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飞秒激光双光子聚合三维微纳结构加工技术 被引量：4
1
作者 赵圆圆 金峰 +2 位作者 董贤子 郑美玲 段宣明 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期1-33,共33页
飞秒激光双光子聚合微纳加工技术作为重要的三维微纳结构制备手段,已成为国际前沿研究热点。该技术利用激光与物质相互作用的双光子非线性吸收效应和阈值效应,可以突破经典光学理论衍射极限,实现纳米尺度的激光加工分辨力,在三维功能性... 飞秒激光双光子聚合微纳加工技术作为重要的三维微纳结构制备手段,已成为国际前沿研究热点。该技术利用激光与物质相互作用的双光子非线性吸收效应和阈值效应,可以突破经典光学理论衍射极限,实现纳米尺度的激光加工分辨力,在三维功能性微纳器件制备领域正在发挥着十分重要的作用。本文在介绍飞秒激光双光子聚合三维微纳加工技术的光物理和光化学过程基本原理的基础上,重点回顾人们在改善加工线宽及分辨力、提高加工效率等方面的研究进展与发展概况。该技术所制备的各种微光学器件、集成光学器件、微机电系统以及生物医学器件,不仅充分展示了飞秒激光双光子聚合三维微纳加工技术的高空间分辨力和真三维加工特点,也为其在相关前沿领域的应用提供具有启发性的思路。最后,对该技术实现高精度、高效率、低成本、大面积、多功能的三维微纳结构加工所存在的挑战和未来发展方向,进行了讨论和展望。 展开更多
关键词 飞秒激光 双光子聚合 光学衍射极限 加工分辨力 加工效率
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飞秒激光双光子聚合方法加工图案化微透镜及其成像测试 被引量：7
2
作者 苏亚辉 秦天天 +1 位作者 许兵 吴东 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期2629-2635,共7页
为改善以往图案化透镜加工工艺复杂、制造技术昂贵、图案设计方面有限制等缺点,本文将飞秒激光双光子聚合加工技术应用于图案化微透镜的快速、高精度加工。通过球面波因子的变形设计了不同图案的微透镜,利用飞秒激光双光子聚合加工技术... 为改善以往图案化透镜加工工艺复杂、制造技术昂贵、图案设计方面有限制等缺点,本文将飞秒激光双光子聚合加工技术应用于图案化微透镜的快速、高精度加工。通过球面波因子的变形设计了不同图案的微透镜,利用飞秒激光双光子聚合加工技术在光刻胶样品中加工出图案化的微透镜,然后将光刻胶样品置于显影液中去除未聚合部分,得到图案化微透镜,最后对图案化微透镜进行成像测试和光强均一化分析。将LED光源分别置于不同图案微透镜的下方,光线透过图案化微透镜成功聚焦出光强一致的焦点图案。实验结果表明,使用飞秒激光双光子聚合加工可以实现灵活可控的3D图案化微透镜结构的加工,采用加工功率为7 mW,曝光时间为2 ms,扫描xy步距为0.5μm,z步距为0.8~1.5μm,不仅保证了微透镜结构表面光滑,而且实现了微透镜的快速加工。该技术在加工光学超材料、光学微器件、集成光学器件等方面具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 激光加工 飞秒激光 双光子聚合 微透镜 光刻胶
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基于飞秒激光双光子的微齿轮加工技术研究 被引量：6
3
作者 孙树峰 王萍萍 薛伟 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第23期193-198,共6页
针对传统加工方法很难实现微机电系统(Micro electromechanical systems,MEMS)零部件高质量加工的问题,在微细加工技术研究基础上,提出采用飞秒激光双光子聚合加工技术加工标准渐开线微齿轮的方法。采用钛蓝宝石激光器自行搭建的飞秒激... 针对传统加工方法很难实现微机电系统(Micro electromechanical systems,MEMS)零部件高质量加工的问题,在微细加工技术研究基础上,提出采用飞秒激光双光子聚合加工技术加工标准渐开线微齿轮的方法。采用钛蓝宝石激光器自行搭建的飞秒激光双光子加工系统,能够输出波长为800 nm的飞秒激光用于双光子聚合加工,利用AutoCAD软件设计标准渐开线微齿轮,通过理论和试验两种方法研究激光功率与单个固化点尺寸之间的关系,进而研究扫描步距与加工精度和表面粗糙度之间的关系,结果表明,激光功率越小,加工分辨率越高;扫描步距越小,加工变形越大,但表面质量提高。采用优化后的加工工艺参数加工出高质量的标准渐开线微齿轮,其表面粗糙度Ra27.66 nm。因此,飞秒激光双光子加工技术能够为微齿轮或其他MEMS零部件的加工提供一条有效途径。 展开更多
关键词 双光子 飞秒激光 微齿轮 微细加工
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飞秒激光双光子复杂结构的微细加工 被引量：6
4
作者 袁大军 蒋中伟 +5 位作者 郭锐 徐藻 王翔 黄文浩 夏安东 褚家如 《微细加工技术》 2004年第2期27-30,36,共5页
阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点。利用自行研制的飞秒双光子微细加工系统,在优化工艺参数的基础上,加工出一系列三维微结构,并实现了可动的三维微系统—齿轮轴系统的一次成型。
关键词 双光子激发 光聚合 飞秒激光器 三维微器件
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基于飞秒激光刻写的微腔型波导马赫-曾德干涉器及其折射率传感性能研究
5
作者 徐堃 玄成聪 +2 位作者 张燕青 姚一村 解艳茹 《聊城大学学报（自然科学版）》 2024年第5期76-83,共8页
平面光波导传感器相较于传统的光纤传感器结构,具有更好的机械性能,并且对于振动等因素具有更低的交叉响应,因此在光传感领域具有独特优势。在本研究中,我们利用飞秒激光刻写及激光辅助化学刻蚀技术,在石英玻璃中制备了微腔型波导传感... 平面光波导传感器相较于传统的光纤传感器结构,具有更好的机械性能,并且对于振动等因素具有更低的交叉响应,因此在光传感领域具有独特优势。在本研究中,我们利用飞秒激光刻写及激光辅助化学刻蚀技术,在石英玻璃中制备了微腔型波导传感器结构,该结构由对称的分支型波导马赫-曾德干涉器及在其中一路上所制备的光学微腔构成。当待测液体浸入微腔时,传感器呈现明显的干涉峰漂移,其折射率灵敏度在1.35折射率附近达到了约16311.8 nm/RIU,因此在高灵敏度的波导液体传感及生化传感领域展现出了显著的应用潜力。 展开更多
关键词 平面波导 飞秒激光微加工 微腔传感器 马赫-曾德干涉仪
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飞秒激光双光子微细加工技术及研究现状 被引量：6
6
作者 龚莹 蒋中伟 +4 位作者 周拥军 袁大军 黄文浩 李艳秋 夏安东 《光学技术》 CAS CSCD 2004年第5期637-640,共4页
飞秒激光双光子微细加工技术以其特有的高精度三维微加工优势,成为微型机械加工领域新的发展方向之一。介绍了飞秒激光双光子微细加工技术的原理和应用的现状。结合目前已有的微细加工技术,对双光子微细加工技术的特点加以评述。简要报... 飞秒激光双光子微细加工技术以其特有的高精度三维微加工优势,成为微型机械加工领域新的发展方向之一。介绍了飞秒激光双光子微细加工技术的原理和应用的现状。结合目前已有的微细加工技术,对双光子微细加工技术的特点加以评述。简要报道了利用飞秒激光双光子微细加工技术的一些研究进展。探讨了飞秒激光双光子微细加工技术今后的发展方向及其存在的基本问题。 展开更多
关键词 双光子激发 飞秒激光 微细加工技术
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飞秒激光双光子聚合三维微细加工技术及系统研发 被引量：3
7
作者 陈小亮 任乃飞 王群 《机械制造》 2006年第2期27-30,共4页
阐述了飞秒激光双光子聚合(TPP)制造三维零件微快速原型技术和成形系统的搭建及其实现的理论基础,分析该技术的两大显著技术优势以及双光子吸收特性、双光子聚合工艺流程、成形材料及双光子触媒的特性,并在此基础上进行工艺参数影响分... 阐述了飞秒激光双光子聚合(TPP)制造三维零件微快速原型技术和成形系统的搭建及其实现的理论基础,分析该技术的两大显著技术优势以及双光子吸收特性、双光子聚合工艺流程、成形材料及双光子触媒的特性,并在此基础上进行工艺参数影响分析和优化组合,给出初步实验结果,提出系统未来发展提升空间。 展开更多
关键词 飞秒激光 双光子吸收 光聚合 微细加工 快速成形
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秒激光双光子微纳加工技术及其在光子学微器件制备中的应用
8
作者 段宣明 《功能材料信息》 2007年第5期41-,共1页
飞秒激光可以与包括玻璃、陶瓷、半导体、金属、塑料、树脂等各类物质产生相互作用,其相互作用原理不同,加工方法也不同。利用非线性光学效应——双光子吸收的飞秒微纳加工技术是最独特也是最具有应用前景的微纳加工技术。利用显微物镜... 飞秒激光可以与包括玻璃、陶瓷、半导体、金属、塑料、树脂等各类物质产生相互作用,其相互作用原理不同,加工方法也不同。利用非线性光学效应——双光子吸收的飞秒微纳加工技术是最独特也是最具有应用前景的微纳加工技术。利用显微物镜将飞秒激光聚焦到加工介质时激光光强在焦点处呈三维空间分布,双光子吸收过程仅产生在具有足够激光强度的微小区域,通过控制激光光强可以调节双光子吸收的产生范围,在适当的激光强度时,可以突破光学衍射极限的限制,将双光子吸收过程控制到远小于激光波长甚至纳米尺度范围,从而达到进行纳米加工的目的。飞秒激光双光子微纳加工技术具有真三维、一次成型及高加工分辨率的特点,是三维微纳结构制备的理想工具之一。通过"理论计算-计算机辅助图形设计-微纳激光制造"这样一个简单的流程可以实现制备可设计的复杂三维微细结构,因此在光子学微器件、微机电系统等领域具有巨大的应用前景。最近几年双光子微细加工技术也已成功地应用到功能性光子学器件中。在制备基于光子晶体带隙原理的三维光子元器件及其立体集成方面,飞秒激光双光子方法具有无可比拟的优势。我们研究小组利用碳硅烷树状大分子修饰的激光染料与光聚合制备的光固化树脂,采用双光子聚合微加工技术制备了包含聚合物纳米线的微尺度谐振腔结构,并观察到荧光发射增强效应。上述结果为设计制备无反射镜、超低阈值或无阈值高分子激光微谐振腔展示了可能性。将在对双光子微加工技术基础与现状进行介绍的同时,结合我们近年来在双光子微加工技术及功能性光子学微器件研究领域所进行的研究工作,对上述领域的发展趋势进行评述。相关研究结果及最新进展将在会议进行详细介绍。 展开更多
关键词 飞秒激光双光子微加工 光子学器件 光子晶体 加工分辨率
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飞秒激光双光子聚合加工微纳结构 被引量：6
9
作者 孙树峰 王萍萍 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第12期56-60,共5页
针对微/纳机电系统(MEMS/NEMS)零部件加工制造难题,研究具有亚衍射极限空间分辨率的飞秒激光双光子聚合加工方法,搭建钛蓝宝石飞秒激光微纳加工系统,对液态聚合物材料进行飞秒激光双光子聚合加工工艺试验研究。结果表明:随着激光功率的... 针对微/纳机电系统(MEMS/NEMS)零部件加工制造难题,研究具有亚衍射极限空间分辨率的飞秒激光双光子聚合加工方法,搭建钛蓝宝石飞秒激光微纳加工系统,对液态聚合物材料进行飞秒激光双光子聚合加工工艺试验研究。结果表明:随着激光功率的降低,单个固化点的尺寸减小,加工分辨率提高;扫描步距减小,所加工工件的表面粗糙度数值减小,但加工效率降低。基于CAD软件设计出微米墙和纳米线构成的三维微纳结构,利用飞秒激光双光子聚合加工得到该三维微纳结构实物,通过优化工艺参数加工出直径小于100 nm的纳米线,从而证明飞秒激光双光子聚合加工方法为微/纳器件的制造提供了一种有效方法。 展开更多
关键词 飞秒激光 双光子聚合加工 微纳结构 扫描步距 表面粗糙度
原文传递
飞秒激光加工光子晶体光纤微型F-P传感器研究 被引量：11
10
作者 饶云江 段德稳 +4 位作者 杨晓辰 邓明 朱涛 程光华 李明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期91-93,共3页
利用飞秒激光脉冲在光子晶体光纤上熔切出微小矩形孔从而构成光纤法珀干涉腔,并对这种传感器进行了实验测试,在0～1500με的应变范围内,干涉条纹波长相对于应变的灵敏度为0.0036nm/με,线性度达0.9989.在-20℃～100℃其温度系数为0.95... 利用飞秒激光脉冲在光子晶体光纤上熔切出微小矩形孔从而构成光纤法珀干涉腔,并对这种传感器进行了实验测试,在0～1500με的应变范围内,干涉条纹波长相对于应变的灵敏度为0.0036nm/με,线性度达0.9989.在-20℃～100℃其温度系数为0.958nm/℃.利用飞秒激光在光纤上加工F-P腔方法简单,能够实现光纤F-P腔的规模化批量制造. 展开更多
关键词 飞秒激光加工 光纤应变传感器 非本征型光纤F—P传感器 光子晶体光纤
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利用飞秒激光双光子技术制备微电极的研究
11
作者 张满霞 顾银炜 +2 位作者 胡雪芳 董建峰 陶卫东 《宁波大学学报（理工版）》 CAS 2018年第3期112-116,共5页
基于飞秒激光双光子聚合微加工技术,利用负光刻胶刻蚀方法制备了内部镂空特殊结构的微电极光刻胶样品,并结合剥离法成功制备了一种镀银的金属微电极,最后利用直通管将微电极进行封装,测试了当直通管填充不同的介质(空气、丙酮、水)时微... 基于飞秒激光双光子聚合微加工技术,利用负光刻胶刻蚀方法制备了内部镂空特殊结构的微电极光刻胶样品,并结合剥离法成功制备了一种镀银的金属微电极,最后利用直通管将微电极进行封装,测试了当直通管填充不同的介质(空气、丙酮、水)时微电极的电容变化值.实验结果表明,所制备微电极样品的电容值与介质的介电常数成正相关,实测值与理论计算值的变化趋势一致. 展开更多
关键词 飞秒激光双光子微加工 微电极 介电常数
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镍基高温合金喷油孔的飞秒激光精密加工 被引量：4
12
作者 王旭 张子浩 +5 位作者 李俐群 黄怡晨 李福泉 蔺晓超 杨诗瑞 郭鹏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期849-859,共11页
飞秒激光平面螺旋钻孔策略在灵活性、精度和工艺效率方面具有许多优势,可满足某型号航天发动机供油喷嘴直通孔的加工精度需求。因此,本研究采用飞秒激光平面螺旋钻孔方式,系统研究了激光功率、单层进给量、单层扫描时间、离焦量以及脉... 飞秒激光平面螺旋钻孔策略在灵活性、精度和工艺效率方面具有许多优势,可满足某型号航天发动机供油喷嘴直通孔的加工精度需求。因此,本研究采用飞秒激光平面螺旋钻孔方式,系统研究了激光功率、单层进给量、单层扫描时间、离焦量以及脉冲重复率之间的作用关系及对钻孔质量的影响。结果表明,离焦量对入口孔径的影响最为明显;对出口孔径和锥度影响较大的参数为功率以及进给量;对加工效率影响最大的参数为功率。根据上述影响规律进行调整,本实验成功在厚度为1.5 mm的GH3044板材上制备出孔径为390μm的通孔,出口入口孔径误差小于0.6μm、锥度小于0.5°。通过统计不同参数下微孔内壁粗糙度变化规律并以此对参数进行调整,有效地将孔壁粗糙度降低至Sa 0.6μm,满足工艺要求。孔壁形貌分析表明钻孔质量优良,随激光脉冲重复频率增加,孔壁附近组织逐渐粗化,但均无明显重铸层或热影响区,能够实现高精度微孔的相对“冷加工”。本研究为后续追求高雾化效果的异形孔的制备提供了理论依据。 展开更多
关键词 激光技术 飞秒激光 镍基高温合金 微孔 加工质量
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熔融石英玻璃飞秒激光微纳加工研究
13
作者 苏天颜 刘超 +1 位作者 全宏升 徐可米 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期664-672,共9页
熔融石英玻璃因具有耐热性高、热膨胀系数低、绝缘性能好等优点,广泛应用于航空航天、微光学元件、军事等领域,并对其加工精度和表面质量提出了更高的要求。由于飞秒激光具有“冷加工”的特点,因此在熔融石英玻璃微纳加工方面展现出独... 熔融石英玻璃因具有耐热性高、热膨胀系数低、绝缘性能好等优点,广泛应用于航空航天、微光学元件、军事等领域,并对其加工精度和表面质量提出了更高的要求。由于飞秒激光具有“冷加工”的特点,因此在熔融石英玻璃微纳加工方面展现出独特优势。采用波长为1030nm、重复频率为100kHz、脉宽为290fs的飞秒激光对熔融石英玻璃进行加工,确定了不同物镜下熔融石英玻璃的损伤阈值,研究了不同物镜下的激光功率、扫描速度、离焦量、扫描次数对加工线槽的影响,使用逐层叠加加工的方法在低功率下得到了高深宽比(4∶1)的线槽,并且提高加工线槽的宽度与深度的可控性,可以在较薄熔融石英玻璃(200μm)上进行微纳加工。 展开更多
关键词 激光技术 熔融石英玻璃 飞秒激光 微纳加工 损伤阈值 逐层叠加加工
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飞秒激光加工微悬臂梁薄膜光纤声波传感器
14
作者 郑怡雯 陈永璋 +4 位作者 唐前浩 朱一新 于永芹 杜晨林 阮双琛 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期209-219,共11页
设计并制作了一种光纤微悬臂梁传感器,由于悬臂梁在受迫振动过程中不会产生拉伸变形,与四周固定的圆形密闭薄膜相比,会产生更高的声波灵敏度。采用飞秒激光加工制作微悬臂梁薄膜光纤声波传感器,制备出长宽均为500μm,厚6μm的微悬臂梁... 设计并制作了一种光纤微悬臂梁传感器,由于悬臂梁在受迫振动过程中不会产生拉伸变形,与四周固定的圆形密闭薄膜相比,会产生更高的声波灵敏度。采用飞秒激光加工制作微悬臂梁薄膜光纤声波传感器,制备出长宽均为500μm,厚6μm的微悬臂梁结构。通过实验得到其反射光谱对比度为8.8 dB,自由光谱范围为7.72 nm,理论计算得光纤法布里-珀罗腔长为155.6μm。研究结果表明,该光纤声波传感器在2200 Hz处出现明显的共振峰,对应的声压灵敏度为414 mV/Pa,在300 Hz时有最大的灵敏度675 mV/Pa,与普通硅橡胶薄膜声波传感器相比灵敏度显著提高。理论计算硅橡胶微悬臂梁光纤声波传感器的一阶共振频率为198 Hz,与实验测得的共振频率较为接近。同时悬臂梁传感器的声压灵敏度可达675 mV/Pa,声压响应线性度为0.994。 展开更多
关键词 光纤声波传感器 微悬臂梁 飞秒激光微加工 声压灵敏度 法布里-珀罗干涉仪
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玻璃表面飞秒激光微孔加工技术探析
15
作者 王艺霖 《机电信息》 2023年第18期78-81,85,共5页
随着激光加工技术的不断发展,具有超快加工速度、超高加工精度及可实现超越衍射极限加工的飞秒激光加工技术受到越来越多的关注与应用。为探究飞秒激光在玻璃表面加工高深径比、高圆度微孔结构的方法,通过研究飞秒激光烧灼加工原理等,... 随着激光加工技术的不断发展,具有超快加工速度、超高加工精度及可实现超越衍射极限加工的飞秒激光加工技术受到越来越多的关注与应用。为探究飞秒激光在玻璃表面加工高深径比、高圆度微孔结构的方法,通过研究飞秒激光烧灼加工原理等,设计了一系列单因素控制对照实验,探究出激光功率、曝光时间等相对最佳激光加工参数。利用MATLAB软件设计编写了环状旋转加工的改进加工方法,旨在运用飞秒激光加工直写平台在玻璃材料表面加工制备出形貌表征良好、具有高深径比的微孔结构。 展开更多
关键词 飞秒激光加工 玻璃微孔结构 激光加工参数 MATLAB
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飞秒激光双光子加工的极限分辨力 被引量：6
16
作者 宋旸 董贤子 +1 位作者 赵震声 段宣明 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1780-1784,共5页
采用3维压电微移动台高速扫描方式控制曝光时间与高精密转台精确控制圆形渐变衰减片以控制曝光功率两种方法,曝光时间和曝光功率可分别精确控制至0.02 ms和7 pW。通过精确控制聚合阈值附近处的曝光时间和曝光功率,分别在玻璃基板上获得... 采用3维压电微移动台高速扫描方式控制曝光时间与高精密转台精确控制圆形渐变衰减片以控制曝光功率两种方法,曝光时间和曝光功率可分别精确控制至0.02 ms和7 pW。通过精确控制聚合阈值附近处的曝光时间和曝光功率,分别在玻璃基板上获得了35 nm和45 nm的聚合物纳米线条,分别为所使用激光波长的1/22和1/17。实验结果表明,当曝光时间或曝光功率在加工阈值附近时,曝光时间和功率的微量减少会使聚合线宽急剧下降。 展开更多
关键词 飞秒激光 双光子加工 线宽分辨力 聚合阈值 聚合度
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飞秒激光微加工制作双包层光纤光栅及其在光纤激光中的应用 被引量：1
17
作者 朱学华 潘玉寨 付佃力 《量子光学学报》 CSCD 北大核心 2009年第4期374-379,共6页
简要说明了光纤光栅的基本特性和选频原理及其在双包层光纤激光器方面的应用与优势。介绍了飞秒激光微加工制作光纤光栅的基本原理及特点,并与传统的光纤制作方法——全息干涉法、相位掩模板法进行了比较。综述了飞秒激光微加工制作双... 简要说明了光纤光栅的基本特性和选频原理及其在双包层光纤激光器方面的应用与优势。介绍了飞秒激光微加工制作光纤光栅的基本原理及特点,并与传统的光纤制作方法——全息干涉法、相位掩模板法进行了比较。综述了飞秒激光微加工制作双包层光纤光栅的研究进展。 展开更多
关键词 光纤激光器 双包层光纤光栅 飞秒激光微加工
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中空双螺旋微机器人的飞秒激光动态全息高效加工 被引量：3
18
作者 宋博文 李家文 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期2101-2107,共7页
为了实现微机器人的快速批量制造,提出一种飞秒贝塞尔光束叠加干涉方法生成带侧瓣的环形光场,并结合动态全息加工术实现了中空螺旋微机器人的高效制造。对根据贝塞尔传输函数生成的贝塞尔全息图进行叠加,并对产生的光场进行仿真和实验... 为了实现微机器人的快速批量制造,提出一种飞秒贝塞尔光束叠加干涉方法生成带侧瓣的环形光场,并结合动态全息加工术实现了中空螺旋微机器人的高效制造。对根据贝塞尔传输函数生成的贝塞尔全息图进行叠加,并对产生的光场进行仿真和实验测量。利用叠加的全息图加工得到具有不同侧瓣数目(2~4)的环形结构,分析了两种不同参数对侧瓣宽度和圆环直径的影响。通过引入动态全息加工方法,实现了中空双螺旋微机器人的高效快速加工,微机器人宽为25μm、长度为100μm。最后,利用旋转磁场驱动微机器人在微流体环境实现运动。实验表明,加工单个微机器人仅需6 s,旋转磁场下微机器人在7 s内沿直线前进400μm。该动态全息方法能够快速制备出中空双螺旋微机器人并实现无线磁驱动,为批量制造具有运载能力的磁驱微机器人提供了一种新的途径。 展开更多
关键词 激光加工 飞秒激光 贝塞尔光束叠加干涉 动态全息加工 中空双螺旋微机器人
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飞秒激光双光子荧光显微系统的构建与应用
19
作者 秦一凡 李茜 +2 位作者 夏元钦 刘斌 张盛 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期1-5,共5页
为进行双光子荧光显微成像研究,搭建了一套飞秒激光光源双光子荧光显微成像系统.对超短脉冲锁模激光器的成像优势、双光子激励饱和功率及系统分辨率进行了理论推导,利用飞秒激光器、显微镜、数据采集设备与控制装置及扫描控制软件搭建... 为进行双光子荧光显微成像研究,搭建了一套飞秒激光光源双光子荧光显微成像系统.对超短脉冲锁模激光器的成像优势、双光子激励饱和功率及系统分辨率进行了理论推导,利用飞秒激光器、显微镜、数据采集设备与控制装置及扫描控制软件搭建了显微成像系统,并对Rhodamine B样品进行双光子荧光显微成像实验.结果表明:相同条件下,超短脉冲锁模激光器的双光子荧光产率为连续光输出激光器的105倍;采用UPLSAPO60XO型物镜时,双光子激励饱和功率为50 m W,理论横向和轴向分辨率为303 nm与727 nm;该系统具有显微成像能力,且实际横向分辨率小于3μm. 展开更多
关键词 飞秒激光 双光子荧光 罗丹明B 显微成像
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飞秒激光直写铌酸锂晶体半包层光波导
20
作者 段雨濛 贾曰辰 吕金蔓 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期458-464,共7页
本文采用飞秒激光微纳加工技术在铌酸锂(LiNbO_(3))晶体中成功制备了直径为30、40和50μm的半包层波导,并通过端面耦合技术对其导波性能进行测试,得出半包层波导在633、1550 nm波长下具有优良的传输性能,且仅支持TM偏振方向传输,具有单... 本文采用飞秒激光微纳加工技术在铌酸锂(LiNbO_(3))晶体中成功制备了直径为30、40和50μm的半包层波导,并通过端面耦合技术对其导波性能进行测试,得出半包层波导在633、1550 nm波长下具有优良的传输性能,且仅支持TM偏振方向传输,具有单偏振性;通过计算波导的传输损耗,得出了30μm直径的波导在633及1550 nm波长下传输性能最佳。并且通过Rsoft软件理论计算,证明了实验结果的合理性。本研究结果为光波导设计和性能优化提供了重要的参考,具有一定的实验和理论价值。 展开更多
关键词 飞秒激光微纳加工 光波导 铌酸锂晶体 半包层波导 1550 nm波导 单偏振态
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