电子洁净厂房防微振结构设计

1

作者 周晓梅 《四川建筑》 2023年第4期55-58,共4页

介绍具有防微振要求的电子洁净厂房的结构设计,介绍了实际工程的防微振结构体系,对高等级净化厂房中采用的两种不同的楼盖形式——华夫板和井字梁在实际工程中的适用性、经济性进行对比。电子高端制造业是电子工业化发展的高级阶段,其... 介绍具有防微振要求的电子洁净厂房的结构设计,介绍了实际工程的防微振结构体系,对高等级净化厂房中采用的两种不同的楼盖形式——华夫板和井字梁在实际工程中的适用性、经济性进行对比。电子高端制造业是电子工业化发展的高级阶段,其显著的特点是生产工艺的技术含量高,生产线自动化、精密化,生产过程无人化,用于生产的精密设备和仪器具有严格的微振动控制要求,结构设计应建立一个相应的防微振结构体系。 展开更多

关键词 洁净厂房 防微振 楼盖 华夫板 格子梁

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大型动力机器基础防微振计算理论与实测研究 被引量：22

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作者 王振宇 刘晶波 +1 位作者 裴欲晓 张克峰 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期363-366,共4页

基础平台防微振问题的研究对于高精密动力机器而言具有重要意义 ,本文给出了大型动力机器基础防微振计算的动力三维有限元法 ,该方法通过在大型通用有限元软件中植入等效单元 ,考虑了基础与地基的动力相互作用。通过理论计算、现场实测... 基础平台防微振问题的研究对于高精密动力机器而言具有重要意义 ,本文给出了大型动力机器基础防微振计算的动力三维有限元法 ,该方法通过在大型通用有限元软件中植入等效单元 ,考虑了基础与地基的动力相互作用。通过理论计算、现场实测结果的对比研究 ,证明本文方法具有较高精度 。 展开更多

关键词 动力基础 防微振 有限元法 现场实则

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计量精密仪器的防微振设计 被引量：2

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作者 冯苗锋 杨毅萌 +1 位作者 袁姗姗 王庭佛 《桂林理工大学学报》 CAS 北大核心 2012年第3期415-418,共4页

对于精密仪器防微振设计,当资料齐备时,可以通过计算进行相关设计。但往往由于振源振动干扰的复杂性及其在土壤中传播衰减的不确定性,计算结果的准确性难以判断。通过对某省级检测中心两栋检测楼中计量精密仪器的防微振设计,提出了计量... 对于精密仪器防微振设计,当资料齐备时,可以通过计算进行相关设计。但往往由于振源振动干扰的复杂性及其在土壤中传播衰减的不确定性,计算结果的准确性难以判断。通过对某省级检测中心两栋检测楼中计量精密仪器的防微振设计,提出了计量精密仪器的防微振设计思路、方法及其特点,对实施后隔振情况进行了测试,各指标达到容许振动的限值要求。 展开更多

关键词 精密仪器 基础 防微振 设计

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防微振设备基础的设计研究 被引量：9

4

作者 郑华山 《建筑结构》 CSCD 北大核心 2007年第6期18-20,共3页

阐述了如何调整防微振设备基础体系的固有频率,使之适当地大于周围振源的强迫振动频率,不发生共振。采取积极隔振和消极隔振措施,使防微振设备基础振动的最大振幅小于允许值。按上述原则成功设计了21台高精密机器、仪器的防微振设备基础... 阐述了如何调整防微振设备基础体系的固有频率,使之适当地大于周围振源的强迫振动频率,不发生共振。采取积极隔振和消极隔振措施,使防微振设备基础振动的最大振幅小于允许值。按上述原则成功设计了21台高精密机器、仪器的防微振设备基础,可供类似的工程设计参考。 展开更多

关键词 防微振 地基处理 桩基础 固有频率 自由振动 强迫振动 振幅 积极隔振 消极隔振

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IC工厂的防微振设计 被引量：4

5

作者 俞渭雄 陈骝 娄宇 《洁净与空调技术》 2007年第1期49-54,共6页

集成电路(IC)工厂设计的核心问题是微污染控制,防微振作为控制振动污染,在工程设计中占有重要的地位。防微振技术涉及的环节较多,本文提出依据现场测试与工程实践经验,把握主要环节,遵从系统性的观点,采用科学的方法,解决防微振问题。

关键词 集成电路 微污染控制 振动源 防微振结构 隔振措施

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现代科技发展中的防微振技术 被引量：9

6

作者 俞渭雄 陈骝 《洁净与空调技术》 2002年第2期59-63,共5页

现代科学技术的发展给防微振技术提出了更高的要求,它已成为一项前沿学科。本文在对防微振技术重要性分析的基础上,对精密设备、仪器微振动控制值确定原理及方法进行深入分析,在此基础上,提出了防微振的主要措施,并给出了工程应用实例,... 现代科学技术的发展给防微振技术提出了更高的要求,它已成为一项前沿学科。本文在对防微振技术重要性分析的基础上,对精密设备、仪器微振动控制值确定原理及方法进行深入分析,在此基础上,提出了防微振的主要措施,并给出了工程应用实例,最后展望了防微振技术发展的方向。 展开更多

关键词 防微振 隔振系统 振动控制系统

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IC工厂的防微振设计 被引量：1

7

作者 俞渭雄 陈骝 娄宇 《洁净与空调技术》 2006年第4期46-50,共5页

集成电路(IC)工厂设计的核心问题是微污染控制,防微振作为控制振动污染,在工程设计中占有重要的地位。防微振技术涉及的环节较多,本文提出依据现场测试与工程实践经验,把握主要环节,遵从系统性的观点,采用科学的方法,解决防微振问题。

关键词 集成电路 微污染控制 振动源 防微振结构 隔振措施

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空气弹簧的研究及在防微振领域的应用

8

作者 俞渭雄 《建筑结构》 CSCD 北大核心 1996年第12期33-37,共5页

阐述了作者从事防微振用空气弹簧隔振装置研究的结果,包括对隔振器、阻尼器、高度控制阀结构及性能的探讨.同时列举了若干应用实例.

关键词 空气弹簧 防微振 刚度 阻尼比 隔振

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一种防微振的光电编码器计数电路

9

作者 郭晋英 孙琳 《数据采集与处理》 CSCD 1996年第1期47-48,共2页

介绍一种实用的光电编码器计数电路．该计数电路可用于效显测量装置，特别适于在数控机床、伺服系统中应用，对系统中有微振动的增况，仍能获得准确的测量结果，有利于提高系统的控制精度．

关键词 光电编码器 计数电路 防微振 编码器

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某试验平台防微振有限元设计研究(Ⅱ)

10

作者 胡卫军 赵鹏 路桥潘 《四川建筑科学研究》 2014年第2期168-172,共5页

在项目要求超过相关标准最高指标情况下[1],以其他类似项目数据和实践经验为基础提出了容许振动值标准,并给出设计方案。通过有限元建模分析,计算出场地实测值及设计方案模型测试点的振动值,并与美国振动规范标准比对,验证了方案的有效... 在项目要求超过相关标准最高指标情况下[1],以其他类似项目数据和实践经验为基础提出了容许振动值标准,并给出设计方案。通过有限元建模分析,计算出场地实测值及设计方案模型测试点的振动值,并与美国振动规范标准比对,验证了方案的有效性和合理性。对之后类似项目设计工作有参考价值。 展开更多

关键词 有限元分析 容许振动值 防微振 设计

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某试验平台防微振有限元设计研究(Ⅰ)

11

作者 胡卫军 赵鹏 路桥潘 《四川建筑科学研究》 2014年第1期217-220,248,共5页

在项目要求超过相关标准最高指标情况下[1],以其他类似项目数据和实践经验为基础提出了容许振动值标准,并给出设计方案。通过有限元建模分析,计算出场地实测值及设计方案模型测试点的振动值,并与美国振动规范标准比对,验证了方案的有效... 在项目要求超过相关标准最高指标情况下[1],以其他类似项目数据和实践经验为基础提出了容许振动值标准,并给出设计方案。通过有限元建模分析,计算出场地实测值及设计方案模型测试点的振动值,并与美国振动规范标准比对,验证了方案的有效性和合理性。对之后类似项目设计工作有参考价值。 展开更多

关键词 有限元分析 容许振动值 防微振 设计

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防微振基础设计的方法和原理 被引量：1

12

作者 田栋 李军伟 +1 位作者 黄秋菊 付桂宏 《广东林勘设计》 2004年第3期46-51,共6页

分析振源的产生及分类，阐述隔振系统的隔振原理和基本方程。

关键词 防微振设计 基础设计 隔振系统 隔振原理

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高精密车床基础防微振的新尝试 被引量：1

13

作者 吴邦达 《建筑结构》 CSCD 北大核心 2001年第5期65-66,共2页

用低标号混凝土桩加固软弱地基 ,可以密实土质 ,提高刚度 ,减小变形。该法已用于高精密车床基础的防微振 ,并取得成功 。

关键词 地面振动 软弱地基 刚度比 防微振 车床

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某航天科研厂房工程防微振体系施工技术 被引量：1

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作者 黄亮 王良波 +1 位作者 詹志雄 林国潮 《施工技术》 CAS 北大核心 2013年第9期67-69,共3页

某航天光学遥感中心厂房大口径光学镜片研发车间,其试验平台防微振要求较高,并且绝对水平。为满足工程需要,采用隔振池+气浮平台形式的防微振体系。结合工程实际,详细介绍了防微振体系的技术特点、施工工艺、操作流程、质量及安全控制... 某航天光学遥感中心厂房大口径光学镜片研发车间,其试验平台防微振要求较高,并且绝对水平。为满足工程需要,采用隔振池+气浮平台形式的防微振体系。结合工程实际,详细介绍了防微振体系的技术特点、施工工艺、操作流程、质量及安全控制措施等。通过该防微振体系方案的实施和采用全数字化计算机系统监控,确保了工程准确度和精确度,取得了良好的施工效果。 展开更多

关键词 防微振体系 气浮平台 监测 施工技术

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超长环形大体积防微振地基混凝土的研究与工程应用

15

作者 杨柳 金鹭云 +3 位作者 杨家琦 冯鹏 任锦龙 张健 《建筑技术》 2021年第9期1028-1032,共5页

为满足超长环形大体积地基混凝土的防微振技术要求,分析混凝土裂缝对结构振动特性的影响,配制防微振混凝土并计算防微振混凝土最大浇筑尺寸。基于绝热温升指标的配合比正交设计确定其基准参数为:水胶比0.66、胶材总量250 kg/m^(3)、掺... 为满足超长环形大体积地基混凝土的防微振技术要求,分析混凝土裂缝对结构振动特性的影响,配制防微振混凝土并计算防微振混凝土最大浇筑尺寸。基于绝热温升指标的配合比正交设计确定其基准参数为:水胶比0.66、胶材总量250 kg/m^(3)、掺合料掺量66%。从混凝土强度和收缩方面优化基准配合比,确定配合比为m(水泥):m(粉煤灰):m(矿粉):m(砂):m(石)=1:1.4:0.5:8.75:10.7,水胶比为0.57。大体积换填混凝土的最长尺寸不超过20 m时,其各项指标均满足工程需求。 展开更多

关键词 防微振混凝土 振动特性 配合比设计

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防微振指标控制素混凝土地基处理施工技术

16

作者 顾雅彬 任锦龙 +2 位作者 孙文龙 毛路 毕明英 《建筑技术》 2022年第7期865-868,共4页

高能同步辐射光源(HEPS)项目建成后将成为探索物质内部结构与变化过程强有力的科学工具。为保证高能电子束流能够在储存环隧道中处于同一绝对平面内运动,要求本科学装置C 15素混凝土地基处理达到纳米级微振动标准:振动频率在1~100 Hz的... 高能同步辐射光源(HEPS)项目建成后将成为探索物质内部结构与变化过程强有力的科学工具。为保证高能电子束流能够在储存环隧道中处于同一绝对平面内运动,要求本科学装置C 15素混凝土地基处理达到纳米级微振动标准:振动频率在1~100 Hz的地面振动在1 s内的均方根位移积分小于25 nm;微米级地基不均匀沉降标准:储存环隧道不均匀沉降限值10μm/10 m/year。这就需要形成120000 m3连续环形地基,并使其成为一个整体。从混凝土密度、弹性模量、泊松比、剪切波速和施工工艺等方面进行研究,从而达到防微振指标。 展开更多

关键词 纳米级防微振 混凝土配合比 施工工艺

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精密设备三级防微振实验平台设计方法研究

17

作者 戚江凤 张颖 《河南科技》 2022年第21期29-32,共4页

微振动是影响精密设备正常工作的重要因素,设计出结构合理的防微振实验平台对我国先进技术的发展起着至关重要的作用。笔者基于现有研究,按照逐级消耗振动传递能量的设计原则,利用多元技术来制定“叠合侧开”的三级减振方案,即由下至上... 微振动是影响精密设备正常工作的重要因素,设计出结构合理的防微振实验平台对我国先进技术的发展起着至关重要的作用。笔者基于现有研究,按照逐级消耗振动传递能量的设计原则,利用多元技术来制定“叠合侧开”的三级减振方案,即由下至上分级隔振,Ⅰ级大体积混凝土耗能和高频滤波、Ⅱ级气浮平台耗能增稳、Ⅲ级主动伺服降幅低频滤波,从设计原理和设计方法出发,阐述该项技术的合理性,为我国高精度防微振实验平台的设计提供参考。 展开更多

关键词 防微振实验平台 三级减振 设计原理 设计方法

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浅析机载电子类精密加工厂房防微振动设计 被引量：2

18

作者 郭欣 王晓旭 《建筑技艺》 2022年第S01期134-135,共2页

机载电子类精密加工厂房区别于普通加工厂房,对微振动的控制要求较高。本文通过对产生微振动的振源分析研究,得出对于微振动控制的宏观及微观相关建筑设计技术措施,为电子精密加工厂房的防微振设计提供参考。

关键词 电子类精密加工 振动源 防微振 隔振设计

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高等级防微振基础及洁净空间施工技术研究

19

作者 王帅 王寅 《城市建筑》 2022年第S01期7-9,共3页

我国电子产品产业的核心技术处于亟须提升阶段,国内市场对光刻机、SEM、AFM等高精密设备需求越来越大,而随着国内光刻机加工线宽越来越细、其他高精密设备不断迭代更新,对防微振动洁净空间的要求越来越严苛,防微振动洁净空间的建造施工... 我国电子产品产业的核心技术处于亟须提升阶段,国内市场对光刻机、SEM、AFM等高精密设备需求越来越大,而随着国内光刻机加工线宽越来越细、其他高精密设备不断迭代更新,对防微振动洁净空间的要求越来越严苛,防微振动洁净空间的建造施工方法并未形成系统的成套技术。因此要开展高等级防微振动基础支墩施工,对高等级洁净空间精密温控施工技术研究就显得具有重要的现实意义,本工作主要探讨了高等级防微振基础及洁净空间的施工技术。 展开更多

关键词 防微振 钢套箱 精密温控 洁净空间 液槽龙骨

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多层厂房防微振的数值分析与实测研究 被引量：1

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作者 吴晓兰 左中杰 翟传明 《山西建筑》 2011年第21期30-31,共2页

提出了采用剪力墙来降低水平向振动的方法,并建立了考虑土层对桩的约束作用的多层厂房有限元模型,通过现场实测和数值计算,证明了设置剪力墙可以有效减弱楼板的水平向振动,同时也说明文中建立的有限元模型具有较高的精度。

关键词 剪力墙 多层厂房 防微振 有限元

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