展开更多
关键词 热释电 钽酸锂 炭黑红外吸收层 气体检测
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钽酸锂电光调Q晶体开关的制备研究 被引量：3
17
作者 李清连 商继芳 +2 位作者 吴婧 张玲 孙军 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第5期812-816,共5页
制备了双晶体匹配的钽酸锂电光调Q开关。首先理论分析了两匹配晶体通光方向尺寸偏差、轴向角偏差等对自然双折射补偿的影响,估算了消光比为100∶1时各加工参数应满足的指标要求。在此基础上,以平晶为基准面来保证晶向精度、同盘抛光来... 制备了双晶体匹配的钽酸锂电光调Q开关。首先理论分析了两匹配晶体通光方向尺寸偏差、轴向角偏差等对自然双折射补偿的影响,估算了消光比为100∶1时各加工参数应满足的指标要求。在此基础上,以平晶为基准面来保证晶向精度、同盘抛光来保证晶体尺寸,制备了满足条件的钽酸锂双晶匹配调Q开关。用锥光干涉的方法检测了匹配后晶体的光学均匀性,并在激光系统中测试了其调Q性能。结果表明匹配较好的LT调Q开关能够满足实际光学应用的需求。 展开更多
关键词 钽酸锂晶体 调Q开关 双晶体 自然双折射
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钽酸锂黑片的制备与性能研究 被引量：2
18
作者 龙勇 于明晓 +5 位作者 李和新 石自彬 王璐 丁雨憧 徐扬 吴兆刚 《压电与声光》 CAS 北大核心 2019年第3期340-343,共4页
为了获得高均匀性、低热释电的钽酸锂(LT)晶片,采用粉末掩埋法对42°Y-LT晶片进行了还原处理。结果表明,还原处理后的晶片电阻率为3.98×10^10Ω·cm;在365nm处透过率约为36.5%,透过率均匀性为1.15;热导率为2.66W/(m·... 为了获得高均匀性、低热释电的钽酸锂(LT)晶片,采用粉末掩埋法对42°Y-LT晶片进行了还原处理。结果表明,还原处理后的晶片电阻率为3.98×10^10Ω·cm;在365nm处透过率约为36.5%,透过率均匀性为1.15;热导率为2.66W/(m·K),热膨胀系数为2.79×10^-6K^-1,满足器件使用要求。通过声表面波器件验证实验表明,晶片抗静电能力效果明显,器件成品率较高,一致性好。 展开更多
关键词 钽酸锂 还原处理 电阻率 均匀性 晶片
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铌酸锂与钽酸锂晶体压电性能随空间变化的研究 被引量：4
19
作者 王越 蒋毅坚 杨赤 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期152-156,共5页
本文利用坐标变换的方法 ,探讨了LiNbO3与LiTaO3晶体压电系数d33,d31和机电耦合系数k33,k31随空间方向变化的规律 ,分别得到这 2种晶体的d33,d31,k33和k31的最大值及其方向。对于LiNbO3而言 ,maxd33=39.6pC/N ,maxk33=0 .6 0 ,在镜面yo... 本文利用坐标变换的方法 ,探讨了LiNbO3与LiTaO3晶体压电系数d33,d31和机电耦合系数k33,k31随空间方向变化的规律 ,分别得到这 2种晶体的d33,d31,k33和k31的最大值及其方向。对于LiNbO3而言 ,maxd33=39.6pC/N ,maxk33=0 .6 0 ,在镜面yoz内分别右偏z轴 6 1.0°和 57.0° ,数值分别是原来约 6 .4倍和 3.7倍。对于LiTaO3而言 ,maxd33=14.6pC/N ,maxk33=0 .35,在镜面yoz内分别右偏z轴 56 .5°和 54.0° ,数值分别是原来的 1.8倍和 2 .1倍。 展开更多
关键词 铌酸锂晶体 钽酸锂晶体 压电系数 电学性质
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钽酸锂晶体的生长及其物理性能的研究 被引量：3
20
作者 宋磊 李铭华 +2 位作者 徐玉恒 刘景和 杨奎盛 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1994年第2期146-150,共5页
本文报道了用硅钼棒电阻加热炉生长钽酸锂晶体的工艺条件，对晶体的透过率、双折射梯度、压电和声表面波等物理性能进行了测试，并研究了钽酸锂晶体在光波导方面的应用。
关键词 钽酸锂 引上法 晶体生长 压电晶体
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