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批处理离子注入机台锥角效应及注入角度对产品的影响
1
作者
朱红波
周祖源
+1 位作者
何永根
秦宏志
《电子与封装》
2014年第12期37-41,共5页
研究主要聚焦在批处理离子注入机台的沟道效应和锥角效应,以及阐述由于这些效应导致的晶圆片上的均匀性问题和产品上的良率损失。对于高能量离子注入,如果离子注入角度设定为0°会导致严重的沟道效应,但是大角度设定又会导致光刻胶...
研究主要聚焦在批处理离子注入机台的沟道效应和锥角效应,以及阐述由于这些效应导致的晶圆片上的均匀性问题和产品上的良率损失。对于高能量离子注入,如果离子注入角度设定为0°会导致严重的沟道效应,但是大角度设定又会导致光刻胶的阴影效应,所以对于注入角度的选取需要尽量小。对于越来越先进的半导体工艺技术,线宽越来越小,合适角度设定将显得尤其关键。运用二次离子质谱分析研究了控片上离子注入的分布,通过产品电性合格测试全片多点验证,表明了沟道效应和锥角效应的综合影响;得出了对于不同锥角机台合适的离子注入角度设定。
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关键词
批处理离子注入机
锥角效应
沟道
效应
均匀性
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职称材料
光学薄膜特性的锥角效应数值分析
被引量:
3
2
作者
刘华松
王利栓
+4 位作者
刘丹丹
姜承慧
姜玉刚
孙鹏
季一勤
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期309-313,共5页
建立非平行光入射多层膜的模型,给出了在圆形光束锥角入射时的薄膜特性表达式,对三类典型光学薄膜即多腔滤光片、非偏振分光薄膜和非偏振截止滤光薄膜的特性进行了数值实验。研究结果表明:随着光束入射锥角的增加,多腔滤光片的影响是中...
建立非平行光入射多层膜的模型,给出了在圆形光束锥角入射时的薄膜特性表达式,对三类典型光学薄膜即多腔滤光片、非偏振分光薄膜和非偏振截止滤光薄膜的特性进行了数值实验。研究结果表明:随着光束入射锥角的增加,多腔滤光片的影响是中心波长向短波方向移动,透射率下降和通带形状退化;非偏振分光薄膜的s和p偏振透射率增加,宽带波纹度增加;非偏振截止滤光薄膜的通带透射率出现周期振荡,s偏振的通带波纹度大于p偏振,通带波纹度总体具有增加的趋势,过渡区的陡度具有变大的趋势。
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关键词
薄膜
入射光
锥
角
透射率
锥角效应
原文传递
窄锥结构冰力分析
被引量:
10
3
作者
李锋
岳前进
《大连理工大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期223-227,共5页
为了满足窄锥结构动冰力函数构造的需要 ,提出了一个新的锥体结构冰力计算公式 .公式由体现锥角效应、接触宽度效应和冰断裂长度效应三参数表达 ,它能够合理地反映冰力幅值与作用周期的相关关系 .算例结果与几个有影响力的经验公式和理...
为了满足窄锥结构动冰力函数构造的需要 ,提出了一个新的锥体结构冰力计算公式 .公式由体现锥角效应、接触宽度效应和冰断裂长度效应三参数表达 ,它能够合理地反映冰力幅值与作用周期的相关关系 .算例结果与几个有影响力的经验公式和理论公式的比较显示 ,新公式能更好地模拟结构的实际冰力 .
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关键词
冰荷载
锥
体结构
冰力函数
海上抗冰结构
窄
锥
结构
窄
锥
冰力分析
锥角效应
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职称材料
题名
批处理离子注入机台锥角效应及注入角度对产品的影响
1
作者
朱红波
周祖源
何永根
秦宏志
机构
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
出处
《电子与封装》
2014年第12期37-41,共5页
文摘
研究主要聚焦在批处理离子注入机台的沟道效应和锥角效应,以及阐述由于这些效应导致的晶圆片上的均匀性问题和产品上的良率损失。对于高能量离子注入,如果离子注入角度设定为0°会导致严重的沟道效应,但是大角度设定又会导致光刻胶的阴影效应,所以对于注入角度的选取需要尽量小。对于越来越先进的半导体工艺技术,线宽越来越小,合适角度设定将显得尤其关键。运用二次离子质谱分析研究了控片上离子注入的分布,通过产品电性合格测试全片多点验证,表明了沟道效应和锥角效应的综合影响;得出了对于不同锥角机台合适的离子注入角度设定。
关键词
批处理离子注入机
锥角效应
沟道
效应
均匀性
Keywords
batch type implanter
cone angle effect
channeling effect
uniformity
分类号
TN306 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
光学薄膜特性的锥角效应数值分析
被引量:
3
2
作者
刘华松
王利栓
刘丹丹
姜承慧
姜玉刚
孙鹏
季一勤
机构
天津津航技术物理研究所
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期309-313,共5页
基金
国家自然科学基金重点项目(61235011)
国家重大科学仪器专项子项目(2012YQ04016405)
+1 种基金
天津市自然科学青年基金(12JCQNIC01200)
天津市自然科学基金(13JCYBJC17300)
文摘
建立非平行光入射多层膜的模型,给出了在圆形光束锥角入射时的薄膜特性表达式,对三类典型光学薄膜即多腔滤光片、非偏振分光薄膜和非偏振截止滤光薄膜的特性进行了数值实验。研究结果表明:随着光束入射锥角的增加,多腔滤光片的影响是中心波长向短波方向移动,透射率下降和通带形状退化;非偏振分光薄膜的s和p偏振透射率增加,宽带波纹度增加;非偏振截止滤光薄膜的通带透射率出现周期振荡,s偏振的通带波纹度大于p偏振,通带波纹度总体具有增加的趋势,过渡区的陡度具有变大的趋势。
关键词
薄膜
入射光
锥
角
透射率
锥角效应
Keywords
thin films~ cone angle of incident light~ transmittance~ cone angle effect
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
原文传递
题名
窄锥结构冰力分析
被引量:
10
3
作者
李锋
岳前进
机构
大连理工大学工程力学系
出处
《大连理工大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期223-227,共5页
基金
国家自然科学基金!资助项目 (重点项目 5 973 9170)
文摘
为了满足窄锥结构动冰力函数构造的需要 ,提出了一个新的锥体结构冰力计算公式 .公式由体现锥角效应、接触宽度效应和冰断裂长度效应三参数表达 ,它能够合理地反映冰力幅值与作用周期的相关关系 .算例结果与几个有影响力的经验公式和理论公式的比较显示 ,新公式能更好地模拟结构的实际冰力 .
关键词
冰荷载
锥
体结构
冰力函数
海上抗冰结构
窄
锥
结构
窄
锥
冰力分析
锥角效应
Keywords
ice loads
conical body structures/ice force function
分类号
TV311 [水利工程—水工结构工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
批处理离子注入机台锥角效应及注入角度对产品的影响
朱红波
周祖源
何永根
秦宏志
《电子与封装》
2014
0
下载PDF
职称材料
2
光学薄膜特性的锥角效应数值分析
刘华松
王利栓
刘丹丹
姜承慧
姜玉刚
孙鹏
季一勤
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
3
原文传递
3
窄锥结构冰力分析
李锋
岳前进
《大连理工大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001
10
下载PDF
职称材料
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0
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