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介观区尺度的集成微光机电系统的研究与应用 被引量:1
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作者 刘强 杨晖 《机械制造》 北大核心 2000年第10期25-27,共3页
关键词 集成微光机电系统 介观区尺度 微纳米技术
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集成微光机电系统产业化前景 被引量:1
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作者 王渭源 王跃林 《世界产品与技术》 2000年第10期26-27,共2页
关键词 集成微光机电系统 产业化 电子产业
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集成微光机电系统前沿 被引量:1
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作者 王跃林 王渭源 《世界产品与技术》 2000年第10期28-29,共2页
关键词 集成微光机电系统 微电子技术 系统
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集成微光机电系统在光通信中的应用与展望
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作者 杨建义 王跃林 《世界科技研究与发展》 CSCD 2000年第2期31-34,共4页
在需求推动下 ,光通信技术目前处于高速发展时期。集成微光机电系统是近年来飞速发展起来的高技术。将其应用于光通信 ,必将促进光通信技术向更深层次发展。本文分析了当前集成微光机电系统在通信用光器件方面的研究与应用情况 。
关键词 集成微光机电系统 光通信 光器件 系统集成
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集成微光机电系统研究
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《中国科学院院刊》 2001年第6期446-447,共2页
关键词 传感器 基础研究 集成微光机电系统
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集成微光机电系统中的矢量光学问题
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作者 李志远 杨国桢 顾本源 《物理》 CAS 2000年第2期78-81,共4页
集成微光机电(MOEM) 系统是近年来迅速地发展起来的一门新兴的综合学科,它融合了微光学元件、微电子器件和微机械结构的优点.不但在技术上有重要的应用,还蕴涵着与小尺寸器件有关的力学、热学、电学、光学,以及材料科学等丰富的基础科... 集成微光机电(MOEM) 系统是近年来迅速地发展起来的一门新兴的综合学科,它融合了微光学元件、微电子器件和微机械结构的优点.不但在技术上有重要的应用,还蕴涵着与小尺寸器件有关的力学、热学、电学、光学,以及材料科学等丰富的基础科学研究课题.文章探讨了MOEM 系统中典型的微光学元件,如衍射微透镜、折射微透镜和微光栅中的矢量光学问题,简要地介绍了相应的求解方法. 展开更多
关键词 集成微光机电系统 微光学元件 矢量光学
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微机械力学性能测试仪
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《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期66-66,共1页
关键词 性能测试仪 机械力学 集成微光机电系统 性能测试装置 微机械材料 形貌观测 精密定位 加载机构
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