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题名基于正交试验的石英摆片金丝键合焊接方法
被引量：1
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作者
郭月
王建青
李蔚
王玉琢
郭伟
刘振宇
刘代鑫
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机构
西安航天精密机电研究所
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出处
《新技术新工艺》
2023年第10期42-46,共5页
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文摘
为了避免石英摆式加速度计石英镀膜摆片人工焊接带来的个体差异,同时避免手工锡铅焊接助焊剂难清理导致多余物、不绝缘、焊点虚焊等风险,提出采用金丝键合工艺方法,在石英镀膜玻璃上键合金丝,实现石英摆式加速度计电气导通。通过对键合基体材料进行分析,选用热超声球-楔键合工艺方法,分别摸索影响金丝键合强度的关键因素(键合压力、键合时间、超声功率)中每个单因素工艺参数,确定单因素工艺参数的最优取值范围,并对具体参数采用正交试验法开展实验影响分析,快速、高效地确认金丝键合的最优工艺参数。对最优工艺键合参数进行装配验证,并对装配合格产品开展环境温度试验、力学试验、长时间可靠性增长试验等,最终验证金丝键合工艺方法可行。
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关键词
金丝键合
镀膜摆片
单因素
正交试验法
键合压力
键合时间
超声功率
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Keywords
gold wire bonding
coated pendulum
single-factor
orthogonal test method
bonding pressure
bonding time
ultrasound power
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分类号
TG456.9
[金属学及工艺—焊接]
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