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硅基三维集成射频无源器件及电路研究进展 被引量:4
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作者 朱樟明 尹湘坤 +1 位作者 刘晓贤 杨银堂 《微电子学与计算机》 2023年第1期11-17,共7页
射频电賂在移动通信终端和雷达前端等电子系统中占据了较大比例的面积和体积,且现有射频集成方式无法实现无源电路的微型化、多功能化、一体化系统集成,成为系统小型化集成、性能提升的瓶颈,更制约了各种电子设备和通信系统的发展.基于... 射频电賂在移动通信终端和雷达前端等电子系统中占据了较大比例的面积和体积,且现有射频集成方式无法实现无源电路的微型化、多功能化、一体化系统集成,成为系统小型化集成、性能提升的瓶颈,更制约了各种电子设备和通信系统的发展.基于硅通孔的三维集成技术可以实现硅基电路的多层堆叠,在实现高密度、高性能、微型化的射频系统方面具有巨大发展潜力和广阔应用前景.本文介绍了基于硅基三维集成技术实现的射频无源器件及电路的研究进展,主要包括无源电容、电感、天线、滤波器、功分器、耦合器、巴伦.最后,对各类射频无源器件及功能电路模块的发展现状和趋势进行了总结和展望. 展开更多
关键词 三维集成电路 射频 无源器件 无源电路 硅通孔
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应用于微波/毫米波领域的集成无源器件硅基转接板技术 被引量:3
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作者 黄旼 朱健 石归雄 《电子工业专用设备》 2017年第4期20-23,共4页
展示了一种应用于射频微系统领域的可以集成射频无源器件的硅基转接板结构。该结构将电感、电容、电阻、传输线和TSV等集成在适用于微波应用的高阻硅衬底上,可实现芯片级的CMOS、MMIC及MEMS多种不同材料器件集成。采用这种方法制备的传... 展示了一种应用于射频微系统领域的可以集成射频无源器件的硅基转接板结构。该结构将电感、电容、电阻、传输线和TSV等集成在适用于微波应用的高阻硅衬底上,可实现芯片级的CMOS、MMIC及MEMS多种不同材料器件集成。采用这种方法制备的传输线损耗在40 GHz为0.34 dB/mm,电容密度达到1.05 fF/μm^2,2.5圈8 n H电感最大Q值在1.5 GHz达到16。这项制造技术与CMOS制造工艺兼容,可为超高集成度的三维集成型化射频微系统提供有力支撑。 展开更多
关键词 集成无器件 硅通孔 互补金属氧化物半导体 转接板 射频
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面向硅基光互连应用的无源光子集成器件研究进展
3
作者 陈少武 余金中 +4 位作者 徐学俊 黄庆忠 余和军 屠晓光 李运涛 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期153-156,149,共5页
光互连是突破传统微电子IC性能瓶颈的重要技术手段,对推进"后摩尔时代"微电子技术的发展和高性能计算技术的实现具有关键性意义。本文在归纳总结不同层次光互连结构特点的基础上,对片上光互连(on-chip or intra-chip optical ... 光互连是突破传统微电子IC性能瓶颈的重要技术手段,对推进"后摩尔时代"微电子技术的发展和高性能计算技术的实现具有关键性意义。本文在归纳总结不同层次光互连结构特点的基础上,对片上光互连(on-chip or intra-chip optical interconnects)所涉及的若干种无源光子集成器件的设计制备及性能特点进行了分析介绍,这些器件包括SOI亚波长光子线波导、SOI光子晶体波导、MMI分束/合束器、微环/微盘谐振腔滤波器、光子晶体微腔耦合滤波器、光子晶体反射镜等,是硅基片上光互连的基本构成单元。本文对这些关键性光子集成器件的国内最新研究进展进行了报道。 展开更多
关键词 硅基光子学 片上光互连 CMOS微纳加工工艺 无源光子集成器件 光子线波导 微腔滤波器
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WLCSP封装技术中的集成无源器件 被引量:1
4
作者 杨建生 《电子工业专用设备》 2007年第2期58-62,共5页
芯片规模封装技术一直倍受高性能、小形状因素解决方案在各类应用中的关注。芯片规模封装与球栅阵列(BGA)封装之间的区别变得不可分辨,已成为“细间距BGA”的同义词。芯片规模封装成本也是业界关注的焦点之一。芯片规模晶圆级封装是提... 芯片规模封装技术一直倍受高性能、小形状因素解决方案在各类应用中的关注。芯片规模封装与球栅阵列(BGA)封装之间的区别变得不可分辨,已成为“细间距BGA”的同义词。芯片规模封装成本也是业界关注的焦点之一。芯片规模晶圆级封装是提供小形状、高性能和低成本的最快途径。论述了集成无源器件加工、低成本化的晶圆级芯片规模封装技术。 展开更多
关键词 芯片规模封装技术 集成无器件 晶圆级加工
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全硅集成光学──理论与工艺(Ⅵ)(续五)第六讲 全硅集成光学导波无源器件
5
作者 赵策洲 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1995年第3期284-294,共11页
全硅集成光学──理论与工艺(Ⅵ)(续五)第六讲全硅集成光学导波无源器件赵策洲(副教授)(西安电子科技大学微电子所,西安710071)1引言全硅集成光学导波无源器件包括硅定向耦合器、硅光栅耦合器、无间距定向耦合器、硅波... 全硅集成光学──理论与工艺(Ⅵ)(续五)第六讲全硅集成光学导波无源器件赵策洲(副教授)(西安电子科技大学微电子所,西安710071)1引言全硅集成光学导波无源器件包括硅定向耦合器、硅光栅耦合器、无间距定向耦合器、硅波导端接耦合器、光纤硅波导耦合器,以... 展开更多
关键词 全硅集成光学 导波无源器件 耦合器
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光集成无源器件在相干光通信中的应用
6
作者 胡台光 《光通信技术》 CSCD 1989年第3期43-49,共7页
本文根据相干光通信系统的特点,以一些典型光路为例,介绍光集成无源器件在相干光通信系统中的应用。文中也简单介绍有关无源器件的原理。
关键词 集成光学 相干光 通信 无源器件
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无线通讯用的芯片级集成无源器件
7
作者 王传声 《电子元器件应用》 2002年第3期18-20,共3页
在现代电子产品中,无源器件数量超过有源器件数量十倍的现象非常普遍。在空间为主要因素的众多无线通讯产品如手机中,特别需要集成无源器件。这种器件的芯片级封装通过把所有电路元件紧密结合在芯片本身的焊盘位置内来优化印制电路板的... 在现代电子产品中,无源器件数量超过有源器件数量十倍的现象非常普遍。在空间为主要因素的众多无线通讯产品如手机中,特别需要集成无源器件。这种器件的芯片级封装通过把所有电路元件紧密结合在芯片本身的焊盘位置内来优化印制电路板的空间利用。本文提供了模拟的器件和实际达到的器件性能,也讨论了芯片级封装的优势和可靠性因素。 展开更多
关键词 无线通讯 芯片级 集成 无源器件 可靠性 封装
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基于集成无源器件工艺的射频功率分配器设计 被引量:2
8
作者 隆万洪 黄文韬 +2 位作者 吴振川 徐宽茂 蒋凯旋 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期371-377,共7页
由于集成无源器件(IPD)工艺可与集成电路平面工艺兼容,IPD工艺设计的无源器件易集成到集成电路芯片中,有利于电子设备小型化和可靠性的提高。基于IPD工艺,采用等效电路取代14λ传输线的设计方法,分别设计了一个同相和一个反相3 d B射频... 由于集成无源器件(IPD)工艺可与集成电路平面工艺兼容,IPD工艺设计的无源器件易集成到集成电路芯片中,有利于电子设备小型化和可靠性的提高。基于IPD工艺,采用等效电路取代14λ传输线的设计方法,分别设计了一个同相和一个反相3 d B射频功率分配器。同相功率分配器的实测结果显示插入损耗约为3.7 d B,隔离度约为25 d B,性能与威尔金森结构功率分配器接近,封装后的尺寸为1.6 mm×0.8 mm,小于威尔金森结构功率分配器。反相功率分配器仿真结果表明插入损耗小于4.2 d B,隔离度约为25 d B。该功率分配器可应用到移动通信终端。 展开更多
关键词 功率分配器 集成无器件(ipd) 1/4λ传输线 等效电路 小尺寸
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集成无源器件和硅转接板集成方案设计 被引量:1
9
作者 刘宇 罗乐 《电子设计工程》 2017年第4期95-98,共4页
集成无源器件(IPD)和穿硅通孔(TSV)技术是目前封装发展的一大趋势。为了实现高性能集成无源器件和硅转接板集成的目的,本文采取了设计两套不同的集成方案,对比研究的方法。方案结合了深槽电容,液态金属填充等先进技术,从集成方式、通孔... 集成无源器件(IPD)和穿硅通孔(TSV)技术是目前封装发展的一大趋势。为了实现高性能集成无源器件和硅转接板集成的目的,本文采取了设计两套不同的集成方案,对比研究的方法。方案结合了深槽电容,液态金属填充等先进技术,从集成方式、通孔制作、通孔填充、IPD类型等多方面进行对比,全面的研究IPD和TSV的集成方案。 展开更多
关键词 封装 集成无器件 穿硅通孔 硅转接板
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用于集成无源器件的工艺技术 被引量:4
10
作者 李应选 《电子产品世界》 2001年第1期55-57,共3页
关键词 集成电路 无源器件 电阻器 电容器 电感器
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基于低温共烧陶瓷的片式无源集成器件 被引量:3
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作者 刘浩斌 《现代制造》 2005年第24期75-77,共3页
低温共烧陶瓷以其优异的电学、机械、热学及工艺特性,成为电子器件集成化、模块化的主要技术之一。本文概述了国内外LTCC 技术的现状、发展趋势以及面临的问题,提出从材料、设计和工艺以及设备三方面着手,抓住LTCC 器件前所未有的发展... 低温共烧陶瓷以其优异的电学、机械、热学及工艺特性,成为电子器件集成化、模块化的主要技术之一。本文概述了国内外LTCC 技术的现状、发展趋势以及面临的问题,提出从材料、设计和工艺以及设备三方面着手,抓住LTCC 器件前所未有的发展机遇。 展开更多
关键词 低温共烧陶瓷 集成器件 LTCC技术 无源 片式 工艺特性 电子器件 发展趋势 集成
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具备深背部通孔的砷化镓集成无源器件的制作技术 被引量:1
12
作者 陈智广 林伟铭 +5 位作者 李立中 庄永淳 马跃辉 黄光伟 吴靖 吴淑芳 《集成电路应用》 2019年第12期20-22,共3页
介绍一种具备深背部通孔特点的砷化镓无源器件制作的芯片滤波器,并对其射频特性进行了进一步的讨论。在背部通孔深度达到200μm且形貌垂直的基础上,制备出一背部垂直电感。测试结果表明:在3.3~4.2 GHz频带内,该芯片滤波器的插入损耗(IL)... 介绍一种具备深背部通孔特点的砷化镓无源器件制作的芯片滤波器,并对其射频特性进行了进一步的讨论。在背部通孔深度达到200μm且形貌垂直的基础上,制备出一背部垂直电感。测试结果表明:在3.3~4.2 GHz频带内,该芯片滤波器的插入损耗(IL)<1.6 dB,带内回波损耗<-30 dB,可以满足当前微波毫米波系统中的大规模应用。并且该芯片滤波器的设计尺寸为1.0 mm×1.0 mm×0.25 mm,与传统滤波器相比,面积缩减了近90%,符合当前通信系统器件小型化的发展趋势,具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 集成无器件 砷化镓 深背部通孔 垂直电感
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基于硅基薄膜集成无源器件工艺的双频器设计
13
作者 吴振川 隆万洪 《科学技术与工程》 北大核心 2016年第9期199-204,共6页
消费类电子市场对产品的便携性要求愈益强烈。薄膜集成无源器件工艺由于集成度更高、成本低且性能较好而被提了出来。本文基于硅(Si)基薄膜无源器件工艺设计了一个集成静电防护(electro-static discharge,ESD)功能的双频器(diplexer),... 消费类电子市场对产品的便携性要求愈益强烈。薄膜集成无源器件工艺由于集成度更高、成本低且性能较好而被提了出来。本文基于硅(Si)基薄膜无源器件工艺设计了一个集成静电防护(electro-static discharge,ESD)功能的双频器(diplexer),利用电磁仿真(EM)来优化双频器的性能。双频器在GPS频段的插入损耗小于1.1d B,回波损耗平均为10 d B,隔离度大于22 d B;在2.4 GHz WIFI频段的插入损耗小于1.2 d B,回波损耗为11 d B,隔离度大于30 d B;双频器的面积是1 100×950μm。经测试,在HBM模式下,可以经受2 k V的电压的冲击。对比低温共烧陶瓷和PCB工艺制作的双频器,这个双频器在保证性能的同时,具有体积小,价格低的优点。这样的diplexer可以用在很多手持设备和便携设备上面。 展开更多
关键词 双频器 集成无器件 静电防护 小型化 集成
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集成光无源器件及其制作
14
作者 杜良桢 雷润生 《电信科学》 北大核心 2003年第7期59-61,共3页
本文以光隔离器(Isolator)、波分复用器(WDM)和光耦合器(Coupler)三功能组合的混合器件为例介绍了集成光无源器件(以下简称Hybrid器件)的应用、原理、性能和特点,以及在制造过程中存在的色散和光纤模式匹配的问题及解决方案。
关键词 光隔离器 波分复用器 光耦合器 集成无源器件 色散 光纤模式匹配
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集成精密基准源器件
15
作者 李唯 《仪器与未来》 1990年第11期19-21,共3页
关键词 模拟集成电路 基准器件 集成电路
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集成无源和有源器件提高移动电话性能
16
作者 S. Mosquera Duran 《电子设计应用》 2003年第5期17-18,26,共3页
关键词 移动电话 电气性能 集成无 器件 印刷电路板
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光无源器件的原理及应用 被引量:3
17
作者 丁炜 《有线电视技术》 2004年第16期74-79,共6页
关键词 无源器件 光纤通信设备 光纤有线电视 集成光学 光学元器件 纤维光学 滤波 实际 区别 基本规律
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太赫兹射频器件与集成技术研究 被引量:3
18
作者 卢旭阳 毛军发 +6 位作者 吴林晟 顾昌展 韩充 周亮 邱良丰 史丽云 唐旻 《太赫兹科学与电子信息学报》 2023年第4期393-436,共44页
无线通信、探测感知、安全检测、人工智能等民用和国防电子信息技术的不断快速发展与演进,对太赫兹(0.1~1 THz)技术提出了越来越迫切的应用需求。太赫兹波段具有丰富的频谱带宽资源,其宽带特性可以支撑未来6G高速率通信、新一代高分辨... 无线通信、探测感知、安全检测、人工智能等民用和国防电子信息技术的不断快速发展与演进,对太赫兹(0.1~1 THz)技术提出了越来越迫切的应用需求。太赫兹波段具有丰富的频谱带宽资源,其宽带特性可以支撑未来6G高速率通信、新一代高分辨雷达系统性能的实现。同时,太赫兹通信和探测必须克服高频率、短波长所带来的高传播路径衰减、激增的无源器件与互连损耗以及有源器件功率生成和效率难题。本文将回顾太赫兹射频器件与集成技术的发展现状,阐述上海交通大学团队通过新型无源、有源器件与天线及其先进封装等技术方法,整体提升太赫兹前端系统性能的相关研究进展。 展开更多
关键词 太赫兹 无源与有器件 异质集成 天线 信道测量 近距雷达
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系统集成中的高阻硅IPD技术 被引量:5
19
作者 刘勇 《现代电子技术》 2014年第14期128-131,共4页
集成无源器件(IPD)技术可以将分立的无源器件集成在衬底内部,提高器件Q值及系统集成度。由于高阻硅衬底具有良好的射频特性,高阻硅IPD技术可以制备出Q值高达70以上的电感。高阻硅IPD基于薄膜技术具有高精度、高集成度等特点,可将无源器... 集成无源器件(IPD)技术可以将分立的无源器件集成在衬底内部,提高器件Q值及系统集成度。由于高阻硅衬底具有良好的射频特性,高阻硅IPD技术可以制备出Q值高达70以上的电感。高阻硅IPD基于薄膜技术具有高精度、高集成度等特点,可将无源器件特征尺寸缩小一个数量级。同时可利用成熟的硅工艺平台,便于批量生产降低成本。此外,高阻硅IPD技术可与硅通孔(TSV)技术兼容,可实现三维叠层封装。分析表明,高阻硅IPD技术在系统集成中具有广泛应用前景。 展开更多
关键词 ipd 系统集成 高阻硅 无源器件 滤波器
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