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镧锶钴氧导电薄膜材料的制备方法
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作者 金雪文 《红外》 CAS 2002年第3期F004-F004,共1页
镧锶钴氧(La,Sr)CoO3(LSCO)导电薄膜材料因其在室温下具有优良的导电性能及可广泛用于燃料电池、氧渗透膜及铁电存储器的电极而备受关注。由于它具有钙钛矿的晶体结构并能和铅系列的钙钛矿铁电体的晶格匹配,因而可极好地改善铁电存储器... 镧锶钴氧(La,Sr)CoO3(LSCO)导电薄膜材料因其在室温下具有优良的导电性能及可广泛用于燃料电池、氧渗透膜及铁电存储器的电极而备受关注。由于它具有钙钛矿的晶体结构并能和铅系列的钙钛矿铁电体的晶格匹配,因而可极好地改善铁电存储器的疲劳特性。该材料特别适用于做铁电存储器的电极。在众多的LSCO导电薄膜材料制备方法中,化学溶液法具有诸多优点,如能精确控制化学计量比,晶化温度低。 展开更多
关键词 镧锶钴氧导电薄膜材料 制备方法 导电性能 化学溶液法
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La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3的化学溶液淀积法制备与表征及其应用 被引量:1
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作者 钟宇 王晓光 +2 位作者 林殷茵 黄维宁 汤庭鳌 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期280-284,共5页
采用化学溶液淀积法制备了具有纯钙钛矿结构和良好导电性能的La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3(LSCO)薄膜。LSCO的电阻率随着退火温度的升高、退火时间的增长和厚度增加而减小。650°C退火可以得到7mΩ·cm的电阻率。分别在LSCO和Pt衬底... 采用化学溶液淀积法制备了具有纯钙钛矿结构和良好导电性能的La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3(LSCO)薄膜。LSCO的电阻率随着退火温度的升高、退火时间的增长和厚度增加而减小。650°C退火可以得到7mΩ·cm的电阻率。分别在LSCO和Pt衬底上制备了Bi_4Ti_3O_(12)(BTO)薄膜,分析结果表明,使用LSCO衬底对BTO的析晶有影响,击穿电压、铁电特性均有较大改善。 展开更多
关键词 镧锶钴氧 钛酸铋 化学溶液淀积 铁电薄膜
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La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3薄膜的制备及其湿敏性质的研究 被引量:1
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作者 王建禄 彭巨擘 +2 位作者 蔡毅 普朝光 张鹏翔 《昆明理工大学学报(理工版)》 2006年第6期22-24,共3页
利用脉冲激光沉积(PLD)的方法,在SiO2/Si衬底成功制备了钙钛矿结构的La0.5Sr0.5CoO3薄膜.对制备的薄膜生长的薄膜进行了XRD测量分析,并且对薄膜的表面形貌进行了测量分析.着重对薄膜的电阻进行了测量,发现环境气氛对电阻的影响,进而对... 利用脉冲激光沉积(PLD)的方法,在SiO2/Si衬底成功制备了钙钛矿结构的La0.5Sr0.5CoO3薄膜.对制备的薄膜生长的薄膜进行了XRD测量分析,并且对薄膜的表面形貌进行了测量分析.着重对薄膜的电阻进行了测量,发现环境气氛对电阻的影响,进而对薄膜湿敏电阻进行了测量. 展开更多
关键词 脉冲激光溅射沉积 镧锶钴氧薄膜 湿敏电阻
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