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基于微机电系统的纳米力学测量装置的研制 被引量：1
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作者 张志凯 滑晓欣 +1 位作者 高赛 Konrad Herrmann 《计量学报》 CSCD 北大核心 2012年第4期303-307,共5页
阐述了一种基于微机电系统的纳米力学测量方法和系统。开发了一种多功能的纳牛力致动器，可同时满足微拉伸测试系统、原子力显微镜等系统的需要，该致动器基于微机电系统，以静电侧向梳齿为基本结构，采用变间隙设计结构，实现小芯片尺... 阐述了一种基于微机电系统的纳米力学测量方法和系统。开发了一种多功能的纳牛力致动器，可同时满足微拉伸测试系统、原子力显微镜等系统的需要，该致动器基于微机电系统，以静电侧向梳齿为基本结构，采用变间隙设计结构，实现小芯片尺寸、低压驱动、高分辨率（nN量级）和大输出力（大于1mN），并介绍了该测试系统的原理、结构、微机电系统的安装以及一些相关实验结果。 展开更多
关键词 计量学 微机电系统 纳牛力致动器 微牛/纳牛拉伸测试 原子力显微镜 静电侧向梳齿
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